زامانىۋى ۋاكۇئۇم قاپلاش تېخنىكىسىدا، يانتۇلۇق توك بېسىمىنى كونترول قىلىش نېپىز پەردىنىڭ مىكرو قۇرۇلمىسى، زىچلىقى، ئىچكى بېسىمى ۋە چاپلىشىش كۈچىگە بىۋاسىتە تەسىر كۆرسىتىدىغان مۇھىم پارامېتىر. قاتتىق قاپلاش، بېزەكچىلىك پىلاستىنكىسى ياكى ئوپتىكىلىق قاپلاش بولسۇن، ئاساسىي قاتلام يانتۇلۇق توك بېسىمىنى مۇۋاپىق كونترول قىلىش پەقەت پلازما دىنامىكىسىنى تەڭشەپلا قالماي، يەنە ھاسىل بولغان پىلاستىنكىلارنىڭ ئىقتىدارى ۋە ئىشەنچلىكلىكىنى ئاشۇرىدۇ.
1-نومۇرلۇق يانتۇلۇق توك بېسىمىنى كونترول قىلىش دېگەن نېمە؟
يان تەرەپلىك توك بېسىمىنى كونترول قىلىشبۇ تېخنىكا، چۆكمە جەريانىدا ئاساسىي قاتلامغا مەنپىي پوتېنسىيالنى ئىشلىتىش تېخنىكىسىنى كۆرسىتىدۇ، بۇ تېخنىكىنى ئەتراپتىكى پلازمانىڭكىدىن ئېلېكترلىك جەھەتتىن تۆۋەن قىلىدۇ. بۇ تېخنىكا PVD (فىزىكىلىق پار چۆكمە) جەريانلىرىدا، بولۇپمۇ ماگنىترون پۈركۈش، ئىئون قاپلاش ۋە كاتود قوس چۆكمە سىستېمىلىرىدا كەڭ قوللىنىلىدۇ.
ئاساسىي قاتلامنىڭ ئېغىشىنى DC (بىۋاسىتە توك)، MF (ئوتتۇرا چاستوتا) ياكى RF (رادىئو چاستوتا) توك بىلەن تەمىنلەش ئارقىلىق قوللىنىشقا بولىدۇ. ئۇنىڭ ئاساسلىق رولى پلازمادىكى مۇسبەت ئىئونلارنى ئاساسىي قاتلام يۈزىگە قاراپ تېزلىتىش بولۇپ، ئىئون بومباردىمانىنى ئىشقا سېلىپ، پىلاستىنكا ئۆسۈش خۇسۇسىيىتىنى ئىلگىرى سۈرىدۇ.
2-نومۇرلۇق يانتۇلۇقنىڭ پىلىنكا خۇسۇسىيىتىگە قانداق تەسىر كۆرسىتىدىغانلىقى
يانتۇلۇق توك بېسىمىنى كونترول قىلىشنىڭ ئاساسىي مېخانىزمى كىرىۋاتقان ئىئونلارنىڭ ئېنېرگىيەسى ئارقىلىق پەردە ئۆسۈش كىنېتىكىسىنى ئۆزگەرتىشتىن ئىبارەت. ئۇنىڭ تەسىرى بىر قانچە مۇھىم جەھەتلەردە ئەكس ئەتتۈرۈلگەن:
زىچلاشتۇرۇش:
مۇۋاپىق مەنپىي يۆنىلىش ئاساسىي قاتلامغا يېتىپ كېلىدىغان ئىئونلارنىڭ كىنېتىك ئېنېرگىيىسىنى ئاشۇرۇپ، يۈزەكى ھەرىكەتچانلىق ۋە ئادەماتوملارنىڭ قايتا تەشكىللىنىشىنى ئىلگىرى سۈرىدۇ. بۇ، تېخىمۇ زىچ پەردىلەرنىڭ ھاسىل بولۇشىغا، چىرىشكە چىدامچانلىقىنىڭ، قاتتىقلىقىنىڭ ۋە ئۇپراشقا چىدامچانلىقىنىڭ ئېشىشىغا ئېلىپ كېلىدۇ.
