İnce film biriktirme, yarı iletken endüstrisinde ve malzeme bilimi ve mühendisliğinin birçok başka alanında kullanılan temel bir işlemdir. Bir alt tabaka üzerinde ince bir malzeme tabakasının oluşturulmasını içerir. Biriktirilen filmler, sadece birkaç atom katmanından birkaç mikron kalınlığa kadar geniş bir kalınlık aralığına sahip olabilir. Bu filmler, elektrik iletkenleri, yalıtkanlar, optik kaplamalar veya koruyucu bariyerler gibi birçok amaca hizmet edebilir.
İnce film biriktirmede kullanılan başlıca yöntemler şunlardır:
Fiziksel Buhar Biriktirme (PVD)
Püskürtme: Yüksek enerjili bir iyon demeti, hedef malzemeden atomları koparmak ve daha sonra bu atomların alt tabakaya birikmesini sağlamak için kullanılır.
Buharlaşma:** Malzeme vakumda ısıtılarak buharlaştırılır ve daha sonra buhar, alt tabaka üzerinde yoğunlaşır.
Atomik Katman Birikimi (ALD)
ALD, bir filmin bir alt tabaka üzerinde birer atomik katman halinde büyütüldüğü bir tekniktir. Son derece kontrollüdür ve çok hassas ve uyumlu filmler oluşturabilir.
Moleküler Işın Epitaksi (MBE)
MBE, atom veya molekül demetlerinin ısıtılmış bir alt tabaka üzerine yönlendirilerek kristalin ince bir film oluşturulmasıyla uygulanan bir epitaksiyel büyüme tekniğidir.
İnce Film Biriktirmenin Avantajları
Gelişmiş işlevsellik: Filmler, alt tabakaya çizilme direnci veya elektrik iletkenliği gibi yeni özellikler kazandırabilir.
Azaltılmış malzeme kullanımı: Karmaşık cihazların minimum malzeme kullanımıyla yaratılmasına olanak vererek maliyetleri azaltır.
Özelleştirme: Filmler, belirli mekanik, elektriksel, optik veya kimyasal özelliklere sahip olacak şekilde tasarlanabilir.
Uygulamalar
Yarı iletken aygıtlar: Transistörler, entegre devreler ve mikroelektromekanik sistemler (MEMS).
Optik kaplamalar: Lensler ve güneş pilleri üzerindeki yansıma önleyici ve yüksek yansımalı kaplamalar.
Koruyucu kaplamalar: Alet ve makinelerde korozyonu veya aşınmayı önlemek için.
Biyomedikal uygulamalar: Tıbbi implantlar veya ilaç taşıma sistemleri üzerindeki kaplamalar.
Biriktirme tekniğinin seçimi, biriktirilecek malzemenin türü, istenen film özellikleri ve maliyet kısıtlamaları da dahil olmak üzere uygulamanın özel gereksinimlerine bağlıdır.
–Bu makale tarafından yayınlanmıştırvakum kaplama makinesi üreticisiGuangdong Zhenhua
Gönderi zamanı: 15-Ağu-2024