Häzirki zaman wakuum örtük tehnologiýalarynda, egrilik naprýaženiýesini dolandyrmak inçe plýonkanyň mikrostrukturasyna, dykyzlygyna, içki dartgynlygyna we ýelmeşme güýjüne gönüden-göni täsir edýän möhüm parametrdir. Gaty örtüklerde, bezeg plýonkalarynda ýa-da optiki örtüklerde bolsun, substrat egrilik naprýaženiýesini dogry dolandyrmak diňe bir plazma dinamikasyny modulirlemän, eýsem netijede peýda bolýan plýonkalaryň funksiýasyny we ygtybarlylygyny hem ýokarlandyrýar.
№1 Taýýar woltaž dolandyryşy näme?
Taraplaýyn naprýaženiýe gözegçiligiçökündi wagtynda substrata negatiw potensial bermek usulyna degişlidir, bu bolsa ony daş-töweregindäki plazmadan elektrik taýdan pes edýär. Bu usul PVD (Fiziki bug çökündisi) proseslerinde, esasanam magnetron püskürtmesinde, ion örtüklerinde we katod ýaý çökündisi ulgamlarynda giňden ulanylýar.
Substratyň gyşarnygy DC (Dikeý tok), MF (Orta ýygylyk) ýa-da RF (Radio ýygylyk) energiýa çeşmeleri arkaly ulanylyp bilner. Onuň esasy wezipesi plazmadaky oňyn ionlary substratyň ýüzüne tarap tizleşdirmek, şeýle hem plýonkanyň ösüş häsiýetlerini höweslendirýän ion bombardmanyny üpjün etmekdir.
№2 Taýýar woltažyň plýonkanyň häsiýetlerine nähili täsir edýändigi
Gaýtalanma naprýaženiýesiniň esasy mehanizmi gelýän ionlaryň energiýasy arkaly plýonka ösüş kinetikasyny üýtgetmekden ybaratdyr. Onuň täsiri birnäçe esasy taraplarda öz beýanyny tapýar:
Dykyzlaşdyrma:
Degişli negatiw gyşarnyk substrata gelýän ionlaryň kinetiki energiýasyny artdyrýar, ýüziň hereketliligini we adamotlaryň täzeden düzülmegini höweslendirýär. Bu bolsa korroziýa garşylygynyň, berkliginiň we aşynma garşylygynyň ýokarlanmagy bilen has dykyz plýonkalaryň döremegine getirýär.
Stressi düzgünleşdirmek:
Ion bombardmany plyonkanyň içinde galyndy stres hem döredýär. Aşa köp egrilik basyş stresini döredip, ýarylmaga ýa-da delaminasiýa sebäp bolup biler. Şonuň üçin optimal egrilik derejeleri plyonka materialyna, substrat görnüşine we örtügiň galyňlygyna esaslanyp üns bilen saýlanmalydyr.
Ýelimleşme Güýçlendirmesi:
Gatlaklaryň garyşmagyny höweslendirmek ýa-da derejelendirilen interfeýsleri döretmek arkaly interfeýs özara täsirleri güýçlendirýär, şeýlelik bilen plýonkanyň substrata ýelmeşmegini gowulandyrýar, bu bolsa, esasanam, gaty örtükler ýa-da köp gatlakly gurluşlar üçin möhümdir.
Bölejikleri basyp ýatyrmak we ýüzi tekizlemek:
Degişli gyşarnyklyk makrobölekleriň goşulyşyny basyp, ýüzüň tekizligini azaldyp, şeýlelik bilen optiki plýonkalardaky saçylma ýitgisini azaldyp we ýüzüň hilini gowulandyryp biler.
№3 Gaýragoýulmasyzlygyň Gözegçilik Usullarynyň Görnüşleri
DC Bias: Adatça geçiriji substratlar üçin ulanylýar, ýönekeý gözegçilik we çalt jogap bermek mümkinçiligini berýär. Bezeg örtüklerinde we gaty örtüklerde adatydyr.
RF Bias: Aýna, keramika we polimerler ýaly geçiriji däl substratlar üçin ideal. Giň materiallar bilen utgaşyklylygy hödürleýär, ýöne has çylşyrymly ulgam integrasiýasyny we proses sazlamasyny talap edýär.
Impulsly gyşarnyk: Periodik gyşarnyk impulslaryny ulanmagy, çökündi tizligini we ion energiýasyny deňleşdirmegi öz içine alýar. Pes temperaturaly örtükler ýa-da çylşyrymly geometriýalar üçin gowy laýyk gelýär.
Mundan başga-da, käbir ösen ulgamlar durnukly proses penjiresini saklamak we dürli tapgyrlarda örtügiň birmeňzeşligini üpjün etmek üçin plazma häsiýetlerini we üýtgeşiklik akymyny real wagt režiminde gözegçilik edýän ýapyk aýlawly üýtgeşiklik gözegçiligini ulanýarlar.
—Bu makala çap edildi wakuum örtük enjamlaryöndüriji Zhenhua tozan sorujy
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 17-nji iýuly