بېسىمنى تەڭشەش:
ئىئون بومباردىمان قىلىش يەنە پىلاستىنكىنىڭ ئىچىدە قالغان بېسىمنى پەيدا قىلىدۇ. ھەددىدىن زىيادە ئېگىلىش بېسىمنى كەلتۈرۈپ چىقىرىپ، يېرىلىش ياكى قېپىنىڭ كېڭىيىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىشى مۇمكىن. شۇڭا، ئەڭ ياخشى ئېگىلىش دەرىجىسى پىلاستىنكا ماتېرىيالى، ئاساسىي قاتلام تىپى ۋە قاپلاش قېلىنلىقىغا ئاساسەن ئېھتىيات بىلەن تاللىنىشى كېرەك.
يېپىشىشنى كۈچەيتىش:
يان تەرەپلىك توك بېسىمى قەۋەتلەر ئارا ئارىلاشتۇرۇشنى ئىلگىرى سۈرۈش ياكى دەرىجەلىك يۈزلەرنى شەكىللەندۈرۈش ئارقىلىق يۈزلەر ئارا ئۆز-ئارا تەسىرنى كۈچەيتىدۇ، شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا، پىلاستىنكىنىڭ ئاساسىي قاتلامغا يېپىشىشىنى ياخشىلايدۇ، بولۇپمۇ قاتتىق قاپلاملار ياكى كۆپ قەۋەتلىك قۇرۇلمىلار ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم.
زەررىچە باستۇرۇش ۋە يۈزەكى سىلىقلاشتۇرۇش:
مۇۋاپىق يۆنىلىش ماكرو زەررىچىلەرنىڭ سىڭىشىشىنى توسۇپ، يۈزەكى پۇچۇقلۇقنى ئازايتىپ، ئوپتىكىلىق پىلاستىنكىلاردىكى چېچىلىش يوقىتىشنى ئازايتىپ، يۈزەكى سۈپىتىنى ياخشىلىيالايدۇ.
3-نومۇرلۇق بىر تەرەپلىمە كونترول قىلىش ئۇسۇللىرىنىڭ تۈرلىرى
DC Bias: ئادەتتە ئۆتكۈزگۈچ ئاساسلارغا ئىشلىتىلىدۇ، ئاددىي كونترول قىلىش ۋە تېز ئىنكاس قايتۇرۇش ئىقتىدارى بىلەن تەمىنلەيدۇ. بېزەكچىلىك قاپلىمىلىرى ۋە قاتتىق قاپلىمىلاردا كۆپ ئۇچرايدۇ.
رادىئو چاستوتا يانتۇلۇقى: ئەينەك، كېرامىكا ۋە پولىمېر قاتارلىق توك ئۆتكۈزمەيدىغان ئاساسىي ماتېرىياللار ئۈچۈن ئەڭ ياخشى. كەڭ دائىرىلىك ماتېرىيال ماسلىشىشچانلىقىنى تەمىنلەيدۇ، ئەمما تېخىمۇ مۇرەككەپ سىستېما بىرلەشتۈرۈش ۋە جەريان تەڭشەشنى تەلەپ قىلىدۇ.
ئىمپۇلسلىق يانتۇلۇق: دەۋرىي يانتۇلۇق ئىمپۇلسلىرىنى قوللىنىش، چۆكمە سۈرئىتى ۋە ئىئون ئېنېرگىيەسىنى تەڭشەشنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. تۆۋەن تېمپېراتۇرىلىق قاپلاش ياكى مۇرەككەپ گېئومېتىرىيەلىك شەكىللەرگە ناھايىتى ماس كېلىدۇ.
بۇنىڭدىن باشقا، بەزى ئىلغار سىستېمىلار يېپىق ئايلانما يۆنىلىشلىك كونترولنى قوللىنىدۇ، بۇ كونترول پلازما خۇسۇسىيىتى ۋە يۆنىلىش ئېقىمىنى ھەقىقىي ۋاقىتتا كۆزىتىپ، مۇقىم جەريان كۆزنىكىنى ساقلاش ۋە تۈركۈملەر بويىچە قاپلاشنىڭ بىردەكلىكىگە كاپالەتلىك قىلىدۇ.
—بۇ ماقالە ئېلان قىلىندى ۋاكۇئۇم قاپلاش ئۈسكۈنىلىرىئىشلەپچىقارغۇچى Zhenhua چاڭ-توزان سۈمۈرگۈچ
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2025-يىلى 7-ئاينىڭ 17-كۈنى