በቫክዩም ሽፋን ሂደቶች ውስጥ የቮልቴጅ ቁጥጥር

በዘመናዊ የቫክዩም ሽፋን ቴክኖሎጂዎች፣ የባይዞል ቮልቴጅ ቁጥጥር ቀጭን የፊልም ማይክሮ መዋቅርን፣ ጥግግትን፣ ውስጣዊ ውጥረትን እና የማጣበቅ ጥንካሬን በቀጥታ የሚነካ ወሳኝ መለኪያ ነው። በጠንካራ ሽፋኖች፣ በጌጣጌጥ ፊልሞች ወይም በኦፕቲካል ሽፋኖች ውስጥ ቢሆን፣ የንዑስ ክፍል ባይዞል ቮልቴጅ በአግባቡ መቆጣጠር የፕላዝማ ተለዋዋጭነትን ከማሻሻል ባለፈ የሚመነጩትን ፊልሞች ተግባራዊነት እና አስተማማኝነትም ያሻሽላል።

ቁጥር 1 የባይስ ቮልቴጅ መቆጣጠሪያ ምንድን ነው?
የባይልስ ቮልቴጅ መቆጣጠሪያበመሬት ውስጥ በሚከማችበት ጊዜ አሉታዊ እምቅ ኃይልን በንጥረ ነገር ላይ የመተግበር ዘዴን ያመለክታል፣ ይህም ከአካባቢው ፕላዝማ በኤሌክትሪክ ዝቅተኛ ያደርገዋል። ይህ ዘዴ በ PVD (ፊዚካል ትነት ዲፖዚሽን) ሂደቶች ውስጥ በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል፣ በተለይም በማግኔትሮን ስፑተርቲንግ፣ በአዮን ፕላቲንግ እና በካቶዲክ ቅስት ዲፖዚሽን ስርዓቶች ውስጥ።

የንዑስ ክፍል አድልዎ በዲሲ (ቀጥታ ጅረት)፣ ኤምኤፍ (ሚድ-ፍሪኩዌንሲ) ወይም RF (ሬዲዮ ፍሪኩዌንሲ) የኃይል አቅርቦቶች በኩል ሊተገበር ይችላል። ዋናው ሚናው በፕላዝማ ውስጥ ያሉትን አወንታዊ አዮኖች ወደ ንጣፍ ወለል ማፋጠን ሲሆን ይህም የሚፈለጉትን የፊልም እድገት ባህሪያትን የሚያበረታታ የአዮን ቦምብ ፍንዳታ ያስችላል።

ቁጥር 2 የቮልቴጅ ልዩነት የፊልም ባህሪያትን እንዴት እንደሚነካ
የአድልዎ ቮልቴጅ መቆጣጠሪያ መሰረታዊ ዘዴ በሚመጡት አየኖች ኃይል የፊልም እድገት ኪነቲክስን በመቀየር ላይ ነው። ተፅዕኖው በብዙ ቁልፍ ገጽታዎች ተንፀባርቋል፡

ጥግግት፡
ተስማሚ የሆነ አሉታዊ አድልዎ ወደ ንጣፉ የሚደርሱትን የአዮኖች ኪኔቲክ ኃይል ይጨምራል፣ ይህም የገጽታ ተንቀሳቃሽነትን እና የአዳቶምን እንደገና ማዋቀርን ያበረታታል። ይህም የተሻሻለ የዝገት መቋቋም፣ ጥንካሬ እና የመልበስ መቋቋም ያላቸው ጥቅጥቅ ያሉ ፊልሞችን ያስከትላል።

የጭንቀት ደንብ፡
የአዮን ቦምብ ድብደባ በፊልሙ ውስጥ የተረፈ ውጥረትንም ያስከትላል። ከመጠን በላይ አድልዎ የመጨመቂያ ጭንቀትን ሊያስከትል ይችላል፣ ይህም ስንጥቅ ወይም ብልሽት ሊያስከትል ይችላል። ስለዚህ፣ በፊልሙ ቁሳቁስ፣ በንጣፍ አይነት እና በሽፋን ውፍረት ላይ በመመስረት ምርጥ የአድልዎ ደረጃዎች በጥንቃቄ መመረጥ አለባቸው።

የማጣበቂያ ማሻሻያ፡
የባይያስ ቮልቴጅ የንብርብር መቀላቀልን በማበረታታት ወይም ደረጃ የተሰጣቸው በይነገጾችን በመፍጠር የፊት መስተጋብሮችን ያሻሽላል፣ በዚህም የፊልም-ወደ-ንብርብር ማጣበቂያን ያሻሽላል - በተለይም ለጠንካራ ሽፋኖች ወይም ለብዙ ንብርብር መዋቅሮች ወሳኝ።

የቅንጣት መጨፍለቅ እና የገጽታ ማለስለስ፡
ተገቢ የሆነ አድልዎ የማክሮ-ቅንጣት ውህደትን ሊገታ እና የገጽታ ሸካራነትን ሊቀንስ ይችላል፣ በዚህም በኦፕቲካል ፊልሞች ውስጥ የሚፈጠረውን የመበታተን ኪሳራ ይቀንሳል እና የገጽታ ጥራትን ያሻሽላል።

ቁጥር 3 የአድልዎ መቆጣጠሪያ ዘዴዎች ዓይነቶች
ዲሲ አድልዎ፡- በተለምዶ ለኮንዳክቲቭ ንጣፎች ጥቅም ላይ የሚውል ሲሆን ቀላል ቁጥጥር እና ፈጣን ምላሽ ይሰጣል። በጌጣጌጥ ሽፋኖች እና ጠንካራ ሽፋኖች ላይ የተለመደ።

አርኤፍ ባይያስ፡- እንደ መስታወት፣ ሴራሚክስ እና ፖሊመሮች ላሉ አስተላላፊ ያልሆኑ ንጣፎች ተስማሚ። ሰፊ የቁሳቁስ ተኳሃኝነትን ይሰጣል ነገር ግን የበለጠ የተራቀቀ የስርዓት ውህደት እና የሂደት ማስተካከያ ይፈልጋል።

የተወዛወዘ አድልዎ፡- በየጊዜው የሚደረጉ አድልዎዎችን መተግበር፣ የተከማቸ መጠን እና የአዮን ኃይልን ማመጣጠንን ያካትታል። ለዝቅተኛ የሙቀት መጠን ሽፋኖች ወይም ውስብስብ ጂኦሜትሪዎች በጣም ተስማሚ ነው።

በተጨማሪም፣ አንዳንድ የላቁ ስርዓቶች የተረጋጋ የሂደት መስኮትን ለመጠበቅ እና በተለያዩ ቡድኖች ላይ የሽፋን ወጥነት እንዲኖር ለማረጋገጥ በእውነተኛ ጊዜ የፕላዝማ ባህሪያትን እና የአድልዎ ፍሰትን የሚከታተል የዝግ-ሉፕ አድላይ ቁጥጥርን ይጠቀማሉ።

—ይህ ጽሑፍ የታተመው በ የቫክዩም ሽፋን መሳሪያዎችአምራች ዜንሁዋ ቫክዩም