Thiết bị tích hợp công nghệ phun magnetron và công nghệ bốc hơi điện trở, cung cấp giải pháp phủ nhiều loại chất nền khác nhau.
Thiết bị phủ thử nghiệm chủ yếu được sử dụng trong các trường đại học và viện nghiên cứu khoa học, có thể đáp ứng nhiều yêu cầu thử nghiệm khác nhau. Thiết bị có nhiều mục tiêu cấu trúc khác nhau, có thể được cấu hình linh hoạt để đáp ứng nghiên cứu và phát triển khoa học trong các lĩnh vực khác nhau. Có thể lựa chọn hệ thống phún xạ magnetron, hệ thống hồ quang catốt, hệ thống bốc hơi chùm electron, hệ thống bốc hơi điện trở, CVD, PECVD, nguồn ion, hệ thống phân cực, hệ thống gia nhiệt, đồ gá ba chiều, v.v. Khách hàng có thể lựa chọn theo nhu cầu khác nhau của mình.
Thiết bị có đặc điểm hình thức đẹp, kết cấu nhỏ gọn, diện tích sàn nhỏ, mức độ tự động hóa cao, vận hành đơn giản và linh hoạt, hiệu suất ổn định và dễ bảo trì.
Thiết bị có thể được áp dụng cho nhựa, thép không gỉ, phần cứng mạ điện / bộ phận nhựa, thủy tinh, gốm sứ và các vật liệu khác. Các lớp kim loại đơn giản như titan, crom, bạc, đồng, nhôm hoặc màng hợp chất kim loại như TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC có thể được chuẩn bị.
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500*H600(mm) | φ600*H800(mm) | φ800*H1000(mm) |