Ang thin film deposition ay isang pangunahing proseso na ginagamit sa industriya ng semiconductor, gayundin sa maraming iba pang larangan ng agham at engineering ng mga materyales. Ito ay nagsasangkot ng paglikha ng isang manipis na layer ng materyal sa isang substrate. Ang mga nakadepositong pelikula ay maaaring magkaroon ng malawak na hanay ng mga kapal, mula sa ilang mga atomic na layer hanggang sa ilang micrometer ang kapal. Ang mga pelikulang ito ay maaaring magsilbi sa maraming layunin, tulad ng mga electrical conductor, insulator, optical coating, o protective barrier.
Narito ang mga pangunahing pamamaraan na ginagamit para sa thin film deposition:
Physical Vapor Deposition (PVD)
Sputtering:Ang isang high-energy ion beam ay ginagamit upang patumbahin ang mga atomo sa isang target na materyal, na pagkatapos ay magdedeposito sa substrate.
Pagsingaw:** Ang materyal ay pinainit sa isang vacuum hanggang sa ito ay sumingaw, at pagkatapos ay ang singaw ay namumuo sa substrate.
Atomic Layer Deposition (ALD)
Ang ALD ay isang pamamaraan kung saan ang isang pelikula ay lumago sa isang substrate ng isang atomic layer sa isang pagkakataon. Ito ay lubos na kinokontrol at maaaring lumikha ng napaka-tumpak at kaayon ng mga pelikula.
Molecular Beam Epitaxy (MBE)
Ang MBE ay isang epitaxial growth technique kung saan ang mga beam ng mga atom o molekula ay nakadirekta sa isang pinainit na substrate upang bumuo ng isang mala-kristal na manipis na pelikula.
Mga Bentahe ng Thin Film Deposition
Pinahusay na functionality: Ang mga pelikula ay maaaring magbigay ng mga bagong katangian sa substrate, tulad ng scratch resistance o electrical conductivity.
Pinababang paggamit ng materyal: Nagbibigay-daan ito para sa paglikha ng mga kumplikadong device na may kaunting paggamit ng materyal, na nagpapababa ng mga gastos.
Pag-customize: Maaaring iayon ang mga pelikula upang magkaroon ng mga partikular na katangiang mekanikal, elektrikal, optical, o kemikal.
Mga aplikasyon
Mga aparatong semiconductor: Mga transistor, integrated circuit, at microelectromechanical system (MEMS).
Optical coatings: Anti-reflective at high-reflective coatings sa mga lente at solar cell.
Mga proteksiyon na patong: Upang maiwasan ang kaagnasan o pagkasira sa mga kasangkapan at makinarya.
Mga biomedical na aplikasyon: Mga patong sa mga medikal na implant o mga sistema ng paghahatid ng gamot.
Ang pagpili ng pamamaraan ng pagdedeposito ay nakasalalay sa mga partikular na kinakailangan ng aplikasyon, kabilang ang uri ng materyal na idedeposito, ang mga gustong katangian ng pelikula, at ang mga hadlang sa gastos.
–Ang artikulong ito ay inilabas ngtagagawa ng vacuum coating machineGuangdong Zhenhua
Oras ng post: Aug-15-2024