Наношење танких филмова је фундаментални процес који се користи у полупроводничкој индустрији, као и у многим другим областима науке о материјалима и инжењерства. Он подразумева стварање танког слоја материјала на подлози. Нанети филмови могу имати широк распон дебљина, од само неколико атомских слојева до неколико микрометара дебљине. Ови филмови могу служити у многе сврхе, као што су електрични проводници, изолатори, оптички премази или заштитне баријере.
Ево главних метода које се користе за наношење танких филмова:
Физичко таложење из парне фазе (PVD)
Распршивање: Високоенергетски јонски сноп се користи за избацивање атома са циљног материјала, који се затим таложи на подлогу.
Испаравање:** Материјал се загрева у вакууму док не испари, а затим се пара кондензује на подлози.
Атомско слојно таложење (ALD)
ALD је техника у којој се филм узгаја на подлози, атомски слој по атом. Веома је контролисана и може да створи веома прецизне и конформне филмове.
Молекуларно-снопна епитаксија (MBE)
МБЕ је епитаксијална техника раста где се снопови атома или молекула усмеравају на загрејану подлогу да би се формирао танки кристални филм.
Предности наношења танких филмова
Побољшана функционалност: Филмови могу пружити нова својства подлози, као што су отпорност на гребање или електрична проводљивост.
Смањена потрошња материјала: Омогућава креирање сложених уређаја са минималном потрошњом материјала, смањујући трошкове.
Прилагођавање: Филмови се могу прилагодити тако да имају специфична механичка, електрична, оптичка или хемијска својства.
Апликације
Полупроводнички уређаји: транзистори, интегрисана кола и микроелектромеханички системи (MEMS).
Оптички премази: Антирефлексни и високорефлексни премази на сочивима и соларним ћелијама.
Заштитни премази: За спречавање корозије или хабања алата и машина.
Биомедицинске примене: Премази на медицинским имплантатима или системима за испоруку лекова.
Избор технике наношења зависи од специфичних захтева примене, укључујући врсту материјала који се наноси, жељена својства филма и ограничења трошкова.
–Овај чланак је објављен од странепроизвођач машина за вакуумско премазивањеГуангдонг Зхенхуа
Време објаве: 15. август 2024.