דין-פילם דעפאזיציע איז א פונדאמענטאלער פראצעס גענוצט אין דער האלב-קאנדוקטאר אינדוסטריע, ווי אויך אין פילע אנדערע געביטן פון מאטעריאל וויסנשאפט און אינזשעניריע. עס באשטייט פון די שאַפונג פון א דין שיכט פון מאטעריאל אויף א סאַבסטראַט. די דעפאזירטע פילמען קענען האבן א ברייטע קייט פון דיקקייטן, פון נאר א פאר אטאמישע שיכטן ביז עטלעכע מיקראמעטערס דיק. די פילמען קענען דינען פאר פילע צוועקן, ווי עלעקטרישע קאנדוקטארן, איזאלאטארן, אפטישע באדעקונגען, אדער שוץ-באַריערן.
דאָ זענען די הויפּט מעטאָדן געניצט פֿאַר דין פילם דעפּאָזיציע:
פיזישע פארע דעפאזיציע (PVD)
שפּאַטערן: א הויך-ענערגיע יאָן שטראַל ווערט גענוצט צו אָפּשטויסן אַטאָמען פֿון אַ ציל מאַטעריאַל, וואָס דאַן דעפּאָזיטירט אויף דעם סאַבסטראַט.
פארדאמפונג:** דער מאַטעריאַל ווערט געהייצט אין אַ וואַקוום ביז עס פארדאמפט, און דערנאָך קאָנדענסירט דער פארע אויף דעם סאַבסטראַט.
אַטאָמישע שיכט דעפּאַזישאַן (ALD)
ALD איז אַ טעכניק וואו אַ פֿילם ווערט געוואַקסן אויף אַ סאַבסטראַט איין אַטאָמישע שיכט אין אַ צייט. עס איז שטאַרק קאָנטראָלירט און קען שאַפֿן זייער פּינקטלעכע און קאָנפאָרמאַלע פֿילמען.
מאָלעקולאַר שטראַל עפּיטאַקסי (MBE)
MBE איז אַן עפּיטאַקסיאַל וווּקס טעכניק וואו שטראַלן פון אַטאָמען אָדער מאָלעקולן ווערן געריכטעט אויף אַ געהייצט סאַבסטראַט צו פאָרמירן אַ קריסטאַלינע דין פילם.
מעלות פון דין פילם דעפּאַזישאַן
פֿאַרבעסערטע פֿונקציאָנאַליטעט: פֿילמען קענען צושטעלן נײַע אייגנשאַפֿטן צום סאַבסטראַט, ווי קראַצן־קעגנשטעל אָדער עלעקטרישע קאַנדאַקטיוויטי.
רעדוצירטע מאַטעריאַל באַניץ: עס ערמעגליכט די שאַפונג פון קאָמפּלעקסע דעוויסעס מיט מינימאַל מאַטעריאַל באַניץ, רעדוצירנדיק קאָסטן.
קאַסטאַמייזיישאַן: פֿילמען קענען ווערן צוגעפּאַסט צו האָבן ספּעציפֿישע מעכאַנישע, עלעקטרישע, אָפּטישע אָדער כעמישע אייגנשאַפֿטן.
אַפּליקאַציעס
האַלב-קאָנדוקטאָר דעוויסעס: טראַנזיסטאָרס, אינטעגרירטע קרייזן, און מיקראָעלעקטראָמעכאַנישע סיסטעמען (MEMS).
אָפּטישע קאָוטינגז: אַנטי-רעפלעקטיוו און הויך-רעפלעקטיוו קאָוטינגז אויף לענסעס און זונ - צעלן.
פּראַטעקטיוו קאָוטינגז: צו פאַרמייַדן קעראָוזשאַן אָדער טראָגן אויף מכשירים און מאַשינערי.
ביאָמעדיצינישע אַפּליקאַציעס: קאָוטינגז אויף מעדיצינישע ימפּלאַנטן אָדער מעדיצין עקספּרעס סיסטעמען.
די אויסוואל פון דעפּאָזיציע טעכניק דעפּענדס אויף די ספּעציפֿישע באדערפענישן פון דער אַפּלאַקיישאַן, אַרייַנגערעכנט די טיפּ מאַטעריאַל וואָס דאַרף דעפּאָנירט ווערן, די געוואונטשענע פילם אייגנשאַפטן, און די קאָסטן לימיטיישאַנז.
–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ
פּאָסט צייט: 15טן אויגוסט 2024
