Вакуум бүрхүүлийн технологийн салбарт нимгэн хальсыг бүрхүүлийн материалаас хамааран металл бүрхүүл ба металл бус бүрхүүл гэж ангилж болно. Эдгээр хоёр ангилал нь тунадасжих механизм, хальсны шинж чанар, хэрэглээний талбайн хувьд мэдэгдэхүйц ялгаатай байдаг. Тэдгээрийн ялгааг ойлгох нь процессын инженерүүдэд үйлдвэрлэлд хамгийн тохиромжтой материал, параметрүүдийг сонгоход тусалдаг.
I. Онцлог шинж чанар ба зарчим Металл бүрхүүл
Металл бүрхүүл гэдэг нь дулааны ууршилт эсвэл магнетрон цацалт зэрэг аргуудаар металл байг суурь дээр байрлуулахыг хэлнэ.
Ердийн материал: Al, Cu, Ag, Au, Ti, Cr гэх мэт.
Тунадас үүсэх механизм: Металлын атомууд вакуумд ууршсан эсвэл цацагдсаны дараа химийн урвалд хамгийн бага орж, суурь дээр өөрийн гэсэн төлөвт конденсацлагддаг.
Гол шинж чанарууд:
Өндөр цахилгаан дамжуулалт
Маш сайн тусгал, оптик толинд өргөн хэрэглэгддэг
Хүчтэй наалдац ба сайн уян хатан чанар
Ердийн хэрэглээ:
Хагас дамжуулагч төхөөрөмжүүдийн электродын давхаргууд
Оптик цацруулагч бүрхүүл
Чимэглэлийн бүрээс
II. Металл бус бүрхүүлийн шинж чанар ба зарчим
Металл бус бүрхүүлд голчлон исэл, нитрид, карбидууд багтдаг бөгөөд ихэвчлэн реактив цацалт эсвэл ионы бүрэлтээр хуримтлагддаг.
Ердийн материалууд: SiO₂, TiO₂, Al₂O₃, Si₃N₄, DLC (Алмааз төст нүүрстөрөгч) гэх мэт.
Тунадас үүсэх механизм: Металл бай нь процессын хийнүүдтэй (жишээ нь, O₂, N₂, CH₄) урвалд орж, суурь дээр тунадасжих нэгдлүүдийг үүсгэдэг.
Гол шинж чанарууд:
Өндөр хатуулаг ба элэгдэлд тэсвэртэй
Өндөр тунгалаг байдал эсвэл тусгалгүй гүйцэтгэл гэх мэт маш сайн оптик шинж чанарууд
Хүчтэй цахилгаан тусгаарлагч
Ердийн хэрэглээ:
Оптик бүрхүүл (жишээ нь, AR хальс, шүүлтүүр бүрхүүл)
Хамгаалалтын давхаргууд (жишээ нь, зураасны эсрэг DLC хальс)
Электрон төхөөрөмжүүдийн диэлектрик давхаргууд
III. Металл болон металл бус бүрхүүлийн хоорондох үндсэн ялгаа
Киноны шинж чанарууд:
Металл бүрхүүл нь цахилгаан дамжуулах чанар болон тусгалыг онцолж, цахилгаан болон гоёл чимэглэлийн зориулалтаар ашиглахад тохиромжтой болгодог.
Металл бус бүрхүүл нь оптик хяналт, дулаалга, механик бат бөх чанарт анхаарлаа хандуулдаг.
Тунадасжуулалтын үйл явц:
Металл бүрхүүлийг харьцангуй энгийн процессоор физик уурын тунадасжуулалт (PVD)-ээр дамжуулан ихэвчлэн хуримтлуулдаг.
Металл бус бүрхүүл нь реактив хий шаарддаг тул процессын цонх нарийсч, параметрийн хяналт чангардаг.
Хэрэглээний талбарууд:
Металл бүрхүүл: электрон хэлхээ, тусгал толь, гоёл чимэглэлийн хальс.
Металл бус бүрхүүл: оптик линз, мэдрэгчтэй хавтан, хамгаалалтын давхарга.
IV. Аж үйлдвэрийн хэрэглээнд нэмэлт үүрэг гүйцэтгэх
Практикт металл болон металл бус бүрхүүлийг ихэвчлэн хослуулдаг:
ITO тунгалаг дамжуулагч хальснууд нь исэлдсэн материалаас (металл бус шинж чанар) бүрдэхээс гадна цахилгаан дамжуулах чанарыг (металл төст зан төлөв) хангадаг.
Чимэглэлийн бүрхүүлд эхлээд металл давхарга (жишээ нь, Ti эсвэл Cr), дараа нь металл бус давхарга (жишээ нь, TiN эсвэл TiCN) хуримтлагдаж, гоёл чимэглэлийн төрхийг элэгдэлд тэсвэртэй хослуулсан нийлмэл хальс үүсгэдэг.
Металл болон металл бус бүрхүүлүүд нь зарчим болон гүйцэтгэлийн хувьд өвөрмөц давуу талуудтай. Металл бүрхүүлүүд нь цахилгаан дамжуулах чанар болон тусгал чанарыг онцолдог бол металл бус бүрхүүлүүд нь оптик, тусгаарлагч болон хамгаалалтын функцүүдээрээ давуу талтай. Вакуум бүрхүүлийн хэрэглээнд бүтээгдэхүүний шаардлагын дагуу тохирох хальсны хослолыг сонгох нь гүйцэтгэл болон зах зээлийн өрсөлдөх чадварыг нэмэгдүүлэхэд чухал үүрэгтэй.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгч Zhenhua тоос сорогч
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 8-р сарын 18