Eseesega i le va o Ufiufi Uamea ma Ufiufi e Lē o Ufiufi

I le matata o tekinolosi ufiufi e aunoa ma le eletise, e mafai ona vaevaeina ni ata manifinifi i ni ufiufi u'amea ma ni ufiufi e le o ni u'amea, e fuafua i le mea e ufiufi ai. E eseese tele nei vaega e lua i auala e fa'aputu ai, meatotino o ata, ma vaega e fa'aoga ai. O le malamalama i o latou eseesega e fesoasoani i inisinia fa'agasologa e filifili ai meafaitino ma fa'asologa e sili ona talafeagai mo le gaosiga.

I. Uiga ma Mataupu Faavae o Ufiufi Uamea

O le ufiufi uʻamea e faasino i le faʻapipiʻiina o mea uʻamea i luga o mea e faʻaaoga ai ni metotia e pei o le faʻavevela ona o le vevela poʻo le magnetron sputtering.

Mea masani: Al, Cu, Ag, Au, Ti, Cr, etc.

Faiga o le Fa'aputuina: O atomu u'amea, pe a uma ona fa'amamago pe fa'apuna i le masini gaogao, e la'ititi lava se tali fa'akemikolo ma fa'aputu i lo latou tulaga masani i luga o le mea e fa'apipi'i ai.

Meatotino Autū:

Fa'aola eletise maualuga

Sili ona lelei le atagia mai, e faʻaaogaina lautele i faʻata opitika

Pipii malosi ma le ductility lelei

Fa'aoga Masani:

Vaega o le eletise i masini semiconductor

Ufiufi atagia opitika

Ufiufi teuteu

II. Uiga ma Mataupu Faavae o Ufiufi e Lē o ni U'amea

O ufiufi e lē o ni u'amea e aofia ai oxides, nitrides, ma carbides, e masani ona fa'aputuina e ala i le reactive sputtering po'o le ion plating.

Meafaitino Masani: SiO₂, TiO₂, Al₂O₃, Si₃N₄, DLC (Diamond-Like Carbon), ma isi.

Faiga o le Fa'aputuina: E tali atu u'amea ma kasa fa'agasolo (e pei o le O₂, N₂, CH₄), ma fausia ai ni vaega fa'apitoa e fa'aputu i luga o le mea fa'avae.

Meatotino Autū:

Ma'a'a maualuga ma tete'e atu i le ofuina

Meatotino fa'a-opitika sili ona lelei, e pei o le manino maualuga po'o le fa'atinoga e tete'e ai i le atagia

Malosi le puipuiga o le eletise

Fa'aoga Masani:

Ufiufi opitika (e pei o ata tifaga AR, ufiufi faamama)

Vaega puipui (e pei o ata tifaga DLC e tete'e ai i valu)

Vaega dielectric i masini eletise

III. Eseesega Autū i le va o Ufiufi Uamea ma Ufiufi e Lē o Ufiufi

Meatotino o Ata Tifaga:

E fa'amamafa e vali u'amea le conductivity ma le reflectability, ma avea ai ma mea lelei mo fa'aoga eletise ma teuteuga.

O ufiufi e lē o ni u'amea e taula'i i le puleaina opitika, fa'amafanafanaga, ma le tumau fa'amekanika.

Faiga o le Fa'aputuina:

O vali uʻamea e masani ona faʻapipiʻiina e ala i le faʻapipiʻiina o le ausa faaletino (PVD) i ni faiga faigofie lava.

O ufiufi e lē o ni u'amea e mana'omia ai kasa e tali atu ai, ma i'u ai i ni fa'avaitaimi fa'agasologa e vaapiapi ma sili atu le pulea o tapula'a.

Vaega o Talosaga:

Ufiufi u'amea: matagaluega eletise, fa'ata atagia mai ai le la, ata tifaga teuteu.

O mea e ufiufi ai e lē o ni u'amea: tioata opitika, paneta pa'i, vaega puipui.

IV. Matafaioi Fa'aopoopo i Talosaga Fa'apisinisi

I le faʻatinoga, e masani ona tuʻufaʻatasia ufiufi uʻamea ma ufiufi e le o ni uʻamea:

O ata tifaga manino a le ITO e aofia ai mea oxide (uiga e le o ni u'amea) ae e maua ai fo'i le fa'atinoina o le eletise (amioga e pei o u'amea).

I ufiufi teuteu, e masani ona fa'apipi'i muamua se vaega u'amea (e pei o le Ti po'o le Cr), ona sosoo ai lea ma se vaega e le o se u'amea (e pei o le TiN po'o le TiCN), ma faia ai ni ata tifaga tu'ufa'atasi e tu'ufa'atasia ai foliga teuteu ma le tete'e atu i le ofuina.

O vali u'amea ma vali e lē o ni u'amea e tofu lava ma ni fa'amanuiaga tulaga ese i le mataupu faavae ma le fa'atinoga. O vali u'amea e fa'amamafa ai le fa'aosofiaga ma le toe fa'afo'isia o le malamalama, ae o vali e lē o ni u'amea e sili ona lelei i galuega fa'apitoa, puipuiga, ma le puipuiga. I fa'aoga vali e aunoa ma le ea, o le filifilia o le tu'ufa'atasiga talafeagai o ata tifaga e tusa ai ma mana'oga o oloa e taua tele mo le fa'aleleia atili o le fa'atinoga ma le tauvaga i maketi.

—O lenei tusiga na lomia emeafaigaluega ufiufi mo le mitiia o le ea kamupani gaosi oloa Zhenhua Vacuum