Nanašanje tankih filmov je temeljni postopek, ki se uporablja v polprevodniški industriji, pa tudi na mnogih drugih področjih znanosti o materialih in inženirstva. Vključuje ustvarjanje tanke plasti materiala na substratu. Naneseni filmi imajo lahko širok razpon debeline, od le nekaj atomskih plasti do nekaj mikrometrov debeline. Ti filmi lahko služijo številnim namenom, kot so električni prevodniki, izolatorji, optični premazi ali zaščitne pregrade.
Tukaj so glavne metode, ki se uporabljajo za nanašanje tankih filmov:
Fizično nanašanje iz parne tekočine (PVD)
Razprševanje: Visokoenergijski ionski žarek se uporablja za odbijanje atomov s ciljnega materiala, ki se nato odloži na substrat.
Izhlapevanje:** Material se segreva v vakuumu, dokler ne izhlapi, nato pa se para kondenzira na substratu.
Atomsko nanašanje plasti (ALD)
ALD je tehnika, pri kateri se film na substratu goji atomsko plast za plastjo. Je zelo nadzorovana in lahko ustvari zelo natančne in konformne filme.
Molekularna žarkovna epitaksija (MBE)
MBE je epitaksialna rastna tehnika, pri kateri se žarki atomov ali molekul usmerijo na segreto podlago, da tvorijo tanko kristalno plast.
Prednosti nanašanja tankih filmov
Izboljšana funkcionalnost: Filmi lahko substratu dodajo nove lastnosti, kot sta odpornost proti praskam ali električna prevodnost.
Zmanjšana poraba materiala: Omogoča izdelavo kompleksnih naprav z minimalno porabo materiala, kar zmanjšuje stroške.
Prilagoditev: Filme je mogoče prilagoditi tako, da imajo posebne mehanske, električne, optične ali kemične lastnosti.
Aplikacije
Polprevodniške naprave: tranzistorji, integrirana vezja in mikroelektromehanski sistemi (MEMS).
Optični premazi: Antirefleksni in visokorefleksni premazi na lečah in sončnih celicah.
Zaščitni premazi: Za preprečevanje korozije ali obrabe orodij in strojev.
Biomedicinske aplikacije: Premazi na medicinskih vsadkih ali sistemih za dajanje zdravil.
Izbira tehnike nanašanja je odvisna od specifičnih zahtev aplikacije, vključno z vrsto materiala, ki ga je treba nanašati, želenimi lastnostmi filma in stroškovnimi omejitvami.
–Ta članek je objavilproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua
Čas objave: 15. avg. 2024