בייאַס וואָולטידזש קאָנטראָל אין וואַקוום קאָוטינג פּראַסעסאַז

אין מאָדערנע וואַקוום קאָוטינג טעכנאָלאָגיעס, איז בייאַס וואָולטידזש קאָנטראָל אַ קריטישער פּאַראַמעטער וואָס האָט אַ דירעקטן השפּעה אויף דין פילם מיקראָסטרוקטור, געדיכטקייט, אינערלעכער דרוק און אַדכיזשאַן שטאַרקייט. צי אין שווערע קאָוטינגז, דעקאָראַטיווע פילמען אָדער אָפּטישע קאָוטינגז, געהעריקע קאָנטראָל פון די סאַבסטראַט בייאַס וואָולטידזש מאָדולירט נישט בלויז פּלאַזמע דינאַמיק, נאָר אויך פֿאַרבעסערט די פאַנגקשאַנאַליטי און פאַרלאָזלעכקייט פון די רעזולטאַט פילמען.

נומער 1 וואָס איז בייאַס וואָולטידזש קאָנטראָל?
בייאַס וואָולטידזש קאָנטראָלבאַציט זיך צו דער טעכניק פון אַפּלייינג אַ נעגאַטיוו פּאָטענציעל צו די סאַבסטראַט בעשאַס דעפּאָזיציע, מאכן עס עלעקטריש נידעריקער ווי די אַרומיקע פּלאַזמע. די טעכניק איז וויידלי געניצט אין PVD (פיזיקאַל דאַמפער דעפּאָזיציע) פּראַסעסאַז, ספּעציעל אין מאַגנעטראָן ספּאַטערינג, יאָן פּלייטינג, און קאַטהאָדישע אַרק דעפּאָזיציע סיסטעמען.

די סאַבסטראַט בייאַס קען ווערן אַפּליייד דורך DC (גלייַך קראַנט), MF (מיטל-פרעקווענץ), אָדער RF (ראַדיאָ פרעקווענץ) מאַכט סאַפּלייז. איר הויפּט ראָלע איז צו פאַרגיכערן positive יאָנען אין די פּלאַזמע צו די סאַבסטראַט ייבערפלאַך, וואָס אַלאַוז יאָן באָמבאַרדירונג וואָס פּראַמאָוץ ווינשט פילם וווּקס קעראַקטעריסטיקס.

נומ. 2 ווי בייאַס וואָולטידזש אַפעקטירט פילם אייגנשאַפטן
דער פונדאַמענטאַלער מעханіזם פון בייאַס וואָולטידזש קאָנטראָל ליגט אין מאָדיפיצירן פילם וווּקס קינעטיק דורך די ענערגיע פון ​​​​אַרייַנקומענדיק יאָנען. איר השפּעה איז ריפלעקטעד אין עטלעכע שליסל אַספּעקטן:

פארדעכטיגונג:
א פאסיגע נעגאטיווע בייאַס פאַרגרעסערט די קינעטישע ענערגיע פון ​​יאָנען וואָס קומען אָן צום סאַבסטראַט, פּראָמאָוויִרנדיק ייבערפלאַך מאָביליטעט און ריאָרגאַניזירונג פון אַדאַטאָמס. דאָס פירט צו דיכטערע פילמען מיט פֿאַרבעסערט קעראָוזשאַן קעגנשטעל, כאַרדנאַס און טראָגן קעגנשטעל.

סטרעס רעגולאציע:
יאָן באָמבאַרדירונג ברענגט אויך אריין רעשטלעך דרוק אין דעם פילם. איבערגעטריבענע בייאַס קען פאַראורזאַכן קאָמפּרעסיוו דרוק, וואָס קען פאַראורזאַכן קראַקינג אָדער דעלאַמינאַציע. דעריבער, אָפּטימאַלע בייאַס לעוועלס מוזן זיין קערפאַלי אויסגעקליבן באזירט אויף פילם מאַטעריאַל, סאַבסטראַט טיפּ, און קאָוטינג גרעב.

פֿאַרבעסערונג פֿון אַדהעזיע:
בייאַס וואָולטידזש פֿאַרבעסערט צווישן-פֿלאַך אינטעראַקציעס דורך פּראָמאָטירן צווישן-שיכטן מישונג אָדער פֿאָרמען גראַדירטע צווישן-שיכטן, דערמיט פֿאַרבעסערנדיק פֿילם-צו-סאַבסטראַט אַדכיזשאַן - ספּעציעל קריטיש פֿאַר שווערע קאָוטינגז אָדער מולטישיכטיקע סטרוקטורן.

פּאַרטיקל סאַפּרעשאַן און ייבערפלאַך סמודינג:
צוגעפאסטע בייאַס קען אונטערדריקן מאַקראָ-פּאַרטיקל איינארבעטונג און רעדוצירן ייבערפלאַך ראַפנאַס, דערמיט פאַרקלענערן סקאַטערינג אָנווער אין אָפּטישע פילמען און פֿאַרבעסערן ייבערפלאַך קוואַליטעט.

נומ. 3 טיפן פון בייאַס קאָנטראָל מעטאָדן
גלייכשטראָם בייאַס: אָפט געניצט פֿאַר קאַנדאַקטיוו סאַבסטראַטן, אָפֿערנדיק פּשוט קאָנטראָל און שנעלע רעאַקציע. טיפּיש אין דעקאָראַטיווע קאָוטינגז און שווערע קאָוטינגז.

RF בייאַס: אידעאַל פֿאַר נישט-קאַנדאַקטיווע סאַבסטראַטן ווי גלאָז, קעראַמיק און פּאָלימערן. אָפפערט ברייטע מאַטעריאַל קאָמפּאַטאַביליטי אָבער ריקווייערז מער סאָפיסטיקירטע סיסטעם אינטעגראַציע און פּראָצעס טונינג.

פּולסירטע בייאַס: באַשטייט פון אָנווענדן פּעריאָדישע בייאַס פּולסן, באַלאַנסירן דעפּאָזיציע קורס און יאָן ענערגיע. גוט פּאַסיק פֿאַר נידעריק-טעמפּעראַטור קאָוטינגז אָדער קאָמפּלעקסע געאָמעטריעס.

דערצו, עטלעכע אַוואַנסירטע סיסטעמען נוצן פארמאכט-לופּ בייאַס קאָנטראָל, וואָס מאָניטאָרט פּלאַזמע קעראַקטעריסטיקס און בייאַס קראַנט אין פאַקטישער צייט צו האַלטן אַ סטאַביל פּראָצעס פֿענצטער און ענשור קאָוטינג יוניפאָרמאַטי אַריבער באַטשאַז.

—דער אַרטיקל איז פאַרעפֿנטלעכט געוואָרן דורך וואַקוום קאָוטינג עקוויפּמענטפאַבריקאַנט זשענהואַ וואַקוום