Công nghệ lắng đọng màng mỏng

Quá trình lắng đọng màng mỏng là một quá trình cơ bản được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn, cũng như trong nhiều lĩnh vực khác của khoa học và kỹ thuật vật liệu. Quá trình này liên quan đến việc tạo ra một lớp vật liệu mỏng trên một chất nền. Các màng lắng đọng có thể có nhiều độ dày khác nhau, từ chỉ một vài lớp nguyên tử đến dày vài micromet. Những màng này có thể phục vụ nhiều mục đích, chẳng hạn như vật dẫn điện, vật cách điện, lớp phủ quang học hoặc rào cản bảo vệ.

Sau đây là những phương pháp chính được sử dụng để lắng đọng màng mỏng:
Lắng đọng hơi vật lý (PVD)
Phun xạ: Một chùm ion năng lượng cao được sử dụng để đánh bật các nguyên tử ra khỏi vật liệu mục tiêu, sau đó lắng đọng trên chất nền.
Bay hơi:** Vật liệu được nung nóng trong chân không cho đến khi bay hơi, sau đó hơi nước ngưng tụ trên chất nền.
Lắng đọng lớp nguyên tử (ALD)
ALD là một kỹ thuật trong đó một lớp màng được phát triển trên một chất nền theo từng lớp nguyên tử. Nó được kiểm soát chặt chẽ và có thể tạo ra các lớp màng rất chính xác và phù hợp.
Epitaxy chùm phân tử (MBE)
MBE là một kỹ thuật phát triển epitaxial trong đó các chùm nguyên tử hoặc phân tử được hướng vào một chất nền được nung nóng để tạo thành một lớp màng mỏng tinh thể.
Ưu điểm của lắng đọng màng mỏng
Chức năng nâng cao: Phim có thể cung cấp các đặc tính mới cho chất nền, chẳng hạn như khả năng chống trầy xước hoặc độ dẫn điện.
Giảm thiểu sử dụng vật liệu: Cho phép tạo ra các thiết bị phức tạp với mức sử dụng vật liệu tối thiểu, giúp giảm chi phí.
Tùy chỉnh: Phim có thể được tùy chỉnh để có các tính chất cơ học, điện, quang học hoặc hóa học cụ thể.
Ứng dụng
Thiết bị bán dẫn: Transistor, mạch tích hợp và hệ thống vi cơ điện tử (MEMS).
Lớp phủ quang học: Lớp phủ chống phản xạ và phản xạ cao trên thấu kính và tế bào quang điện.
Lớp phủ bảo vệ: Để ngăn ngừa sự ăn mòn hoặc mài mòn trên các công cụ và máy móc.
Ứng dụng y sinh: Lớp phủ trên các thiết bị cấy ghép y tế hoặc hệ thống dẫn thuốc.
Việc lựa chọn kỹ thuật lắng đọng phụ thuộc vào các yêu cầu cụ thể của ứng dụng, bao gồm loại vật liệu cần lắng đọng, tính chất màng mong muốn và hạn chế về chi phí.

– Bài viết này được phát hành bởinhà sản xuất máy phủ chân khôngQuảng Đông Chấn Hoa