Осадження тонких плівок – це фундаментальний процес, що використовується в напівпровідниковій промисловості, а також у багатьох інших галузях матеріалознавства та інженерії. Він передбачає створення тонкого шару матеріалу на підкладці. Осаджені плівки можуть мати широкий діапазон товщини, від кількох атомних шарів до кількох мікрометрів. Ці плівки можуть служити багатьом цілям, таким як електричні провідники, ізолятори, оптичні покриття або захисні бар'єри.
Ось основні методи, що використовуються для нанесення тонких плівок:
Фізичне осадження з парової фази (PVD)
Розпилення: Високоенергетичний іонний пучок використовується для вибивання атомів з цільового матеріалу, який потім осідає на підкладці.
Випаровування:** Матеріал нагрівають у вакуумі до випаровування, а потім пара конденсується на підкладці.
Атомно-шарове осадження (ALD)
ALD – це техніка, за якої плівка вирощується на підкладці шар за шаром, один атом. Вона є висококонтрольованою та дозволяє створювати дуже точні та конформні плівки.
Молекулярно-променева епітаксія (MBE)
МБЕ – це метод епітаксіального росту, при якому пучки атомів або молекул спрямовуються на нагріту підкладку для утворення тонкої кристалічної плівки.
Переваги осадження тонких плівок
Розширена функціональність: Плівки можуть надавати підкладці нові властивості, такі як стійкість до подряпин або електропровідність.
Зменшення використання матеріалів: це дозволяє створювати складні пристрої з мінімальним використанням матеріалів, знижуючи витрати.
Налаштування: Плівки можна налаштувати, щоб вони мали певні механічні, електричні, оптичні або хімічні властивості.
Застосування
Напівпровідникові прилади: транзистори, інтегральні схеми та мікроелектромеханічні системи (MEMS).
Оптичні покриття: антиблікові та високоблікові покриття на лінзах та сонячних елементах.
Захисні покриття: Для запобігання корозії або зносу інструментів та машин.
Біомедичні застосування: покриття на медичних імплантатах або системах доставки ліків.
Вибір методу нанесення залежить від конкретних вимог застосування, включаючи тип матеріалу, що осаджується, бажані властивості плівки та обмеження вартості.
–Цю статтю опубліковановиробник вакуумних машин для покриттяГуандун Чженьхуа
Час публікації: 15 серпня 2024 р.