థిన్ ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ టెక్నాలజీ

సన్నని పొర నిక్షేపణ అనేది సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో, అలాగే పదార్థ శాస్త్రం మరియు ఇంజనీరింగ్‌లోని అనేక ఇతర రంగాలలో ఉపయోగించే ఒక ప్రాథమిక ప్రక్రియ. ఇది ఒక ఉపరితలంపై పదార్థం యొక్క పలుచని పొరను సృష్టించడం కలిగి ఉంటుంది. నిక్షేపిత పొరలు కొన్ని అణు పొరల నుండి అనేక మైక్రోమీటర్ల మందం వరకు విస్తృత శ్రేణి మందాలను కలిగి ఉంటాయి. ఈ పొరలు విద్యుత్ వాహకాలు, అవాహకాలు, ఆప్టికల్ పూతలు లేదా రక్షణ అడ్డంకులు వంటి అనేక ప్రయోజనాలకు ఉపయోగపడతాయి.

సన్నని పొర నిక్షేపణకు ఉపయోగించే ప్రధాన పద్ధతులు ఇక్కడ ఉన్నాయి:
భౌతిక ఆవిరి నిక్షేపణ (PVD)
చిమ్మడం: లక్ష్య పదార్థం నుండి అణువులను పడగొట్టడానికి అధిక శక్తి అయాన్ పుంజం ఉపయోగించబడుతుంది, తరువాత అది ఉపరితలంపై జమ అవుతుంది.
బాష్పీభవనం:** పదార్థం ఆవిరైపోయే వరకు శూన్యంలో వేడి చేయబడుతుంది, ఆపై ఆవిరి ఉపరితలంపై ఘనీభవిస్తుంది.
అణు పొర నిక్షేపణ (ALD)
ALD అనేది ఒక టెక్నిక్, దీనిలో ఒక ఫిల్మ్‌ను ఒక సమయంలో ఒక అణు పొర చొప్పున ఉపరితలంపై పెంచుతారు. ఇది అధిక నియంత్రణలో ఉంటుంది మరియు చాలా ఖచ్చితమైన మరియు కన్ఫార్మల్ ఫిల్మ్‌లను సృష్టించగలదు.
మాలిక్యులర్ బీమ్ ఎపిటాక్సీ (MBE)
MBE అనేది ఒక ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ టెక్నిక్, దీనిలో అణువుల లేదా అణువుల కిరణాలను వేడిచేసిన ఉపరితలంపైకి మళ్ళించి స్ఫటికాకార సన్నని పొరను ఏర్పరుస్తారు.
సన్నని పొర నిక్షేపణ యొక్క ప్రయోజనాలు
మెరుగైన కార్యాచరణ: ఫిల్మ్‌లు స్క్రాచ్ రెసిస్టెన్స్ లేదా విద్యుత్ వాహకత వంటి కొత్త లక్షణాలను సబ్‌స్ట్రేట్‌కు అందించగలవు.
తగ్గిన పదార్థ వినియోగం: ఇది తక్కువ పదార్థ వినియోగంతో సంక్లిష్టమైన పరికరాలను సృష్టించడానికి అనుమతిస్తుంది, ఖర్చులను తగ్గిస్తుంది.
అనుకూలీకరణ: ఫిల్మ్‌లను నిర్దిష్ట యాంత్రిక, విద్యుత్, ఆప్టికల్ లేదా రసాయన లక్షణాలను కలిగి ఉండేలా రూపొందించవచ్చు.
అప్లికేషన్లు
సెమీకండక్టర్ పరికరాలు: ట్రాన్సిస్టర్లు, ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్లు మరియు మైక్రోఎలక్ట్రోమెకానికల్ సిస్టమ్స్ (MEMS).
ఆప్టికల్ పూతలు: లెన్స్‌లు మరియు సౌర ఘటాలపై యాంటీ-రిఫ్లెక్టివ్ మరియు హై-రిఫ్లెక్టివ్ పూతలు.
రక్షణ పూతలు: పనిముట్లు మరియు యంత్రాలపై తుప్పు పట్టకుండా లేదా అరిగిపోకుండా నిరోధించడానికి.
బయోమెడికల్ అప్లికేషన్లు: మెడికల్ ఇంప్లాంట్లు లేదా డ్రగ్ డెలివరీ సిస్టమ్‌లపై పూతలు.
నిక్షేపణ సాంకేతికత ఎంపిక అప్లికేషన్ యొక్క నిర్దిష్ట అవసరాలపై ఆధారపడి ఉంటుంది, వీటిలో జమ చేయవలసిన పదార్థం రకం, కావలసిన ఫిల్మ్ లక్షణాలు మరియు వ్యయ పరిమితులు ఉంటాయి.

–ఈ వ్యాసం ప్రచురించినదివాక్యూమ్ కోటింగ్ యంత్ర తయారీదారుగ్వాంగ్‌డాంగ్ జెన్‌హువా