Déposisi pilem ipis mangrupikeun prosés dasar anu dianggo dina industri semikonduktor, ogé dina seueur daérah élmu bahan sareng rékayasa. Éta ngalibatkeun nyiptakeun lapisan ipis bahan dina substrat. Film nu disimpen bisa mibanda rupa-rupa ketebalan, ti ngan sababaraha lapisan atom nepi ka sababaraha mikrométer kandel. Pilem ieu tiasa dianggo seueur tujuan, sapertos konduktor listrik, insulator, palapis optik, atanapi halangan pelindung.
Ieu metodeu utama anu dianggo pikeun déposisi film ipis:
Déposisi Uap Fisik (PVD)
Sputtering: A sinar ion énergi tinggi dipaké pikeun sambel atom kaluar bahan target, nu lajeng deposit kana substrat.
Évaporasi:** Bahan dipanaskeun dina vakum nepi ka ngejat, terus uap ngembun dina substrat.
Déposisi Lapisan Atom (ALD)
ALD nyaéta téhnik dimana film tumuwuh dina substrat hiji lapisan atom dina hiji waktu. Éta dikawasa pisan sareng tiasa nyiptakeun pilem anu tepat sareng konformal.
Molecular Beam Epitaxy (MBE)
MBE mangrupikeun téknik pertumbuhan épitaxial dimana sinar atom atanapi molekul diarahkeun kana substrat anu dipanaskeun pikeun ngabentuk film ipis kristalin.
Keunggulan Thin Film Deposition
fungsionalitas ditingkatkeun: Pilem bisa nyadiakeun sipat anyar pikeun substrat, kayaning résistansi scratch atanapi konduktivitas listrik.
Ngurangan pamakean bahan: Ieu ngamungkinkeun pikeun nyiptakeun alat anu kompleks kalayan pamakean bahan minimal, ngirangan biaya.
Kustomisasi: Pilem tiasa disaluyukeun pikeun gaduh sipat mékanis, listrik, optik, atanapi kimia khusus.
Aplikasi
Alat semikonduktor: Transistor, sirkuit terpadu, sareng sistem microelectromechanical (MEMS).
Lapisan optik: Lapisan anti-reflective sareng reflektif luhur dina lénsa sareng sél surya.
Lapisan pelindung: Pikeun nyegah korosi atanapi ngagem dina alat sareng mesin.
Aplikasi Biomédis: Lapisan dina implan médis atanapi sistem pangiriman ubar.
Pilihan téknik déposisi gumantung kana sarat khusus tina aplikasi, kalebet jinis bahan anu bakal disimpen, sipat pilem anu dipikahoyong, sareng konstrain biaya.
– Tulisan ieu dikaluarkeun kuprodusén mesin palapis vakumGuangdong Zhenhua
waktos pos: Aug-15-2024