O le tu'uina atu o ata manifinifi ose faiga fa'avae e fa'aogaina i totonu ole alamanuia semiconductor, fa'apea fo'i ma le tele o isi vaega o mea fa'asaienisi ma inisinia. E aofia ai le fausiaina o se mea manifinifi o mea i luga o se mea'ai. O ata na teuina e mafai ona i ai le tele o mafiafia, mai na o ni nai vaega atomika i nai micrometers mafiafia. O nei ata tifaga e mafai ona tele faʻamoemoega, e pei o taʻavale eletise, insulators, faʻapipiʻi mata, poʻo pa puipui.
O auala autu nei e fa'aaogaina mo le fa'aputuina o ata manifinifi:
Fa'ate'aina Ausa Faaletino (PVD)
Sputtering: E fa'aoga le ion beam maualuga e tu'itu'i ai atoms mai se mea fa'atatau, ona tu'u lea i luga o le mea'ai.
Fa'asao:** E fa'avevela le mea i totonu o se masini se'ia o'o ina fa'aa'a, ona fa'aputu lea o le ausa i luga o le mea'ai.
Fa'ato'a fa'aato'atoa (ALD)
O le ALD o se metotia e fa'atupuina ai se ata i luga o se mea'ai e tasi le vaega atomika i le taimi. E sili ona fa'atonuina ma e mafai ona faia ni ata sa'o ma sa'o lelei.
Molecular Beam Epitaxy (MBE)
MBE ose epitaxial tuputupu aʻe auala e faʻasino atu ai ave o atoms po o molelaula i luga o se substrate vevela e fausia ai se tioata manifinifi ata.
Tulaga lelei o le teuina o ata manifinifi
Fa'aleleia galuega fa'atino: E mafai e ata tifaga ona maua ni mea fou i le mea fa'apipi'i, e pei ole tete'e masi po'o le fa'aulu eletise.
Fa'aitiitia le fa'aogaina o meafaitino: E fa'ataga ai le fa'atupuina o masini lavelave fa'atasi ai ma le fa'aaogaina o meafaitino, fa'aitiitia tau.
Fa'asinomaga: E mafai ona fa'avasega ata e iai ni mea fa'ainisinia, eletise, mata, po'o vaila'au.
Talosaga
Semiconductor masini: Transistors, fesoʻotaʻiga fesoʻotaʻiga, ma microelectromechanical system (MEMS).
Fa'apipi'i mata: Fa'aanti-fa'ata'oto ma maualuga fa'ata'oto i luga o tioata ma sela la.
Lafu puipui: E puipuia ai le pala po'o le ofuina i luga o meafaigaluega ma masini.
Fa'aoga fa'afoma'i: Fa'apipi'i i luga o mea fa'afoma'i po'o faiga e tu'uina atu ai vaila'au.
O le filifiliga o le fa'aogaina o auala e fa'alagolago i mana'oga fa'apitoa o le talosaga, e aofia ai le ituaiga o mea e teu, o mea e mana'omia ata tifaga, ma tau fa'agata.
–O lenei tusiga ua tatalaina emasini fa'apipi'i gaogao gaosimeaGuangdong Zhenhua
Taimi meli: Aukuso-15-2024