ويڪيوم ڪوٽنگ ٽيڪنالاجي جي ميدان ۾، پتلي فلمن کي عام طور تي ڌاتو ڪوٽنگ ۽ غير ڌاتو ڪوٽنگ ۾ ورهائي سگهجي ٿو، ڪوٽنگ مواد جي لحاظ کان. اهي ٻئي درجا جمع ڪرڻ جي طريقن، فلم جي خاصيتن، ۽ ايپليڪيشن جي علائقن ۾ خاص طور تي مختلف آهن. انهن جي فرق کي سمجهڻ سان پروسيس انجنيئرن کي پيداوار لاءِ سڀ کان وڌيڪ مناسب مواد ۽ پيرا ميٽر چونڊڻ ۾ مدد ملندي آهي.
I. جون خاصيتون ۽ اصول ڌاتو ڪوٽنگون
ڌاتو ڪوٽنگ جو مطلب آهي ڌاتو جي هدفن کي سبسٽريٽ تي جمع ڪرڻ، جيئن ته ٿرمل وانپيوريشن يا ميگنيٽرون اسپٽرنگ.
عام مواد: Al، Cu، Ag، Au، Ti، Cr، وغيره.
جمع ڪرڻ جو طريقو: ڌاتو جا ايٽم، خلا ۾ بخارات بڻجڻ يا ڦاٽڻ کان پوءِ، گهٽ ۾ گهٽ ڪيميائي رد عمل مان گذرندا آهن ۽ پنهنجي اندروني حالت ۾ سبسٽريٽ تي گاڙهندا آهن.
اهم خاصيتون:
اعليٰ برقي چالکائي
بهترين عڪاسي، آپٽيڪل آئينن ۾ وڏي پيماني تي استعمال ٿيندڙ
مضبوط چپڪندڙ ۽ سٺي لچڪ
عام ايپليڪيشنون:
سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز ۾ اليڪٽروڊ پرتون
آپٽيڪل ريفليڪٽو ڪوٽنگز
آرائشي ڪوٽنگون
II. غير ڌاتو ڪوٽنگ جون خاصيتون ۽ اصول
غير ڌاتو ڪوٽنگن ۾ خاص طور تي آڪسائيڊ، نائٽرائڊ ۽ ڪاربائڊ شامل آهن، جيڪي عام طور تي رد عمل واري اسپٽرنگ يا آئن پليٽنگ ذريعي جمع ڪيا ويندا آهن.
عام مواد: SiO₂، TiO₂، Al₂O₃، Si₃N₄، DLC (هيرن جهڙو ڪاربان)، وغيره.
جمع ڪرڻ جو طريقو: ڌاتو جا نشانا پروسيس گيسن سان رد عمل ظاهر ڪن ٿا (مثال طور، O₂، N₂، CH₄)، مرڪب جنسون ٺاهيندا آهن جيڪي سبسٽريٽ تي جمع ٿين ٿا.
اهم خاصيتون:
اعلي سختي ۽ لباس مزاحمت
بهترين آپٽيڪل خاصيتون، جهڙوڪ اعليٰ شفافيت يا مخالف عڪاسي ڪارڪردگي
مضبوط برقي موصليت
عام ايپليڪيشنون:
آپٽيڪل ڪوٽنگ (مثال طور، اي آر فلمون، فلٽر ڪوٽنگ)
حفاظتي پرتون (مثال طور، ڊي ايل سي اينٽي اسڪريچ فلمون)
اليڪٽرانڪ ڊوائيسز ۾ ڊائي اليڪٽرڪ پرتون
III. ڌاتو ۽ غير ڌاتو ڪوٽنگن جي وچ ۾ بنيادي فرق
فلم جون خاصيتون:
ڌاتو ڪوٽنگ چالکائي ۽ عڪاسي تي زور ڏين ٿا، انهن کي برقي ۽ آرائشي ايپليڪيشنن لاءِ مثالي بڻائين ٿا.
غير ڌاتو ڪوٽنگون آپٽيڪل ڪنٽرول، موصليت، ۽ ميڪيڪل استحڪام تي ڌيان ڏين ٿيون.
جمع ڪرائڻ جا عمل:
ڌاتو ڪوٽنگ عام طور تي جسماني بخارات جمع ڪرڻ (PVD) ذريعي نسبتاً سادي عملن سان جمع ڪيا ويندا آهن.
غير ڌاتو ڪوٽنگن کي رد عمل واري گيسن جي ضرورت هوندي آهي، جنهن جي نتيجي ۾ پروسيس ونڊوز تنگ ٿين ٿا ۽ پيرا ميٽر ڪنٽرول سخت ٿئي ٿو.
درخواست جا ميدان:
ڌاتو ڪوٽنگ: اليڪٽرانڪ سرڪٽ، عڪاسي ڪندڙ آئينا، آرائشي فلمون.
غير ڌاتو ڪوٽنگ: آپٽيڪل لينس، ٽچ پينل، حفاظتي پرت.
IV. صنعتي ايپليڪيشنن ۾ ضمني ڪردار
عملي طور تي، ڌاتو ۽ غير ڌاتو ڪوٽنگ اڪثر ڪري گڏ ڪيا ويندا آهن:
آئي ٽي او شفاف ڪنڊڪٽو فلمون آڪسائيڊ مواد (غير ڌاتو خاصيتون) تي مشتمل هونديون آهن جڏهن ته برقي چالکائي (ڌاتو جهڙو رويو) پڻ فراهم ڪنديون آهن.
آرائشي ڪوٽنگن ۾، هڪ ڌاتو جي پرت (مثال طور، Ti يا Cr) اڪثر پهرين جمع ڪئي ويندي آهي، ان کان پوءِ هڪ غير ڌاتوئي پرت (مثال طور، TiN يا TiCN)، جامع فلمون ٺاهيندي آهي جيڪي آرائشي ظاهر کي لباس مزاحمت سان گڏ ڪن ٿيون.
ڌاتو ۽ غير ڌاتو ڪوٽنگون هر هڪ اصول ۽ ڪارڪردگي ۾ منفرد فائدا پيش ڪن ٿيون. ڌاتو ڪوٽنگون چالکائي ۽ عڪاسي تي زور ڏين ٿيون، جڏهن ته غير ڌاتو ڪوٽنگون آپٽيڪل، انسوليٽنگ، ۽ حفاظتي ڪارڪردگي ۾ بهترين آهن. ويڪيوم ڪوٽنگ ايپليڪيشنن ۾، پيداوار جي گهرجن مطابق مناسب فلم ميلاپ چونڊڻ ڪارڪردگي ۽ مارڪيٽ مقابلي ٻنهي کي وڌائڻ لاءِ اهم آهي.
—هي مضمون شايع ڪيو ويو آهي پارانويڪيوم ڪوٽنگ جو سامان ٺاهيندڙ زينهوا ويڪيوم
پوسٽ جو وقت: آگسٽ-18-2025
