Дар технологияҳои муосири рӯйпӯшкунии вакуумӣ, назорати шиддати таассуб як параметри муҳим аст, ки мустақиман ба сохтори микропленкаи тунук, зичӣ, фишори дохилӣ ва қувваи часпак таъсир мерасонад. Новобаста аз он ки дар рӯйпӯшҳои сахт, плёнкаҳои ороишӣ ё рӯйпӯшҳои оптикӣ, назорати дурусти шиддати таассуби субстрат на танҳо динамикаи плазмаро танзим мекунад, балки инчунин функсионалӣ ва эътимоднокии плёнкаҳои ҳосилшударо афзоиш медиҳад.
№1 Идоракунии шиддати ғаразнок чист?
Назорати шиддати ғаразнокба техникаи татбиқи потенсиали манфӣ ба субстрат ҳангоми таҳшиншавӣ ишора мекунад, ки онро аз ҷиҳати электрикӣ нисбат ба плазмаи атроф пасттар мекунад. Ин техника дар равандҳои PVD (Ҷойгиркунии буғи физикӣ), махсусан дар пошидани магнетронӣ, пӯшонидани ионҳо ва системаҳои таҳшинкунии камони катодӣ васеъ истифода мешавад.
Тағйири субстратро метавон тавассути манбаъҳои барқи DC (Ҷараёни мустақим), MF (Басомади миёна) ё RF (Басомади радиоӣ) татбиқ кард. Нақши асосии он суръат бахшидан ба ионҳои мусбат дар плазма ба сӯи сатҳи субстрат мебошад, ки имкон медиҳад, ки бомбаборони ионҳо ба хусусиятҳои матлуби афзоиши плёнка мусоидат кунад.
№2 Чӣ тавр шиддати ғаразнок ба хосиятҳои плёнка таъсир мерасонад
Механизми асосии идоракунии шиддати тағйирёбанда дар тағир додани кинетикаи афзоиши плёнка тавассути энергияи ионҳои воридшаванда мебошад. Таъсири он дар якчанд ҷанбаҳои асосӣ инъикос меёбад:
Зичшавӣ:
Тағйири манфии мувофиқ энергияи кинетикии ионҳои ба субстрат воридшавандаро зиёд мекунад ва ҳаракати сатҳ ва аз нав ташкил кардани адатомҳоро мусоидат мекунад. Ин ба плёнкаҳои зичтар бо муқовимати беҳтари зангзанӣ, сахтӣ ва муқовимати фарсудашавӣ оварда мерасонад.
Танзими стресс:
Бомбгузории ионӣ инчунин фишори боқимондаро дар дохили плёнка ба вуҷуд меорад. Тағйирёбии аз ҳад зиёд метавонад фишори фишурдашавиро ба вуҷуд орад, ки эҳтимолан боиси кафидан ё деламинатсия мегардад. Аз ин рӯ, сатҳи оптималии тағйирот бояд бодиққат дар асоси маводи плёнка, намуди таҳкурсӣ ва ғафсии рӯйпӯш интихоб карда шавад.
Тақвияти часпакӣ:
Шиддати каҷшавӣ таъсири мутақобилаи байнисатҳҳоро тавассути мусоидат ба омезиши байниқабатҳо ё ташаккули интерфейсҳои дараҷадор тақвият медиҳад ва бо ин васила часпиши плёнка ба субстратро беҳтар мекунад, ки махсусан барои рӯйпӯшҳои сахт ё сохторҳои бисёрқабата муҳим аст.
Саркӯб кардани зарраҳо ва ҳамворкунии сатҳ:
Тағйири мувофиқ метавонад воридшавии макрозарраҳоро боздорад ва ноҳамвории сатҳро коҳиш диҳад ва бо ин васила талафоти парокандагиро дар плёнкаҳои оптикӣ кам кунад ва сифати сатҳро беҳтар созад.
№3 Намудҳои усулҳои назорати таассуб
Тарафи DC: Одатан барои субстратҳои ноқил истифода мешавад, ки назорати содда ва вокуниши зудро таъмин мекунад. Дар рӯйпӯшҳои ороишӣ ва рӯйпӯшҳои сахт маъмул аст.
Тарафи RF: Барои субстратҳои ғайригузаронанда ба монанди шиша, сафол ва полимерҳо беҳтарин аст. Мутобиқати васеи маводро пешниҳод мекунад, аммо ҳамгироии мураккабтари система ва танзими равандро талаб мекунад.
Тағйирёбии импулсӣ: Истифодаи импулсҳои тағйирёбии даврӣ, мувозинат кардани суръати таҳшиншавӣ ва энергияи ионро дар бар мегирад. Барои рӯйпӯшҳои ҳарорати паст ё геометрияҳои мураккаб мувофиқ аст.
Илова бар ин, баъзе системаҳои пешрафта назорати хатти қатъии ҳалқаи пӯшидаро истифода мебаранд, ки хусусиятҳои плазма ва ҷараёни хаттиро дар вақти воқеӣ назорат мекунанд, то равзанаи устувори равандро нигоҳ доранд ва якрангии рӯйпӯшро дар тамоми партияҳо таъмин кунанд.
— Ин мақола аз ҷониби нашр шудааст таҷҳизоти пӯшонидани вакуумӣистеҳсолкунанда чангкашаки Zhenhua
Вақти нашр: 17 июли соли 2025