Di teknolojiyên pêçandina valahiya nûjen de, kontrola voltaja alîgir parametreyek krîtîk e ku rasterast bandorê li mîkroavahîya fîlma zirav, dendik, stresa navxweyî û hêza pêvekirinê dike. Çi di pêçandinên hişk de be, fîlmên xemilandî be, an jî pêçandinên optîkî be, kontrola rast a voltaja alîgir a substratê ne tenê dînamîkên plazmayê modul dike, lê di heman demê de fonksiyon û pêbaweriya fîlmên encam jî zêde dike.
Jimare 1 Kontrola Voltaja Bias çi ye?
Kontrola voltaja biasbehsa teknîka sepandina potansiyeleke neyînî li ser substratê di dema danîna wê de dike, ku ew ji plazmaya derdorê elektrîkî kêmtir dike. Ev teknîk bi berfirehî di pêvajoyên PVD (Danîna Buxara Fizîkî) de tê bikar anîn, nemaze di sputterkirina magnetronê, plakaya îyonê, û pergalên danîna kevana katodîk de.
Çerxa substratê dikare bi rêya dabînkerên hêzê yên DC (Herika Rasterast), MF (Frekansa Navîn), an RF (Frekansa Radyoyê) were sepandin. Rola wê ya sereke lezandina îyonên erênî di plazmayê de ber bi rûyê substratê ve ye, û bombebarana îyonan gengaz dike ku taybetmendiyên mezinbûna fîlmê yên xwestî pêşve dixe.
No.2 Çawa Voltaja Bias Bandorê li Taybetmendiyên Fîlmê Dike
Mekanîzma bingehîn a kontrola voltaja alîgir di guhertina kînetîka mezinbûna fîlmê de ye bi rêya enerjiya îyonên hatî. Bandora wê di çend aliyên sereke de tê xuyang kirin:
Qelewbûn:
Xaleke neyînî ya guncaw enerjiya kînetîk a îyonên ku digihîjin substratê zêde dike, tevgera rûberê û ji nû ve rêzkirina adatoman pêş dixe. Ev dibe sedema fîlimên qalindtir ên ku berxwedana korozyonê, hişkbûn û berxwedana li hember aşînê çêtir bûne.
Rêkxistina Stresê:
Bombebarana iyonan di nav fîlmê de streseke mayî jî çêdike. Xetereya zêde dikare streseke zextê çêbike, ku dibe sedema şikestin an jî veqetandina şablonan. Ji ber vê yekê, divê astên xetera çêtirîn li gorî materyalê fîlmê, celebê substratê û qalindahiya pêçanê bi baldarî werin hilbijartin.
Zêdekirina Adhesionê:
Voltaja meyldar bi pêşvebirina tevlihevkirina navbera tebeqeyan an çêkirina rûyên pilekirî têkiliyên navbera rûyan zêde dike, bi vî rengî girêdana fîlm-bi-substratê çêtir dike - bi taybetî ji bo pêçanên hişk an avahiyên pirqatî girîng e.
Tepeserkirina Perçeyan û Nermkirina Rûyê:
Meyldariya guncaw dikare tevlîbûna makro-parçeyan tepeser bike û hişkiya rûyê kêm bike, bi vî rengî windabûna belavbûnê di fîlmên optîkî de kêm bike û kalîteya rûyê baştir bike.
Jimare 3 Cureyên Rêbazên Kontrolkirina Biasê
DC Bias: Bi gelemperî ji bo substratên guhêrbar tê bikar anîn, kontrolek hêsan û bersivek bilez pêşkêş dike. Di pêçanên xemilandî û pêçanên hişk de tîpîk e.
Meyldariya RF: Ji bo substratên ne-guhêzbar ên wekî cam, seramîk û polîmeran îdeal e. Lihevhatina materyalan a fireh pêşkêş dike lê entegrasyona pergalê ya sofîstîketir û mîhengkirina pêvajoyê hewce dike.
Pulsed Bias: Bikaranîna pulsên pulsed ên periyodîk, hevsengkirina rêjeya danînê û enerjiya iyonê vedihewîne. Ji bo pêçanên germahiya nizm an jî geometrîyên tevlihev pir guncaw e.
Herwiha, hin pergalên pêşketî kontrola alîgirê çerxa girtî bikar tînin, ku taybetmendiyên plazmayê û herika alîgirê di wextê rast de dişopîne da ku pencereyek pêvajoyek stabîl biparêze û yekrengiya pêçanê di navbera koman de misoger bike.
— Ev gotar ji hêla alavên boyaxkirina valahiyêhilberîner Zhenhua Vacuum
Dema şandinê: 17ê Tîrmehê-2025