Farqiga u dhexeeya Dahaarka Birta iyo kuwa aan biraha ahayn

Dhanka tiknoolajiyada dahaarka faakuumka, filimada khafiifka ah guud ahaan waxaa loo kala saari karaa dahaarka birta ah iyo dahaarka aan birta ahayn, iyadoo ku xiran maaddada dahaarka. Labadan qaybood waxay si weyn ugu kala duwan yihiin hababka dhigista, sifooyinka filimka, iyo meelaha lagu dabaqo. Fahmidda kala soociddooda waxay ka caawisaa injineerada habka inay doortaan agabka iyo xuduudaha ugu habboon ee wax soo saarka.

I. Astaamaha iyo Mabaadi'da Dahaadhka Birta ah

Dahaarka birta waxaa loola jeedaa in bartilmaameedyada birta lagu shubo substrate-ka iyada oo loo marayo farsamooyin sida uumi-baxa kulaylka ama xoqidda magnetron-ka.

Alaabta caadiga ah: Al, Cu, Ag, Au, Ti, Cr, iwm.

Habka Kala-soocidda: Atamyada birta ah, ka dib marka la uumi-bixiyo ama lagu shubo faakiyuum, waxay maraan falgal kiimiko oo yar waxayna ku ururaan xaaladdooda gudaha ee substrate-ka.

Sifooyinka Muhiimka ah:

Gudbinta korantada oo sareysa

Muraayado aad u fiican, oo si weyn loogu isticmaalo muraayadaha indhaha

Ku dhegid xooggan iyo ductility wanaagsan

Codsiyada Caadiga ah:

Lakabyada elektroodka ee aaladaha semiconductor-ka

dahaarka muraayadda indhaha

Dahaarka qurxinta

II. Astaamaha iyo Mabaadi'da Dahaarka aan Birta ahayn

Dahaarka aan biraha ahayn waxaa inta badan ka mid ah oksaydhyada, nitrides, iyo carbide-yada, kuwaas oo badanaa lagu shubo sputtering reactive ama ion plating.

Agabka Caadiga ah: SiO₂, TiO₂, Al₂O₃, Si₃N₄, DLC (Kaarboonka Dheemanka oo kale ah), iwm.

Habka Kala-soocidda: Bartilmaameedyada birta ah waxay la falgalaan gaasaska habka (tusaale ahaan, O₂, N₂, CH₄), iyagoo sameeya noocyo isku-dhafan oo ku shubma substrate-ka.

Sifooyinka Muhiimka ah:

Adkeysi sare iyo iska caabin xirasho

Sifooyin muuqaal oo aad u fiican, sida hufnaan sare ama waxqabadka ka-hortagga milicsiga

Dahaarka korontada oo xooggan

Codsiyada Caadiga ah:

Dahaarka indhaha (tusaale ahaan, filimada AR, dahaarka shaandhada)

Lakabyada ilaalinta (tusaale ahaan, filimada ka hortagga xoqidda ee DLC)

Lakabyada Dielectric ee aaladaha elektarooniga ah

III. Farqiga Muhiimka ah ee u dhexeeya Dahaarka Birta iyo kuwa aan biraha ahayn

Sifooyinka Filimka:

Dahaarka birta ah wuxuu xoogga saaraa la socodka iyo milicsiga, taasoo ka dhigaysa mid ku habboon codsiyada korontada iyo qurxinta.

Dahaarka aan biraha ahayn wuxuu diiradda saaraa xakamaynta indhaha, dahaarka, iyo cimri dhererka farsamada.

Geedi socodka Dhigista:

Dahaarka birta waxaa badanaa lagu shubaa meel dhigista uumiga jirka (PVD) iyadoo la adeegsanayo habab fudud.

Dahaarka aan biraha ahayn wuxuu u baahan yahay gaasas falgal ah, taasoo keenta daaqado cidhiidhi ah oo habka ah iyo xakamaynta xuduudaha oo adag.

Goobaha Codsiga:

Dahaarka birta: wareegyada elektarooniga ah, muraayadaha milicsiga leh, filimada qurxinta.

Dahaarka aan birta ahayn: muraayadaha indhaha, muraayadaha taabashada, lakabka ilaalinta.

IV. Doorarka Dhameystiran ee Codsiyada Warshadaha

Ficil ahaan, dahaarka birta iyo kuwa aan birta ahayn badanaa waa la isku daraa:

Filimada gudbinta ee hufan ee ITO waxay ka kooban yihiin walxo oksaydh ah (sifooyin aan bir ahayn) iyagoo sidoo kale bixinaya koronto-qaadis (dhaqan u eg bir).

Dahaarka qurxinta, lakab bir ah (tusaale ahaan, Ti ama Cr) ayaa inta badan marka hore la dhigaa, ka dibna lakab aan bir ahayn (tusaale ahaan, TiN ama TiCN), taasoo abuurta filimaan isku dhafan oo isku daraya muuqaalka qurxinta iyo iska caabbinta xirashada.

Dahaarka birta iyo kuwa aan birta ahayn mid walba wuxuu bixiyaa faa'iidooyin gaar ah mabda'a iyo waxqabadka. Dahaarka birta ah wuxuu xoogga saaraa la socodka iyo milicsiga, halka dahaarka aan birta ahayn uu ku fiican yahay shaqooyinka indhaha, dahaarka, iyo ilaalinta. Codsiyada dahaarka faaruqa ah, xulashada isku-darka filimka ku habboon iyadoo loo eegayo shuruudaha badeecada ayaa muhiim u ah kor u qaadista waxqabadka iyo tartanka suuqa labadaba.

—Maqaalkan waxaa daabacayqalabka dahaadhka faakuumka saaraha Zhenhua Vacuum