Mumunda we tekinoroji yekuputira vacuum, mafirimu matete anogona kupatsanurwa kuita machira esimbi uye machira asiri esimbi, zvichienderana nezvinhu zvekuputira. Mapoka maviri aya akasiyana zvakanyanya mumichina yekuisa, hunhu hwefirimu, uye nzvimbo dzekushandisa. Kunzwisisa musiyano wavo kunobatsira mainjiniya ekugadzira kusarudza zvinhu zvakakodzera uye maparamita ekugadzira.
I. Hunhu neMitemo ye Kuputira Simbi
Kuputira simbi kunoreva kuisa zvinangwa zvesimbi pazvigadziko kuburikidza nenzira dzakadai sekupisa kana magnetron sputtering.
Zvakajairika Zvishandiso: Al, Cu, Ag, Au, Ti, Cr, nezvimwe.
Maitiro Ekubvisa: Maatomu esimbi, mushure mekubviswa mumhepo kana kudonhedzwa mu vacuum, anobatwa zvishoma nemakemikari uye anoungana mumamiriro awo emukati mechinhu.
Zvimiro Zvikuru:
Kufambisa magetsi kwakanyanya
Kupenya kwakanaka kwazvo, kunoshandiswa zvakanyanya mumagirazi emaziso
Kunamatira kwakasimba uye kugona kufamba zvakanaka
Maitiro Akajairika:
Matanho eElectrode mumidziyo yesemiconductor
Mapfekero anoratidza chiedza
Kupfeka kwekushongedza
II. Hunhu uye Nheyo dzeMachira Asiri esimbi
Mapendi asiri esimbi anonyanya kusanganisira ma oxides, nitrides, uye carbides, anowanzoiswa ne reactive sputtering kana ion plating.
Zvinhu Zvakajairika: SiO₂, TiO₂, Al₂O₃, Si₃N₄, DLC (Carbon Yakafanana neDaimondi), nezvimwewo.
Maitiro Ekuisa Zvinhu: Zvinangwa zvesimbi zvinosangana nemagasi ekushanda (semuenzaniso, O₂, N₂, CH₄), zvichigadzira mhando dzemagasi anowira pasi pevhu.
Zvimiro Zvikuru:
Kuomarara kwakanyanya uye kuramba kupfeka
Zvimiro zvakanaka zvemaziso, zvakaita sekujeka kwakanyanya kana kuti kushanda kusingaratidzike zvakanaka
Kudzivirira kwakasimba kwemagetsi
Maitiro Akajairika:
Kupfeka kwemaziso (semuenzaniso, mafirimu eAR, kuputira kwefirita)
Zvidziviriro (semuenzaniso, mafirimu eDLC anodzivirira kukwenya)
Zvidimbu zveDielectric mumidziyo yemagetsi
III. Musiyano Mukuru Pakati Pesimbi Nezvipfeko Zvisiri Zvesimbi
Zvimiro zveMafirimu:
Mapendi esimbi anosimbisa kufambiswa kwemhepo uye kupenya kwechiedza, zvichiita kuti zvive zvakanaka pakushandiswa kwemagetsi nekushongedza.
Mapendi asiri esimbi anotarisa pakudzora optical, insulation, uye kugara kwenguva refu kwemuchina.
Maitiro Ekuisa Zvinhu Pachivande:
Mapendi esimbi anowanzoiswa kuburikidza ne physical vapor deposition (PVD) nenzira dziri nyore.
Mapendi asiri esimbi anoda magasi anochinja-chinja, zvichikonzera mahwindo ekushanda akamanikana uye kudzora maparameter kwakasimba.
Minda Yekushandisa:
Kupfeka kwesimbi: maseketi emagetsi, magirazi anoratidzira, mafirimu ekushongedza.
Mapendi asiri esimbi: magirazi emaziso, mapaneru ekubata, machira ekudzivirira.
IV. Mabasa Anobatsira Mukushandiswa Kwemaindasitiri
Mukuita, simbi nesimbi dzisiri dzesimbi zvinowanzo sanganiswa:
Mafirimu ekufambisa eITO anoonekera anosanganisira zvinhu zve oxide (zvisiri zvesimbi) ukuwo achipawo magetsi ekufambisa (maitiro akafanana nesimbi).
Mumachira ekushongedza, jira resimbi (semuenzaniso, Ti kana Cr) rinowanzoiswa pakutanga, richiteverwa nejira risiri resimbi (semuenzaniso, TiN kana TiCN), zvichigadzira mafirimu anobatanidza chitarisiko chekushongedza nekusapfeka.
Mapendi esimbi neesiri esimbi rimwe nerimwe rine zvakanakira zvakasiyana mukusimbisa uye kushanda. Mapendi esimbi anosimbisa kufambisa kwemhepo uye kupenya kwechiedza, nepo mapendi asiri esimbi achinyanya kushanda zvakanaka mukuona, kudzivirira kupisa, uye kudzivirira. Mukushandisa mapendi evacuum, kusarudza musanganiswa wakakodzera wefirimu zvinoenderana nezvinodiwa nechigadzirwa kwakakosha mukusimudzira kushanda uye kukwikwidzana kwemusika.
—Nyaya iyi yakaburitswa namidziyo yekunamira ye vacuum mugadziri Zhenhua Vacuum
Nguva yekutumira: Nyamavhuvhu-18-2025