ການຄວບຄຸມແຮງດັນໄຟຟ້າອະຄະຕິໃນຂະບວນການເຄືອບສູນຍາກາດ

ໃນເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບສູນຍາກາດທີ່ທັນສະໄໝ, ການຄວບຄຸມແຮງດັນໄຟຟ້າອະຄະຕິແມ່ນຕົວກໍານົດທີ່ສໍາຄັນທີ່ມີອິດທິພົນໂດຍກົງຕໍ່ໂຄງສ້າງຈຸລະພາກຂອງຟິມບາງ, ຄວາມໜາແໜ້ນ, ຄວາມກົດດັນພາຍໃນ, ແລະ ຄວາມແຮງຂອງການຍຶດຕິດ. ບໍ່ວ່າຈະເປັນການເຄືອບແຂງ, ​​ຟິມຕົກແຕ່ງ, ຫຼື ການເຄືອບແສງ, ການຄວບຄຸມແຮງດັນໄຟຟ້າອະຄະຕິຂອງຊັ້ນວາງທີ່ເໝາະສົມບໍ່ພຽງແຕ່ປັບປ່ຽນການເຄື່ອນໄຫວຂອງ plasma ເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງເສີມຂະຫຍາຍການເຮັດວຽກ ແລະ ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖືຂອງຟິມທີ່ໄດ້ຮັບ.

ເລກທີ 1 ການຄວບຄຸມແຮງດັນໄຟຟ້າອະຄະຕິແມ່ນຫຍັງ?
ການຄວບຄຸມແຮງດັນໄຟຟ້າອະຄະຕິໝາຍເຖິງເຕັກນິກການໃຊ້ທ່າແຮງທາງລົບໃສ່ຊັ້ນຮອງໃນລະຫວ່າງການວາງຊັ້ນ, ເຮັດໃຫ້ມັນມີໄຟຟ້າຕ່ຳກວ່າພລາສມາອ້ອມຂ້າງ. ເຕັກນິກນີ້ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນຂະບວນການ PVD (ການວາງຊັ້ນໄອທາງກາຍະພາບ), ໂດຍສະເພາະໃນລະບົບການສະເປເຕີຣິງແມກນີຕຣອນ, ການຊຸບໄອອອນ, ແລະລະບົບການວາງຊັ້ນດ້ວຍກາໂຕດ.

ຄວາມລຳອຽງຂອງຊັບສະເຕຣດສາມາດນຳໃຊ້ໄດ້ຜ່ານແຫຼ່ງພະລັງງານ DC (ກະແສໄຟຟ້າໂດຍກົງ), MF (ຄວາມຖີ່ກາງ), ຫຼື RF (ຄວາມຖີ່ວິທະຍຸ). ໜ້າທີ່ຫຼັກຂອງມັນແມ່ນເພື່ອເລັ່ງໄອອອນບວກໃນພລາສມາໄປສູ່ໜ້າດິນຂອງຊັບສະເຕຣດ, ເຮັດໃຫ້ສາມາດຍິງໄອອອນທີ່ສົ່ງເສີມລັກສະນະການເຕີບໂຕຂອງຟິມທີ່ຕ້ອງການ.

ເລກທີ 2 ແຮງດັນໄຟຟ້າອະຄະຕິມີຜົນກະທົບຕໍ່ຄຸນສົມບັດຂອງຟິມແນວໃດ
ກົນໄກພື້ນຖານຂອງການຄວບຄຸມແຮງດັນໄຟຟ້າອະຄະຕິແມ່ນຢູ່ທີ່ການດັດແປງຈลณະການຈະເລີນເຕີບໂຕຂອງຟິມຜ່ານພະລັງງານຂອງໄອອອນທີ່ເຂົ້າມາ. ຜົນກະທົບຂອງມັນສະທ້ອນໃຫ້ເຫັນໃນຫຼາຍດ້ານທີ່ສຳຄັນ:

ການເຮັດໃຫ້ໜາແໜ້ນ:
ອະຄະຕິທາງລົບທີ່ເໝາະສົມຈະເພີ່ມພະລັງງານຈົນຂອງໄອອອນທີ່ມາຮອດຊັ້ນໃຕ້ດິນ, ສົ່ງເສີມການເຄື່ອນທີ່ຂອງພື້ນຜິວ ແລະ ການຈັດລຽງໃໝ່ຂອງອາດາມ. ສິ່ງນີ້ນຳໄປສູ່ຟິມທີ່ໜາແໜ້ນກວ່າທີ່ມີຄວາມຕ້ານທານການກັດກ່ອນ, ຄວາມແຂງ ແລະ ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ທີ່ດີຂຶ້ນ.

