នៅក្នុងវិស័យបច្ចេកវិទ្យាថ្នាំកូតក្នុងសុញ្ញកាស ខ្សែភាពយន្តស្តើងជាទូទៅអាចត្រូវបានចាត់ថ្នាក់ទៅជាថ្នាំកូតដែក និងថ្នាំកូតមិនមែនលោហៈ អាស្រ័យលើសម្ភារៈថ្នាំកូត។ ប្រភេទទាំងពីរនេះមានភាពខុសគ្នាយ៉ាងខ្លាំងនៅក្នុងយន្តការដាក់ស្រទាប់ លក្ខណៈសម្បត្តិខ្សែភាពយន្ត និងផ្នែកអនុវត្ត។ ការយល់ដឹងពីភាពខុសគ្នារបស់ពួកវាជួយវិស្វករដំណើរការជ្រើសរើសសម្ភារៈ និងប៉ារ៉ាម៉ែត្រដែលសមស្របបំផុតសម្រាប់ផលិតកម្ម។
I. លក្ខណៈ និងគោលការណ៍នៃ ថ្នាំកូតលោហៈ
ការស្រោបលោហៈសំដៅទៅលើការដាក់គោលដៅលោហៈទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមតាមរយៈបច្ចេកទេសដូចជាការហួតដោយកម្ដៅ ឬការបាញ់ម៉ាញ៉េត្រុង។
សម្ភារៈធម្មតា៖ Al, Cu, Ag, Au, Ti, Cr ជាដើម។
យន្តការដាក់ស្រទាប់លោហៈ៖ អាតូមលោហៈ បន្ទាប់ពីហួត ឬរលាយក្នុងកន្លែងទំនេរ នឹងឆ្លងកាត់ប្រតិកម្មគីមីតិចតួចបំផុត ហើយរួមតូចទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមក្នុងសភាពដើមរបស់វា។
លក្ខណៈសម្បត្តិសំខាន់ៗ៖
ចរន្តអគ្គិសនីខ្ពស់
ការឆ្លុះបញ្ចាំងដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ដែលត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងកញ្ចក់អុបទិក
ភាពស្អិតខ្លាំង និង ភាពបត់បែនល្អ
កម្មវិធីធម្មតា៖
ស្រទាប់អេឡិចត្រូតនៅក្នុងឧបករណ៍ស៊ីមីកុងដុកទ័រ
ថ្នាំកូតឆ្លុះបញ្ចាំងអុបទិក
ថ្នាំកូតតុបតែង
II. លក្ខណៈ និងគោលការណ៍នៃថ្នាំកូតមិនមែនលោហៈ
ថ្នាំកូតដែលមិនមែនជាលោហៈភាគច្រើនរួមមានអុកស៊ីដ នីទ្រីត និងកាបូអ៊ីដ ដែលជាធម្មតាត្រូវបានដាក់ដោយការបញ្ចេញប្រតិកម្ម ឬការស្រោបអ៊ីយ៉ុង។
សម្ភារៈធម្មតា៖ SiO₂, TiO₂, Al₂O₃, Si₃N₄, DLC (កាបូនដូចពេជ្រ)។ល។
យន្តការដាក់ស្រទាប់៖ គោលដៅលោហធាតុមានប្រតិកម្មជាមួយឧស្ម័នដំណើរការ (ឧទាហរណ៍ O₂, N₂, CH₄) បង្កើតជាសមាសធាតុដែលដាក់លើស្រទាប់ខាងក្រោម។
លក្ខណៈសម្បត្តិសំខាន់ៗ៖
ភាពរឹងខ្ពស់ និងធន់នឹងការពាក់
លក្ខណៈសម្បត្តិអុបទិកដ៏ល្អឥតខ្ចោះ ដូចជាតម្លាភាពខ្ពស់ ឬដំណើរការប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំង
អ៊ីសូឡង់អគ្គិសនីរឹងមាំ
កម្មវិធីធម្មតា៖
ថ្នាំកូតអុបទិក (ឧ. ខ្សែភាពយន្ត AR ថ្នាំកូតតម្រង)
ស្រទាប់ការពារ (ឧទាហរណ៍ ខ្សែភាពយន្តប្រឆាំងនឹងការកោស DLC)
ស្រទាប់ឌីអេឡិចត្រិចនៅក្នុងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិច
III. ភាពខុសគ្នាស្នូលរវាងថ្នាំកូតលោហៈ និងថ្នាំកូតមិនមែនលោហៈ
លក្ខណៈសម្បត្តិខ្សែភាពយន្ត៖
ថ្នាំកូតលោហៈបញ្ជាក់ពីចរន្តអគ្គិសនី និងការឆ្លុះបញ្ចាំង ដែលធ្វើឱ្យវាល្អសម្រាប់កម្មវិធីអគ្គិសនី និងការតុបតែង។
ថ្នាំកូតដែលមិនមែនជាលោហៈផ្តោតលើការគ្រប់គ្រងអុបទិក អ៊ីសូឡង់ និងភាពធន់មេកានិច។
ដំណើរការដាក់ប្រាក់៖
ថ្នាំកូតលោហៈជាធម្មតាត្រូវបានដាក់តាមរយៈការដាក់ចំហាយរូបវន្ត (PVD) ជាមួយនឹងដំណើរការសាមញ្ញៗ។
ថ្នាំកូតដែលមិនមែនជាលោហៈតម្រូវឱ្យមានឧស្ម័នដែលមានប្រតិកម្ម ដែលបណ្តាលឱ្យមានបង្អួចដំណើរការតូចចង្អៀត និងការគ្រប់គ្រងប៉ារ៉ាម៉ែត្រកាន់តែតឹងរ៉ឹង។
វាលដាក់ពាក្យ៖
ថ្នាំកូតដែក៖ សៀគ្វីអេឡិចត្រូនិច កញ្ចក់ឆ្លុះបញ្ចាំង ខ្សែភាពយន្តតុបតែង។
ថ្នាំកូតមិនមែនលោហៈ៖ កញ្ចក់អុបទិក បន្ទះប៉ះ ស្រទាប់ការពារ។
IV. តួនាទីបំពេញបន្ថែមនៅក្នុងកម្មវិធីឧស្សាហកម្ម
នៅក្នុងការអនុវត្តជាក់ស្តែង ថ្នាំកូតដែក និងមិនមែនលោហៈត្រូវបានផ្សំជាញឹកញាប់៖
ខ្សែភាពយន្តដែលមានចរន្តអគ្គិសនីថ្លា ITO មានផ្ទុកសារធាតុអុកស៊ីដ (លក្ខណៈសម្បត្តិមិនមែនលោហៈ) ខណៈពេលដែលក៏ផ្តល់ចរន្តអគ្គិសនី (ឥរិយាបថដូចលោហៈ) ផងដែរ។
នៅក្នុងថ្នាំកូតតុបតែង ស្រទាប់លោហៈ (ឧទាហរណ៍ Ti ឬ Cr) ជារឿយៗត្រូវបានដាក់មុនគេ បន្ទាប់មកដោយស្រទាប់មិនមែនលោហៈ (ឧទាហរណ៍ TiN ឬ TiCN) ដែលបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តសមាសធាតុដែលរួមបញ្ចូលគ្នានូវរូបរាងតុបតែងជាមួយនឹងភាពធន់នឹងការពាក់។
ថ្នាំកូតលោហៈ និងមិនមែនលោហៈនីមួយៗផ្តល់នូវគុណសម្បត្តិពិសេសៗទាំងគោលការណ៍ និងដំណើរការ។ ថ្នាំកូតលោហៈសង្កត់ធ្ងន់លើចរន្តអគ្គិសនី និងការឆ្លុះបញ្ចាំង ខណៈដែលថ្នាំកូតមិនមែនលោហៈលេចធ្លោក្នុងមុខងារអុបទិក អ៊ីសូឡង់ និងការពារ។ នៅក្នុងកម្មវិធីថ្នាំកូតក្នុងសុញ្ញកាស ការជ្រើសរើសបន្សំខ្សែភាពយន្តសមស្របតាមតម្រូវការផលិតផលគឺមានសារៈសំខាន់ណាស់ក្នុងការបង្កើនទាំងដំណើរការ និងការប្រកួតប្រជែងទីផ្សារ។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានបោះពុម្ពផ្សាយដោយឧបករណ៍ថ្នាំកូតបូមធូលី ក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលី Zhenhua
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ១៨ ខែសីហា ឆ្នាំ ២០២៥