Ҷойгиркунии филми тунук як раванди бунёдист, ки дар саноати нимноқилҳо, инчунин дар бисёр дигар соҳаҳои материалшиносӣ ва муҳандисӣ истифода мешавад. Он эҷоди як қабати тунуки маводро дар субстрат дар бар мегирад. Плёнкаҳои гузошташуда метавонанд доираи васеи ғафсӣ дошта бошанд, аз чанд қабати атомӣ то чанд микрометр ғафсӣ. Ин филмҳо метавонанд ба мақсадҳои гуногун, аз қабили ноқилҳои барқӣ, изоляторҳо, рӯйпӯшҳои оптикӣ ё монеаҳои муҳофизатӣ хизмат кунанд.
Инҳоянд усулҳои асосии барои гузоштани филми тунук:
Ҷойгиршавии буғи ҷисмонӣ (PVD)
Парокандашавӣ: Нури ионҳои энергияи баланд барои канда шудани атомҳо аз маводи мавриди ҳадаф истифода мешавад, ки баъдан ба субстрат меафтад.
Бухоршавӣ:** Мавод дар вакуум то бухор шуданаш гарм карда мешавад ва баъд буғ дар рӯи замин конденсат мешавад.
Ҷойгиркунии қабати атомӣ (ALD)
ALD як техникаест, ки дар он филм дар як қабати атомӣ дар як вақт парвариш карда мешавад. Он хеле назорат карда мешавад ва метавонад филмҳои хеле дақиқ ва мувофиқ эҷод кунад.
Эпитаксияи чӯби молекулавӣ (MBE)
MBE як усули афзоиши эпитаксиалӣ мебошад, ки дар он чӯбҳои атомҳо ё молекулаҳо ба субстрати тафсон равона карда мешаванд, то як филми тунуки кристаллӣ ба вуҷуд оранд.
Афзалиятҳои ҷойгиркунии филми тунук
Функсияи мукаммал: Филмҳо метавонанд ба субстрат хосиятҳои нав, ба монанди муқовимат ба харошидан ё гузаронандагии барқро таъмин кунанд.
Истифодаи ками мавод: Он имкон медиҳад, ки дастгоҳҳои мураккаб бо истифодаи ҳадди ақали мавод, кам кардани хароҷот.
Мутобиқсозӣ: Филмҳоро барои доштани хосиятҳои мушаххаси механикӣ, электрикӣ, оптикӣ ё химиявӣ мутобиқ кардан мумкин аст.
Барномаҳо
Дастгоҳҳои нимноқилӣ: Транзисторҳо, схемаҳои интегралӣ ва системаҳои микроэлектромеханикӣ (MEMS).
Рӯйпӯшҳои оптикӣ: Рӯйпӯшҳои зидди инъикоскунанда ва баланд инъикоскунанда дар линзаҳо ва ҳуҷайраҳои офтобӣ.
Сарпӯшҳои муҳофизатӣ: Барои пешгирии зангзанӣ ё фарсудашавии асбобҳо ва мошинҳо.
Барномаҳои биотиббӣ: Рангҳо дар имплантатсияҳои тиббӣ ё системаҳои интиқоли маводи мухаддир.
Интихоби техникаи ҷойгиркунӣ аз талаботи мушаххаси барнома, аз ҷумла навъи маводе, ки гузошта мешавад, хосиятҳои филми дилхоҳ ва маҳдудиятҳои хароҷот вобаста аст.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти фиристодан: 15 август-2024