ການຄວບຄຸມຄວາມຕຶງຄຽດ:
ການຖິ້ມລະເບີດດ້ວຍໄອອອນຍັງເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມກົດດັນທີ່ເຫຼືອຢູ່ພາຍໃນຟິມ. ຄວາມລຳອຽງຫຼາຍເກີນໄປສາມາດກະຕຸ້ນຄວາມກົດດັນຈາກການບີບອັດ, ເຊິ່ງອາດຈະເຮັດໃຫ້ເກີດການແຕກ ຫຼື ການແຍກສ່ວນ. ດັ່ງນັ້ນ, ລະດັບຄວາມລຳອຽງທີ່ດີທີ່ສຸດຕ້ອງໄດ້ຮັບການຄັດເລືອກຢ່າງລະມັດລະວັງໂດຍອີງໃສ່ວັດສະດຸຟິມ, ປະເພດຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ, ແລະ ຄວາມໜາຂອງຊັ້ນເຄືອບ.

ການເພີ່ມຄວາມຍຶດຕິດ:
ແຮງດັນໄຟຟ້າອະຄະຕິເສີມຂະຫຍາຍການພົວພັນລະຫວ່າງຊັ້ນໂດຍການສົ່ງເສີມການປະສົມລະຫວ່າງຊັ້ນ ຫຼື ການສ້າງການໂຕ້ຕອບແບບຊັ້ນ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງປັບປຸງການຍຶດຕິດລະຫວ່າງຟິມກັບຊັ້ນວາງ - ໂດຍສະເພາະແມ່ນສິ່ງສຳຄັນສຳລັບການເຄືອບແຂງ ຫຼື ໂຄງສ້າງຫຼາຍຊັ້ນ.

ການສະກັດກັ້ນອະນຸພາກ ແລະ ການເຮັດໃຫ້ພື້ນຜິວລຽບ:
ອະຄະຕິທີ່ເໝາະສົມສາມາດສະກັດກັ້ນການລວມຕົວຂອງອະນຸພາກມະຫາພາກ ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມຫຍາບຂອງພື້ນຜິວ, ດັ່ງນັ້ນຈຶ່ງຫຼຸດຜ່ອນການສູນເສຍການກະແຈກກະຈາຍໃນຟິມແສງ ແລະ ປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງພື້ນຜິວ.

ໝາຍເລກທີ 3 ປະເພດຂອງວິທີການຄວບຄຸມອະຄະຕິ
ຄວາມລຳອຽງຂອງ DC: ນິຍົມໃຊ້ສຳລັບວັດສະດຸທີ່ນຳໄຟຟ້າໄດ້, ເຊິ່ງສາມາດຄວບຄຸມໄດ້ງ່າຍ ແລະ ຕອບສະໜອງໄດ້ໄວ. ໂດຍທົ່ວໄປໃນການເຄືອບຕົກແຕ່ງ ແລະ ການເຄືອບແຂງ.

ອະຄະຕິ RF: ເໝາະສຳລັບວັດສະດຸທີ່ບໍ່ນຳໄຟຟ້າເຊັ່ນ: ແກ້ວ, ເຊລາມິກ ແລະ ໂພລີເມີ. ສະເໜີຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຂອງວັດສະດຸທີ່ກວ້າງຂວາງ ແຕ່ຕ້ອງການການເຊື່ອມໂຍງລະບົບ ແລະ ການປັບແຕ່ງຂະບວນການທີ່ຊັບຊ້ອນກວ່າ.

ອະຄະຕິແບບກະພິບ: ກ່ຽວຂ້ອງກັບການໃຊ້ກຳມະກິລິຍາແບບກະພິບ, ການດຸ່ນດ່ຽງອັດຕາການຕົກຕະກອນ ແລະ ພະລັງງານໄອອອນ. ເໝາະສົມກັບການເຄືອບທີ່ມີອຸນຫະພູມຕ່ຳ ຫຼື ຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນ.

ນອກຈາກນັ້ນ, ລະບົບທີ່ກ້າວໜ້າບາງອັນໃຊ້ການຄວບຄຸມຄວາມລຳອຽງແບບວົງຈອນປິດ, ເຊິ່ງຕິດຕາມກວດກາຄຸນລັກສະນະຂອງ plasma ແລະກະແສໄຟຟ້າຄວາມລຳອຽງໃນເວລາຈິງເພື່ອຮັກສາໄລຍະເວລາຂອງຂະບວນການທີ່ໝັ້ນຄົງ ແລະຮັບປະກັນຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງການເຄືອບໃນທົ່ວຂະບວນການ.

— ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍ ອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua