Tunnfilmsavsättningsteknik

Tunnfilmsavsättning är en grundläggande process som används inom halvledarindustrin, såväl som inom många andra områden inom materialvetenskap och teknik. Det innebär att ett tunt materiallager skapas på ett substrat. De avsatta filmerna kan ha en mängd olika tjocklekar, från bara några få atomlager till flera mikrometer tjocka. Dessa filmer kan tjäna många syften, såsom elektriska ledare, isolatorer, optiska beläggningar eller skyddande barriärer.

Här är de viktigaste metoderna som används för tunnfilmsavsättning:
Fysisk ångavsättning (PVD)
Sputtering: En högenergijonstråle används för att slå bort atomer från ett målmaterial, som sedan avsätts på substratet.
Avdunstning:** Materialet värms upp i vakuum tills det avdunstar, och sedan kondenserar ångan på underlaget.
Atomlageravsättning (ALD)
ALD är en teknik där en film odlas på ett substrat, ett atomlager i taget. Den är noggrant kontrollerad och kan skapa mycket precisa och konforma filmer.
Molekylstråleepitaxi (MBE)
MBE är en epitaxiell tillväxtteknik där strålar av atomer eller molekyler riktas mot ett uppvärmt substrat för att bilda en kristallin tunn film.
Fördelar med tunnfilmsavsättning
Förbättrad funktionalitet: Filmer kan ge substratet nya egenskaper, såsom reptålighet eller elektrisk ledningsförmåga.
Minskad materialanvändning: Det möjliggör skapandet av komplexa enheter med minimal materialanvändning, vilket minskar kostnaderna.
Anpassning: Filmer kan skräddarsys för att ha specifika mekaniska, elektriska, optiska eller kemiska egenskaper.
Applikationer
Halvledarkomponenter: Transistorer, integrerade kretsar och mikroelektromekaniska system (MEMS).
Optiska beläggningar: Antireflexbeläggningar och högreflexbeläggningar på linser och solceller.
Skyddsbeläggningar: För att förhindra korrosion eller slitage på verktyg och maskiner.
Biomedicinska tillämpningar: Beläggningar på medicinska implantat eller läkemedelsleveranssystem.
Valet av deponeringsteknik beror på de specifika kraven för applikationen, inklusive vilken typ av material som ska deponeras, önskade filmegenskaper och kostnadsbegränsningar.

–Denna artikel är publicerad avtillverkare av vakuumbeläggningsmaskinerGuangdong Zhenhua