Ihe dị iche n'etiti mkpuchi ígwè na nke na-abụghị ígwè

N'ihe gbasara teknụzụ mkpuchi ihe mkpofu, a na-ekewa ihe mkpuchi dị gịrịgịrị n'ime mkpuchi ígwè na mkpuchi na-abụghị nke ígwè, dabere na ihe mkpuchi ahụ. Ụdị abụọ a dị iche na usoro nchekwa, ihe onwunwe ihe nkiri, na ebe a na-eji ya. Ịghọta ọdịiche ha na-enyere ndị injinia nhazi aka ịhọrọ ihe na paramita kacha mma maka mmepụta.

I. Àgwà na Ụkpụrụ nke Mkpuchi ígwè

Mkpuchi ígwè na-ezo aka n'itinye ihe mgbaru ọsọ ígwè n'elu ihe ndị dị n'elu ala site na usoro dịka ikuku okpomọkụ ma ọ bụ magnetron sputtering.

Ihe eji eme ihe: Al, Cu, Ag, Au, Ti, Cr, wdg.

Usoro Mwepụ Ihe: Atọm ígwè, mgbe e si n'ime ikuku gbapụta ma ọ bụ fesa ha n'ime oghere, na-enweta obere mmeghachi omume kemịkalụ ma na-agbakọta n'ọnọdụ ha n'ime ihe ahụ.

Njirimara Ndị Dị Mkpa:

Ike eletriki dị elu

Ezigbo ntụgharị uche, a na-ejikarị ya eme ihe n'enyo anya

Njikọ siri ike na ezigbo ductility

Ngwa Ndị A Na-ahụkarị:

Okpokoro elektrọd na ngwaọrụ semiconductor

mkpuchi anya na-egosipụta

Ihe mkpuchi ịchọ mma

II. Àgwà na Ụkpụrụ nke Mkpuchi Na-abụghị nke Metal

Ihe mkpuchi ndị na-abụghị ígwè gụnyere oxides, nitrides, na carbide, nke a na-etinyekarị site na sputtering reactive ma ọ bụ ion plating.

Ihe Ndị A Na-ahụkarị: SiO₂, TiO₂, Al₂O₃, Si₃N₄, DLC (Dịka Kabọn Daịmọnd), wdg.

Usoro Mwepụ: Ihe mgbaru ọsọ ọla na-emeghachi omume na gas usoro (dịka ọmụmaatụ, O₂, N₂, CH₄), na-emepụta ụdị ihe mejupụtara nke na-etinye na ihe ndị dị n'elu ala.

Njirimara Ndị Dị Mkpa:

Ike siri ike na nguzogide iyi

Njirimara anya dị mma, dịka nnukwu nghọta ma ọ bụ arụmọrụ mgbochi ntụgharị uche

Mkpuchi ọkụ eletrik siri ike

Ngwa Ndị A Na-ahụkarị:

Mkpuchi anya (dịka ọmụmaatụ, ihe nkiri AR, mkpuchi nzacha)

Akwa nchekwa (dịka ọmụmaatụ, ihe nkiri DLC na-egbochi ọkọ)

Ọkwa Dielectric na ngwaọrụ eletrọniki

III. Isi ihe dị iche n'etiti mkpuchi ígwè na nke na-abụghị ígwè

Njirimara ihe nkiri:

Mkpuchi ígwè na-emesi ike na njikwa na ntụgharị uche, na-eme ka ha dị mma maka ngwa eletriki na ịchọ mma.

Mkpuchi ndị na-abụghị ígwè na-elekwasị anya na njikwa anya, mkpuchi ihe, na ịdịte aka igwe.

Usoro Mwepụ:

A na-etinyekarị ihe mkpuchi ígwè site na nsị anụ ahụ (PVD) yana usoro dị mfe.

Mkpuchi ndị na-abụghị ígwè chọrọ gas ndị na-emegharị ahụ, nke na-eme ka windo usoro dị warara na njikwa paramita siri ike.

Ubi Ngwa:

Mkpuchi ígwè: sekit eletrọniki, enyo na-egbukepụ egbukepụ, ihe nkiri ịchọ mma.

Mkpuchi ndị na-abụghị ígwè: anya anya, ogwe aka, akwa nchekwa.

IV. Ọrụ Ndị Mmekọ na Ngwa Ụlọ Ọrụ

N'ọrụ, a na-ejikọta ihe mkpuchi ígwè na nke na-abụghị ígwè:

Ihe nkiri ITO na-eduzi ihe na-acha ọcha nwere ihe oxide (ihe ndị na-abụghị ọla) ebe ha na-enyekwa ike eletrik (omume yiri nke ígwè).

N'ime ihe mkpuchi ịchọ mma, a na-ebu ụzọ tinye akwa ígwè (dịka ọmụmaatụ, Ti ma ọ bụ Cr), wee tinye akwa na-abụghị nke ọla (dịka ọmụmaatụ, TiN ma ọ bụ TiCN), na-emepụta ihe nkiri mejupụtara nke na-ejikọta ọdịdị ịchọ mma na iguzogide iyi.

Mkpuchi ígwè na nke na-abụghị ígwè nke ọ bụla na-enye uru pụrụ iche n'ụkpụrụ na arụmọrụ. Mkpuchi ígwè na-emesi ike na njikwa na ntụgharị uche, ebe mkpuchi na-abụghị ígwè na-eme nke ọma na ọrụ anya, mkpuchi, na nchekwa. N'ime ngwa mkpuchi oghere, ịhọrọ ngwakọta ihe nkiri kwesịrị ekwesị dịka ihe achọrọ maka ngwaahịa dị oke mkpa iji mee ka arụmọrụ na asọmpi ahịa dịkwuo mma.

—E bipụtara akụkọ a site n'aka onye bipụtara yaakụrụngwa mkpuchi agụụ onye nrụpụta Zhenhua Vacuum