په عصري ویکیوم کوټینګ ټیکنالوژیو کې، د تعصب ولتاژ کنټرول یو مهم پیرامیټر دی چې په مستقیم ډول د پتلي فلم مایکرو جوړښت، کثافت، داخلي فشار، او چپکونکي ځواک اغیزه کوي. که په سختو پوښونو، آرائشی فلمونو، یا نظري پوښونو کې وي، د سبسټریټ تعصب ولتاژ مناسب کنټرول نه یوازې د پلازما متحرکات تعدیل کوي، بلکې د پایله لرونکي فلمونو فعالیت او اعتبار هم لوړوي.
نمبر ۱ د تعصب ولټاژ کنټرول څه شی دی؟
د تعصب ولتاژ کنټرولد زیرمو په جریان کې د سبسټریټ لپاره د منفي پوټینشن پلي کولو تخنیک ته اشاره کوي، چې دا د شاوخوا پلازما په پرتله په بریښنایی ډول ټیټ کوي. دا تخنیک په پراخه کچه د PVD (فزیکي بخار زیرمو) پروسو کې کارول کیږي، په ځانګړي توګه د مقناطیسي سپټرینګ، ایون پلیټینګ، او کیتوډیک آرک زیرمو سیسټمونو کې.
د سبسټریټ تعصب د DC (مستقیم جریان)، MF (منځنۍ فریکونسی)، یا RF (راډیو فریکونسی) بریښنا رسولو له لارې پلي کیدی شي. د دې لومړنی رول دا دی چې په پلازما کې د سبسټریټ سطحې په لور مثبت ایونونه ګړندي کړي، د ایون بمبارۍ ته اجازه ورکړي چې د مطلوب فلم ودې ځانګړتیاو ته وده ورکړي.
دوهم نمبر: څنګه د تعصب ولټاژ د فلم ملکیتونه اغیزمنوي
د تعصب ولتاژ کنټرول بنسټیز میکانیزم د راتلونکو ایونونو د انرژۍ له لارې د فلم ودې کینیټیکونو تعدیل کې دی. د هغې اغیز په څو مهمو اړخونو کې منعکس کیږي:
کثافت:
یو مناسب منفي تعصب د سبسټریټ ته د رسیدو ایونونو حرکي انرژي زیاتوي، د سطحې حرکت او د اډیټومونو بیا تنظیم کول هڅوي. دا د ښه زنګ مقاومت، سختۍ، او اغوستلو مقاومت سره د کثافت فلمونو لامل کیږي.
د فشار تنظیم:
د ایون بمباري هم د فلم دننه پاتې فشار معرفي کوي. ډیر تعصب کولی شي فشاري فشار رامینځته کړي، په بالقوه توګه درز یا ډیلیمینیشن لامل کیږي. له همدې امله، د تعصب غوره کچه باید د فلم موادو، سبسټریټ ډول، او د پوښ ضخامت پراساس په احتیاط سره وټاکل شي.
د چپکولو وده:
د تعصب ولتاژ د پرتونو مخلوط کولو یا درجه بندي شوي انٹرفیسونو جوړولو له لارې د مخ تعاملات زیاتوي، په دې توګه د فلم څخه تر سبسټریټ پورې چپکولو ته وده ورکوي - په ځانګړي توګه د سختو پوښونو یا څو پوړونو جوړښتونو لپاره خورا مهم.
د ذراتو فشار او د سطحې نرمول:
مناسب تعصب کولی شي د میکرو ذراتو یوځای کیدل ودروي او د سطحې ناهموارۍ کم کړي، په دې توګه په آپټیکل فلمونو کې د خپریدو ضایع کموي او د سطحې کیفیت ښه کوي.
د تعصب کنټرول میتودونو نمبر 3 ډولونه
د ډي سي تعصب: معمولا د چلونکي سبسټریټ لپاره کارول کیږي، ساده کنټرول او چټک غبرګون وړاندې کوي. په سینګار پوښونو او سخت پوښونو کې معمول دی.
د RF تعصب: د غیر کنډکټیو سبسټریټونو لکه شیشې، سیرامیکونو او پولیمرونو لپاره مثالی. د موادو پراخه مطابقت وړاندې کوي مګر ډیر پیچلي سیسټم ادغام او د پروسې تنظیم ته اړتیا لري.
نبض لرونکی تعصب: د دوراني تعصب نبضونو پلي کول، د زیرمو کچه او د ایون انرژي متوازن کول شامل دي. د ټیټ تودوخې پوښونو یا پیچلي جیومیټریونو لپاره مناسب دی.
سربیره پردې، ځینې پرمختللي سیسټمونه د تړل شوي لوپ تعصب کنټرول کاروي، کوم چې په ریښتیني وخت کې د پلازما ځانګړتیاوې او تعصب جریان څارنه کوي ترڅو د پروسې یو باثباته کړکۍ وساتي او په ټولو بیچونو کې د کوټینګ یووالي ډاډمن کړي.
— دا مقاله د لخوا خپره شوې ده د ویکیوم کوټینګ تجهیزاتجوړونکی ژنهوا ویکیوم
د پوسټ وخت: جولای-۱۷-۲۰۲۵