OPIS IZDELKA

Prednost opreme

1. Prilagodljiva funkcionalna konfiguracija

Z uporabo modularne arhitekturne zasnove podpira načine hitre množične proizvodnje, kar omogoča hitro dodajanje, odstranjevanje in reorganizacijo funkcionalnih komor. Postavitev proizvodne linije je mogoče prilagodljivo prilagoditi glede na proizvodne potrebe.

2. Rešitev za tehnologijo natančnega premazovanja

Inovativna uporaba tehnologije razprševanja tarč z vrtenjem pod majhnim kotom v kombinaciji z optimizirano rešitvijo magnetnega polja za doseganje učinkovitega polnjenja struktur skozi odprtine.

3. Sprejetje rotirajoče ciljne strukture

Ta struktura zmanjšuje izgube materiala prevleke in izboljšuje izkoriščenost materiala tarče. Prav tako skrajša cikel zamenjave tarče, s čimer se poveča učinkovitost proizvodnje.

4. Prednosti nadzora procesov

Z optimizacijo parametrov magnetronskega razprševanja in tehnologijo dvostranskega sinhronega nanašanja se znatno izboljša učinkovitost nanašanja prevleke kompleksnih strukturnih komponent, hkrati pa se zmanjša stopnja izgube materiala.

Uporaba:Sposoben je pripraviti različne plasti kovinskih filmov iz enega elementa, kot so Ti, Cu, Al, Sn, Cr, Ag, Ni itd. Široko se uporablja v polprevodniških elektronskih komponentah, kot so keramični substrati DPC, keramični kondenzatorji, termistorji, keramični nosilci LED itd.