ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା କ୍ଷେତ୍ରରେ, ପତଳା ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକୁ ସାଧାରଣତଃ ଆବରଣ ସାମଗ୍ରୀ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରି ଧାତୁ ଆବରଣ ଏବଂ ଅଣ-ଧାତୁ ଆବରଣରେ ବର୍ଗୀକୃତ କରାଯାଇପାରେ। ଏହି ଦୁଇଟି ବର୍ଗ ଜମା ପଦ୍ଧତି, ଫିଲ୍ମ ଗୁଣ ଏବଂ ପ୍ରୟୋଗ କ୍ଷେତ୍ରରେ ଯଥେଷ୍ଟ ଭିନ୍ନ। ସେମାନଙ୍କର ପାର୍ଥକ୍ୟକୁ ବୁଝିବା ପ୍ରକ୍ରିୟା ଇଞ୍ଜିନିୟରମାନଙ୍କୁ ଉତ୍ପାଦନ ପାଇଁ ସବୁଠାରୁ ଉପଯୁକ୍ତ ସାମଗ୍ରୀ ଏବଂ ପାରାମିଟର ଚୟନ କରିବାରେ ସାହାଯ୍ୟ କରେ।
I. ର ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ଏବଂ ନୀତି ଧାତୁ ଆବରଣ
ଧାତୁ ଆବରଣ ହେଉଛି ତାପଜ ବାଷ୍ପୀଭବନ କିମ୍ବା ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଭଳି କୌଶଳ ମାଧ୍ୟମରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଧାତୁ ଲକ୍ଷ୍ୟ ଜମା କରିବା।
ସାଧାରଣ ସାମଗ୍ରୀ: ଅଲ୍, କୁ, ଏଗ୍, ଅାଉ, ଟି, କ୍ର, ଇତ୍ୟାଦି |
ଜମା ପ୍ରକ୍ରିୟା: ଧାତୁ ପରମାଣୁଗୁଡ଼ିକ, ଶୂନ୍ୟ ସ୍ଥାନରେ ବାଷ୍ପୀଭୂତ ହେବା କିମ୍ବା ଛିଟିକି ପଡ଼ିବା ପରେ, ସର୍ବନିମ୍ନ ରାସାୟନିକ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାରେ ଯାଇଥାଏ ଏବଂ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ସେମାନଙ୍କର ଆଭ୍ୟନ୍ତରୀଣ ଅବସ୍ଥାରେ ଘନୀଭୂତ ହୋଇଥାଏ।
ମୁଖ୍ୟ ଗୁଣଧର୍ମ:
ଉଚ୍ଚ ବୈଦ୍ୟୁତିକ ପରିବାହୀତା
ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ପ୍ରତିଫଳନ, ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଦର୍ପଣରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ।
ଦୃଢ଼ ଆବଦ୍ଧତା ଏବଂ ଭଲ ନମନୀୟତା
ସାଧାରଣ ପ୍ରୟୋଗ:
ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉପକରଣଗୁଡ଼ିକରେ ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋଡ୍ ସ୍ତର
ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ପ୍ରତିଫଳିତ ଆବରଣ
ସାଜସଜ୍ଜା ଆବରଣ
II. ଧାତୁବିହୀନ ଆବରଣର ବୈଶିଷ୍ଟ୍ୟ ଏବଂ ନୀତି
ଧାତୁହୀନ ଆବରଣରେ ମୁଖ୍ୟତଃ ଅକ୍ସାଇଡ୍, ନାଇଟ୍ରାଇଡ୍ ଏବଂ କାର୍ବାଇଡ୍ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ, ଯାହା ସାଧାରଣତଃ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ସ୍ପଟରିଂ କିମ୍ବା ଆୟନ୍ ପ୍ଲେଟିଂ ଦ୍ୱାରା ଜମା ହୋଇଥାଏ।
ସାଧାରଣ ସାମଗ୍ରୀ: SiO₂, TiO₂, Al₂O₃, Si₃N₄, DLC (ହୀରା ପରି କାର୍ବନ), ଇତ୍ୟାଦି।
ଜମା ପ୍ରକ୍ରିୟା: ଧାତୁ ଲକ୍ଷ୍ୟଗୁଡ଼ିକ ପ୍ରକ୍ରିୟା ଗ୍ୟାସଗୁଡ଼ିକ (ଯଥା, O₂, N₂, CH₄) ସହିତ ପ୍ରତିକ୍ରିୟା କରନ୍ତି, ଯୌଗିକ ପ୍ରଜାତି ଗଠନ କରନ୍ତି ଯାହା ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଜମା ହୁଏ।
ମୁଖ୍ୟ ଗୁଣଧର୍ମ:
ଉଚ୍ଚ କଠୋରତା ଏବଂ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧକତା
ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଗୁଣ, ଯେପରିକି ଉଚ୍ଚ ସ୍ୱଚ୍ଛତା କିମ୍ବା ପ୍ରତିଫଳନ-ପ୍ରତିଫଳନ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା
