Á sviði lofttæmishúðunartækni má almennt flokka þunnfilmur í málmhúðun og málmlausa húðun, allt eftir húðunarefninu. Þessir tveir flokkar eru mjög ólíkir hvað varðar útfellingarferla, eiginleika filmunnar og notkunarsvið. Að skilja muninn á þeim hjálpar verkfræðingum að velja hentugustu efnin og breyturnar fyrir framleiðslu.
I. Einkenni og meginreglur Málmhúðun
Málmhúðun vísar til þess að setja málmmarkmið á undirlag með aðferðum eins og varmauppgufun eða segulspútrun.
Dæmigert efni: Al, Cu, Ag, Au, Ti, Cr osfrv.
Útfellingarferli: Málmatómar, eftir að hafa verið gufaðir upp eða spútraðir í lofttæmi, gangast undir lágmarks efnahvörf og þéttast í eðli sínu á undirlaginu.
Lykileiginleikar:
Mikil rafleiðni
Frábær endurskinsgeta, mikið notuð í sjónspeglum
Sterk viðloðun og góð teygjanleiki
Dæmigert forrit:
Rafskautalög í hálfleiðaratækjum
Sjónræn endurskinshúðun
Skreytingarhúðun
II. Einkenni og meginreglur húðunar sem ekki eru úr málmi
Húðun sem ekki er úr málmi inniheldur aðallega oxíð, nítríð og karbíð, venjulega sett út með hvarfgjörnun eða jónhúðun.
Dæmigert efni: SiO₂, TiO₂, Al₂O₃, Si₃N₄, DLC (demantslíkt kolefni) o.s.frv.
Útfellingarferli: Málmskorn hvarfast við ferlislofttegundir (t.d. O₂, N₂, CH₄) og mynda efnasambönd sem setjast á undirlagið.
Lykileiginleikar:
Mikil hörku og slitþol
Framúrskarandi sjónrænir eiginleikar, svo sem mikil gegnsæi eða endurskinsvörn
Sterk rafmagnseinangrun
Dæmigert forrit:
Ljósfræðileg húðun (t.d. AR-filmur, síuhúðun)
Verndarlög (t.d. DLC rispuvarnarfilmur)
Rafmagnslög í rafeindatækjum
III. Helstu munur á málmhúðun og húðun úr málmi
Eiginleikar kvikmyndar:
Málmhúðun leggur áherslu á leiðni og endurskinshæfni, sem gerir þær tilvaldar fyrir rafmagns- og skreytingarforrit.
Húðun sem ekki er úr málmi leggur áherslu á sjónræna stjórn, einangrun og vélræna endingu.
Útfellingarferli:
Málmhúðun er venjulega sett á með gufuútfellingu (PVD) með tiltölulega einföldum aðferðum.
Húðun sem ekki er úr málmi krefst hvarfgjarnra lofttegunda, sem leiðir til þrengri ferlisglugga og strangari stýringar á breytum.
Umsóknarsvið:
Málmhúðun: rafrásir, endurskinsspeglar, skreytingarfilmur.
Húðun sem ekki er úr málmi: ljósleiðarar, snertiskjár, hlífðarlög.
IV. Viðbótarhlutverk í iðnaðarnotkun
Í reynd eru málmhúðun og húðun úr öðrum málmum oft sameinuð:
Gagnsæjar leiðandi filmur frá ITO eru úr oxíðefnum (sem eru ekki úr málmum) en veita einnig rafleiðni (málmlík hegðun).
Í skreytingarhúðun er oft fyrst sett málmlag (t.d. Ti eða Cr) og síðan lag sem ekki er úr málmi (t.d. TiN eða TiCN), sem myndar samsettar filmur sem sameina skreytingarlegt útlit og slitþol.
Málmhúðun og málmlaus húðun bjóða upp á einstaka kosti hvað varðar meginreglur og afköst. Málmhúðun leggur áherslu á leiðni og endurskinsgetu, en málmlaus húðun skara fram úr í ljósfræðilegri, einangrandi og verndandi virkni. Í lofttæmishúðun er mikilvægt að velja viðeigandi filmusamsetningu í samræmi við kröfur vörunnar til að auka bæði afköst og samkeppnishæfni á markaði.
—Þessi grein var birt aftómarúmshúðunarbúnaður framleiðandi Zhenhua tómarúm
Birtingartími: 18. ágúst 2025