Tiknoolajiyada casriga ah ee dahaarka faakuumka, xakamaynta danabka eexda waa halbeeg muhiim ah oo si toos ah u saameeya qaab-dhismeedka yar ee filimka khafiifka ah, cufnaanta, cadaadiska gudaha, iyo xoogga dhegdhegga. Hadday tahay dahaarka adag, filimada qurxinta, ama dahaarka indhaha, xakamaynta saxda ah ee danabka eexda eexda eexda eexda ma aha oo kaliya inay wax ka beddesho dhaqdhaqaaqa balaasmaha, laakiin sidoo kale waxay kor u qaadaysaa shaqada iyo kalsoonida filimada ka dhasha.
Lambarka 1 Waa maxay Xakamaynta Danabka eexda?
Xakamaynta danab eexdaWaxay tilmaamaysaa farsamada lagu dabaqayo awood taban oo ku saabsan substrate-ka inta lagu jiro dhigista, taasoo ka dhigaysa mid koronto ahaan ka hooseeya balaasmaha ku xeeran. Farsamadan waxaa si weyn loogu isticmaalaa hababka PVD (Physical Vapor Deposition), gaar ahaan nidaamyada magnetron sputtering, ion plating, iyo nidaamyada dhigista qaansada cathodic.
Eexda substrate-ka waxaa lagu dabaqi karaa iyada oo loo marayo sahayda korontada ee DC (Direct Current), MF (Mid-Frequency), ama RF (Radio Frequency). Doorkeeda ugu weyn waa in la dedejiyo ion-yada togan ee ku jira balaasmaha una jeeda dusha sare ee substrate-ka, taasoo suurtogalinaysa bamgareynta ion-ka taasoo kor u qaadaysa sifooyinka koritaanka filimka ee la rabo.
No.2 Sida Danabka Eexda u Saameeyo Astaamaha Filimka
Habka aasaasiga ah ee xakamaynta danabka eexda waxay ku jirtaa wax ka beddelka dhaqdhaqaaqa koritaanka filimka iyada oo loo marayo tamarta ion-yada soo socda. Saamaynteeda waxaa lagu muujiyay dhowr dhinac oo muhiim ah:
Cufnaanta:
Eex xun oo ku habboon ayaa kordhisa tamarta dhaqdhaqaaqa ee ayoonnada soo gaaraya substrate-ka, taasoo kor u qaadaysa dhaqdhaqaaqa dusha sare iyo dib-u-habaynta adatom-yada. Tani waxay horseeddaa filimaan cufan oo leh iska caabin wanaagsan oo daxalka ah, adkaansho, iyo iska caabin xirasho.
Xakamaynta Walbahaarka:
Duufaanta Ion-ka ayaa sidoo kale keenta cadaadis haraadi ah filimka dhexdiisa. Eexda xad-dhaafka ah waxay sababi kartaa cadaadis cadaadis leh, taasoo keeni karta dildilaac ama dildilaac. Sidaa darteed, heerarka eexda ugu fiican waa in si taxaddar leh loo xushaa iyadoo lagu saleynayo walxaha filimka, nooca substrate-ka, iyo dhumucda dahaarka.
Horumarinta Ku-dhejinta:
Danabka kala-soocidda ayaa xoojiya isdhexgalka wejiga iyadoo kor u qaadaysa isku-darka lakabka ama sameynta is-dhexgal heer sare ah, taasoo hagaajinaysa isku-dhejinta filimka-ilaa-substrate-ka - gaar ahaan muhiim u ah dahaarka adag ama qaab-dhismeedka lakabka badan.
Xakamaynta Walxaha iyo Simida Dusha Sare:
Eexashada habboon waxay xakamayn kartaa isku-darka walxaha yaryar waxayna yareyn kartaa qallafsanaanta dusha sare, taasoo yareyn karta khasaaraha kala firdhinta filimada indhaha iyo hagaajinta tayada dusha sare.
Noocyada 3aad ee Hababka Xakamaynta Eexda
DC Eex: Waxaa badanaa loo isticmaalaa substrate-ka gudbiya, iyadoo bixisa xakameyn fudud iyo jawaab degdeg ah. Caadi ahaan dahaarka qurxinta iyo dahaarka adag.
Eexda RF: Ku habboon substrate-yada aan gudbin karin sida galaaska, dhoobada, iyo polymers-ka. Waxay bixisaa iswaafajin ballaaran oo walxo ah laakiin waxay u baahan tahay is-dhexgalka nidaamka iyo hagaajinta habka oo aad u casrisan.
Kala-soocidda garaaca: Waxay ku lug leedahay adeegsiga garaaca isdaba joogga ah, dheellitirka heerka dhigista iyo tamarta ion-ka. Si fiican ugu habboon dahaarka heerkulka hooseeya ama joomatariyada adag.
Intaa waxaa dheer, qaar ka mid ah nidaamyada horumarsan waxay adeegsadaan xakamaynta eexda xiran, taas oo la socota astaamaha balaasmaha iyo hadda eexda waqtiga dhabta ah si loo ilaaliyo daaqadda geeddi-socodka oo xasilloon loona hubiyo isku-darka dahaarka dufcadaha oo dhan.
—Maqaalkan waxaa daabacay qalabka dahaadhka faakuumkasaaraha Zhenhua Vacuum
Waqtiga boostada: Luulyo-17-2025