ଦୃଢ଼ ବୈଦ୍ୟୁତିକ ଇନସୁଲେସନ
ସାଧାରଣ ପ୍ରୟୋଗ:
ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଆବରଣ (ଯଥା, AR ଫିଲ୍ମ, ଫିଲ୍ଟର ଆବରଣ)
ସୁରକ୍ଷା ସ୍ତର (ଯଥା, DLC ଆଣ୍ଟି-ସ୍କ୍ରାଚ୍ ଫିଲ୍ମ)
ଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ ଉପକରଣରେ ଡାଇଲେକ୍ଟ୍ରିକ୍ ସ୍ତର
III. ଧାତୁ ଏବଂ ଅଣ-ଧାତୁ ଆବରଣ ମଧ୍ୟରେ ମୂଳ ପାର୍ଥକ୍ୟ
ଫିଲ୍ମ ଗୁଣଧର୍ମ:
ଧାତୁ ଆବରଣ ଚାଳିତତା ଏବଂ ପ୍ରତିଫଳନକୁ ଗୁରୁତ୍ୱ ଦିଏ, ଯାହା ସେମାନଙ୍କୁ ବୈଦ୍ୟୁତିକ ଏବଂ ସାଜସଜ୍ଜା ପ୍ରୟୋଗ ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ କରିଥାଏ।
ଧାତୁବିହୀନ ଆବରଣଗୁଡ଼ିକ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ, ଇନସୁଲେସନ ଏବଂ ଯାନ୍ତ୍ରିକ ସ୍ଥାୟୀତ୍ୱ ଉପରେ ଧ୍ୟାନ ଦିଏ।
ଜମା ପ୍ରକ୍ରିୟା:
ଧାତୁ ଆବରଣ ସାଧାରଣତଃ ଭୌତିକ ବାଷ୍ପ ଜମା (PVD) ମାଧ୍ୟମରେ ଅପେକ୍ଷାକୃତ ସରଳ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସହିତ ଜମା ହୋଇଥାଏ।
ଧାତୁହୀନ ଆବରଣ ପାଇଁ ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ଗ୍ୟାସ ଆବଶ୍ୟକ ହୁଏ, ଯାହା ଫଳରେ ପ୍ରକ୍ରିୟା ୱିଣ୍ଡୋ ସଂକୀର୍ଣ୍ଣ ହୁଏ ଏବଂ ପାରାମିଟର ନିୟନ୍ତ୍ରଣ କଠୋର ହୁଏ।
ଆବେଦନ କ୍ଷେତ୍ର:
ଧାତୁ ଆବରଣ: ବୈଦ୍ୟୁତିକ ସର୍କିଟ, ପ୍ରତିଫଳିତ ଦର୍ପଣ, ସାଜସଜ୍ଜା ଫିଲ୍ମ।
ଧାତୁହୀନ ଆବରଣ: ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଲେନ୍ସ, ସ୍ପର୍ଶ ପ୍ୟାନେଲ୍, ସୁରକ୍ଷା ସ୍ତର।
IV. ଶିଳ୍ପ ପ୍ରୟୋଗରେ ପରିପୂରକ ଭୂମିକା
ଅଭ୍ୟାସରେ, ଧାତୁ ଏବଂ ଅଣ-ଧାତୁ ଆବରଣ ପ୍ରାୟତଃ ମିଶ୍ରିତ ହୋଇଥାଏ:
ITO ସ୍ୱଚ୍ଛ ପରିବାହୀ ଫିଲ୍ମଗୁଡ଼ିକ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ସାମଗ୍ରୀ (ଅଣ-ଧାତୁ ଗୁଣ) ଧାରଣ କରିଥାଏ ଏବଂ ବୈଦ୍ୟୁତିକ ପରିବାହୀତା (ଧାତୁ ପରି ଆଚରଣ) ମଧ୍ୟ ପ୍ରଦାନ କରିଥାଏ।
ସାଜସଜ୍ଜା ଆବରଣରେ, ପ୍ରାୟତଃ ଏକ ଧାତୁ ସ୍ତର (ଯଥା, Ti କିମ୍ବା Cr) ପ୍ରଥମେ ଜମା କରାଯାଏ, ତା’ପରେ ଏକ ଅଣ-ଧାତୁ ସ୍ତର (ଯଥା, TiN କିମ୍ବା TiCN), ଯାହା ଦ୍ୱାରା ସଂଯୋଜିତ ଫିଲ୍ମ ତିଆରି ହୁଏ ଯାହା ସାଜସଜ୍ଜା ଦୃଶ୍ୟକୁ ପରିଧାନ ପ୍ରତିରୋଧ ସହିତ ମିଶ୍ରଣ କରେ।
ଧାତୁ ଏବଂ ଅଣ-ଧାତୁ ଆବରଣ ପ୍ରତ୍ୟେକ ନୀତି ଏବଂ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଦୃଷ୍ଟିରୁ ଅନନ୍ୟ ସୁବିଧା ପ୍ରଦାନ କରେ। ଧାତୁ ଆବରଣ ଚାଳିତତା ଏବଂ ପ୍ରତିଫଳନକୁ ଗୁରୁତ୍ୱ ଦିଏ, ଯେତେବେଳେ ଅଣ-ଧାତୁ ଆବରଣ ଅପ୍ଟିକାଲ୍, ଇନସୁଲେଟିଂ ଏବଂ ସୁରକ୍ଷା କାର୍ଯ୍ୟକାରିତାରେ ଉତ୍କର୍ଷ ହାସଲ କରେ। ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ପ୍ରୟୋଗରେ, ଉତ୍ପାଦ ଆବଶ୍ୟକତା ଅନୁସାରେ ଉପଯୁକ୍ତ ଫିଲ୍ମ ମିଶ୍ରଣ ଚୟନ କରିବା କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଏବଂ ବଜାର ପ୍ରତିଯୋଗିତା ଉଭୟକୁ ବୃଦ୍ଧି କରିବା ପାଇଁ ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ।
—ଏହି ଲେଖାଟି ପ୍ରକାଶିତ ହୋଇଥିଲାଭାକ୍ୟୁମ୍ ଆବରଣ ଉପକରଣ ନିର୍ମାତା ଜେନହୁଆ ଭାକ୍ୟୁମ୍
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ଅଗଷ୍ଟ-୧୮-୨୦୨୫