Ann an teicneòlasan còmhdach falamh an latha an-diugh, tha smachd bholtaids claonaidh na pharamadair deatamach a bheir buaidh dhìreach air meanbh-structar film tana, dùmhlachd, cuideam a-staigh, agus neart greamachaidh. Ge bith an ann an còmhdach cruaidh, filmichean sgeadachaidh, no còmhdach optigeach, chan e a-mhàin gu bheil smachd ceart air bholtaids claonaidh an t-substrate ag atharrachadh daineamaigs plasma, ach cuideachd a’ neartachadh gnìomhachd agus earbsachd nam filmichean a thig às.
Àir. 1 Dè a th’ ann an smachd bholtaids claonaidh?
Smachd bholtaids claonadha’ toirt iomradh air an dòigh anns a bheil comas àicheil air an t-substrate rè tasgadh, ga dhèanamh nas ìsle gu dealain na am plasma mun cuairt. Tha an dòigh seo air a chleachdadh gu farsaing ann am pròiseasan PVD (Physical Vapor Deposition), gu sònraichte ann an sputtering magnetron, plating ian, agus siostaman tasgadh arc cathodic.
Faodar claonadh an t-substrate a chur an sàs tro sholar cumhachd DC (Sruth Dhìreach), MF (Tricead Meadhanach), no RF (Tricead Rèidio). ’S e a phrìomh dhleastanas ianan adhartach anns a’ phlasma a luathachadh a dh’ionnsaigh uachdar an t-substrate, a’ comasachadh bomadh ian a bhrosnaicheas feartan fàis film a tha ion-mhiannaichte.
Àir. 2 Mar a bheir bholtaids claonadh buaidh air feartan film
Tha am prìomh dhòigh-obrach airson smachd bholtaids claonaidh a bhith ag atharrachadh cineatics fàis film tro lùth nan ian a tha a’ tighinn a-steach. Tha a bhuaidh ri fhaicinn ann an grunn phrìomh thaobhan:
Dlùthachadh:
Bidh claonadh àicheil iomchaidh ag àrdachadh lùth cineatach nan ian a ruigeas an t-substrate, a’ brosnachadh gluasad uachdar agus ath-eagrachadh adatoman. Bidh seo a’ leantainn gu filmichean nas dùmhaile le strì an aghaidh creimeadh, cruas agus caitheamh nas fheàrr.
Riaghladh cuideam:
Bidh bomadh ian cuideachd a’ toirt a-steach cuideam fuigheallach taobh a-staigh an fhilm. Faodaidh cus claonadh cuideam teannachaidh adhbhrachadh, a dh’ fhaodadh sgàineadh no delamination adhbhrachadh. Mar sin, feumar na h-ìrean claonaidh as fheàrr a thaghadh gu faiceallach stèidhichte air stuth an fhilm, seòrsa an t-substrate, agus tighead a’ chòtaich.
Leasachadh Greamachaidh:
Bidh bholtaids claonaidh a’ neartachadh eadar-obrachaidhean eadar-aghaidh le bhith a’ brosnachadh measgachadh eadar-fhilleadh no a’ cruthachadh eadar-aghaidhean ìreichte, agus mar sin a’ leasachadh greamachadh film-gu-substrate - gu sònraichte deatamach airson còtaichean cruaidh no structaran ioma-fhilleadh.
Casg Mìrean agus Rèidheachadh Uachdar:
Faodaidh claonadh iomchaidh casg a chuir air cuir a-steach macro-ghràinean agus garbh-chruthachd uachdar a lughdachadh, agus mar sin a’ lughdachadh call sgapadh ann am filmichean optigeach agus a’ leasachadh càileachd an uachdair.
Àir. 3 Seòrsachan de dhòighean smachd claonaidh
Claonadh DC: Air a chleachdadh gu cumanta airson fo-stratan giùlain, a’ tabhann smachd sìmplidh agus freagairt luath. Mar as trice ann an còtaichean sgeadachaidh agus còtaichean cruaidh.
Claonadh RF: Freagarrach airson bun-stuthan neo-ghiùlain leithid glainne, ceirmeag, agus poileamairean. A’ tabhann co-chòrdalachd stuthan farsaing ach feumaidh e amalachadh siostam agus gleusadh pròiseas nas sofaistigichte.
Claonadh Pulsach: A’ toirt a-steach a bhith a’ cur cuislean claonadh cunbhalach an sàs, a’ cothromachadh ìre tasgaidh agus lùth ian. Freagarrach airson còtaichean aig teòthachd ìosal no geoimeatraidhean iom-fhillte.
A bharrachd air an sin, bidh cuid de shiostaman adhartach a’ cleachdadh smachd claonaidh lùb dùinte, a bhios a’ cumail sùil air feartan plasma agus sruth claonaidh ann an àm fìor gus uinneag pròiseis sheasmhach a chumail suas agus gus dèanamh cinnteach à cunbhalachd còmhdach thar baidsean.
—Chaidh an t-artaigil seo fhoillseachadh le uidheam còmhdach falamhneach-dèanamh Zhenhua Vacuum
Àm puist: 17 Iuchar 2025