Nanášanie tenkých vrstiev je základný proces používaný v polovodičovom priemysle, ako aj v mnohých ďalších oblastiach materiálovej vedy a inžinierstva. Zahŕňa vytvorenie tenkej vrstvy materiálu na substráte. Nanesené vrstvy môžu mať širokú škálu hrúbok, od niekoľkých atómových vrstiev až po niekoľko mikrometrov. Tieto vrstvy môžu slúžiť na mnoho účelov, ako sú elektrické vodiče, izolanty, optické povlaky alebo ochranné bariéry.
Tu sú hlavné metódy používané na nanášanie tenkých vrstiev:
Fyzikálne nanášanie z pár (PVD)
Naprašovanie: Na odlupovanie atómov z cieľového materiálu sa používa vysokoenergetický iónový lúč, ktorý sa potom usadí na substráte.
Odparovanie:** Materiál sa zahrieva vo vákuu, kým sa neodparí, a potom para kondenzuje na substráte.
Atómová vrstvová depozícia (ALD)
ALD je technika, pri ktorej sa film pestuje na substráte, vrstva po vrstve. Je vysoko kontrolovaná a umožňuje vytvárať veľmi presné a konformné filmy.
Molekulárna lúčová epitaxia (MBE)
MBE je epitaxná rastová technika, pri ktorej sú lúče atómov alebo molekúl smerované na zahriaty substrát za vzniku tenkého kryštalického filmu.
Výhody nanášania tenkých vrstiev
Vylepšená funkčnosť: Fólie môžu substrátu dodať nové vlastnosti, ako je odolnosť voči poškriabaniu alebo elektrická vodivosť.
Znížená spotreba materiálu: Umožňuje vytvárať zložité zariadenia s minimálnou spotrebou materiálu, čím sa znižujú náklady.
Prispôsobenie: Fólie je možné prispôsobiť tak, aby mali špecifické mechanické, elektrické, optické alebo chemické vlastnosti.
Aplikácie
Polovodičové súčiastky: tranzistory, integrované obvody a mikroelektromechanické systémy (MEMS).
Optické vrstvy: Antireflexné a vysokoreflexné vrstvy na šošovkách a solárnych článkoch.
Ochranné nátery: Na zabránenie korózii alebo opotrebovaniu nástrojov a strojov.
Biomedicínske aplikácie: Povlaky na lekárskych implantátoch alebo systémoch na podávanie liekov.
Výber techniky nanášania závisí od špecifických požiadaviek aplikácie vrátane typu nanášaného materiálu, požadovaných vlastností filmu a cenových obmedzení.
–Tento článok vydávavýrobca vákuových lakovacích strojovGuangdong Zhenhua
Čas uverejnenia: 15. augusta 2024