Қабати PVD (Physical Papor Deposition) усулҳои ба таври васеъ истифодашаванда барои эҷоди филмҳои тунук ва рӯйпӯшҳои рӯизаминӣ мебошанд. Дар байни усулҳои маъмул, бухоршавии гармӣ ва пошидан ду раванди муҳими PVD мебошанд. Дар ин ҷо тақсимоти ҳар як:
1. Бухоршавии гармидиҳӣ
- Принсип:Мавод дар камераи вакуумӣ то бухор шудан ё сублиматсия шуданаш гарм карда мешавад. Пас аз он маводи бухоршуда ба субстрат конденсат шуда, як филми тунукро ташкил медиҳад.
- Раванд:
- Маводи сарчашма (металл, сафол ва ғ.) гарм карда мешавад, ки одатан бо гармкунии муқовимат, шуои электрон ё лазер истифода мешавад.
- Пас аз он ки мавод ба нуқтаи бухоршавӣ мерасад, атомҳо ё молекулаҳо манбаро тарк мекунанд ва тавассути вакуум ба субстрат мераванд.
- Атомҳои бухоршуда дар сатҳи субстрат конденсатсия шуда, қабати тунукро ташкил медиҳанд.
- Барномаҳо:
- Одатан барои гузоштани металлҳо, нимноқилҳо ва изоляторҳо истифода мешавад.
- Барномаҳо дорои қабатҳои оптикӣ, ороиши ороишӣ ва микроэлектроника мебошанд.
- Афзалиятҳо:
- Меъёрҳои баланди пасандоз.
- Содда ва камхарҷ барои баъзе маводҳо.
- Плёнкахои хеле соф истехсол карда метавонанд.
- Камбудиҳо:
- Маҳдудият бо маводҳои дорои нуқтаҳои обшавии паст ё фишори баланди буғ.
- Фарогирии сусти қадам дар рӯи сатҳи мураккаб.
- Назорати камтар аз болои таркиби плёнка барои хӯлаҳо.
2. пошидан
- Принсип: Ионҳо аз плазма ба сӯи маводи мавриди ҳадаф суръат мегиранд, ки атомҳо аз ҳадаф хориҷ мешаванд (пошида мешаванд) ва сипас ба субстрат ҷойгир мешаванд.
- Раванд:
- Дар камера маводи мавриди ҳадаф (металл, хӯла ва ғайра) ҷойгир карда мешавад ва газ (одатан аргон) ворид карда мешавад.
- Барои ба вуҷуд овардани плазма, ки газро ионизатсия мекунад, шиддати баланд истифода мешавад.
- Ионҳои заряди мусбат аз плазма ба сӯи ҳадафи заряди манфӣ суръат мегиранд ва атомҳоро аз рӯи физикӣ ҷудо мекунанд.
- Сипас ин атомҳо ба субстрат ҷойгир шуда, як филми тунукро ташкил медиҳанд.
- Барномаҳо:
- Дар истеҳсоли нимноқилҳо, пӯшонидани шиша ва эҷоди рӯйпӯшҳои ба фарсуда тобовар васеъ истифода мешавад.
- Беҳтарин барои эҷоди плёнкаҳои тунуки хӯлаи, сафолӣ ё мураккаб.
- Афзалиятҳо:
- Метавонад доираи васеи мавод, аз ҷумла металлҳо, хӯлаҳо ва оксидҳоро гузорад.
- Якрангии аълои филм ва фарогирии қадам, ҳатто дар шаклҳои мураккаб.
- Назорати дақиқи ғафсӣ ва таркиби филм.
- Камбудиҳо:
- Дар муқоиса бо бухоршавии гармӣ суръати таҳшиншавӣ сусттар аст.
- Аз сабаби мураккабии таҷҳизот ва эҳтиёҷ ба нерӯи баландтар гаронтар аст.
Тафовутҳои асосӣ:
- Манбаи пасандоз:
- Бухоршавии гармӣ гармиро барои бухор кардани мавод истифода мебарад, дар ҳоле ки пошидан бомбгузории ионҳоро барои аз ҷиҳати ҷисмонӣ ҷудо кардани атомҳо истифода мебарад.
- Энергияи зарурӣ:
- Бухоршавии гармӣ одатан нисбат ба пошидан энергияи камтарро талаб мекунад, зеро он на ба тавлиди плазма ба гармӣ такя мекунад.
- Маводҳо:
- Пахшкуниро барои гузоштани доираи васеи маводҳо, аз ҷумла маводҳои дорои нуқтаи обшавии баланд, ки бухор шуданашон душвор аст, истифода бурдан мумкин аст.
- Сифати филм:
- Пажӯҳиш умуман назорати беҳтари ғафсии филм, якрангӣ ва таркибро таъмин мекунад.
Вақти фиристодан: сентябр-27-2024