Yupqa plyonkani cho'ktirish yarimo'tkazgich sanoatida, shuningdek materialshunoslik va muhandislikning boshqa ko'plab sohalarida qo'llaniladigan asosiy jarayondir. Bu substratda nozik bir material qatlamini yaratishni o'z ichiga oladi. To'plangan plyonkalar bir necha atom qatlamlaridan bir necha mikrometrgacha qalinlikdagi keng diapazonga ega bo'lishi mumkin. Ushbu filmlar elektr o'tkazgichlari, izolyatorlar, optik qoplamalar yoki himoya to'siqlari kabi ko'plab maqsadlarga xizmat qilishi mumkin.
Yupqa plyonkani yotqizish uchun ishlatiladigan asosiy usullar:
Jismoniy bug 'birikishi (PVD)
Sputtering: Yuqori energiyali ion nurlari atomlarni maqsadli materialdan urib tushirish uchun ishlatiladi, so'ngra u substratga tushadi.
Bug'lanish:** Material bug'lanib ketguncha vakuumda isitiladi, so'ngra bug' substratda kondensatsiyalanadi.
Atom qatlamini cho'ktirish (ALD)
ALD - bu plyonka substratda bir vaqtning o'zida bir atom qatlamida o'stiriladigan usul. U yuqori darajada nazorat qilinadi va juda aniq va konformal plyonkalarni yaratishi mumkin.
Molekulyar nur epitaksisi (MBE)
MBE epitaksial o'sish usuli bo'lib, atomlar yoki molekulalarning nurlari kristalli yupqa plyonka hosil qilish uchun qizdirilgan substratga yo'naltiriladi.
Yupqa plyonkalarni joylashtirishning afzalliklari
Kengaytirilgan funksionallik: plyonkalar taglikka tirnalgan qarshilik yoki elektr o'tkazuvchanlik kabi yangi xususiyatlarni berishi mumkin.
Materiallardan foydalanishni qisqartirish: Bu minimal materiallardan foydalanish bilan murakkab qurilmalarni yaratish, xarajatlarni kamaytirish imkonini beradi.
Moslashtirish: Filmlar o'ziga xos mexanik, elektr, optik yoki kimyoviy xususiyatlarga ega bo'lishi uchun moslashtirilishi mumkin.
Ilovalar
Yarimo'tkazgichli qurilmalar: tranzistorlar, integral mikrosxemalar va mikroelektromexanik tizimlar (MEMS).
Optik qoplamalar: linzalar va quyosh batareyalarida aks ettiruvchi va yuqori aks ettiruvchi qoplamalar.
Himoya qoplamalari: asboblar va mexanizmlarning korroziyasini yoki aşınmasını oldini olish uchun.
Biomedikal qo'llanmalar: Tibbiy implantlar yoki dori vositalarini etkazib berish tizimlaridagi qoplamalar.
Cho'kish texnikasini tanlash dasturning o'ziga xos talablariga, shu jumladan yotqiziladigan materialning turiga, kerakli plyonka xususiyatlariga va xarajat cheklovlariga bog'liq.
- Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Yuborilgan vaqt: 2024 yil 15-avgust