Нечкә фильмны чүпләү - ярымүткәргеч индустриясендә, шулай ук материаллар һәм инженериянең башка өлкәләрендә кулланылган төп процесс. Бу субстратта нечкә материал катламын булдыруны үз эченә ала. Сакланган фильмнар берничә атом катламыннан берничә микрометр калынлыкка кадәр калынлыкның киң диапазонына ия булырга мөмкин. Бу фильмнар күп максатларга хезмәт итә ала, мәсәлән, электр үткәргечләр, изоляторлар, оптик каплау яки саклагыч киртәләр.
Нечкә фильмны чүпләү өчен кулланылган төп ысуллар:
Физик пар парламенты (ПВД)
Спуттеринг: югары энергияле ион нуры атомны максатлы материалдан бәреп төшерү өчен кулланыла, аннары субстратка сала.
Парлану: ** Материал вакуумда парга әйләнгәнче җылытыла, аннары пар субстратта конденсацияләнә.
Атом катламы (ALD)
ALD - бер субстратта берьюлы бер атом катламында үскән техника. Ул бик контрольдә тотыла һәм бик төгәл һәм конформаль фильмнар булдыра ала.
Молекуляр нур эпитаксы (MBE)
MBE - эпитаксиаль үсеш техникасы, анда атом яки молекулалар нурлары кристалл нечкә пленка формалаштыру өчен җылытылган субстратка юнәлтелә.
Нечкә фильмны урнаштыру өстенлекләре
Күчерелгән функциональлек: Фильмнар субстратка яңа характеристика бирә ала, мәсәлән, сызылуга каршы тору яки электр үткәрүчәнлеге.
Материал куллануны киметү: Бу минималь материал куллану белән катлаулы җайланмалар булдырырга мөмкинлек бирә, чыгымнарны киметә.
Custзенчәләштерү: Фильмнар махсус механик, электр, оптик яки химик үзенчәлекләргә ия булырга мөмкин.
Кушымталар
Ярымүткәргеч җайланмалар: Транзисторлар, интеграль схемалар, һәм микроэлектромеханик системалар (MEMS).
Оптик капламалар: Линзаларда һәм кояш күзәнәкләрендә анти-рефектив һәм югары чагылдыргыч капламалар.
Саклагыч капламалар: Коррозиядән саклану яки коралларда һәм техникада киенү.
Биомедицина кушымталары: Медицина имплантлары яисә дарулар җибәрү системалары.
Чүпләү техникасын сайлау кушымтаның конкрет таләпләренә, шул исәптән урнаштырылачак материалның төренә, кирәкле кино үзенчәлекләренә һәм бәяләр чикләүләренә бәйле.
IsБу мәкалә бастырылганвакуум каплау машинасы җитештерүчеГуандун Чжэнхуа
Пост вакыты: 15-2024 август