Výhoda vybavenia
1. Škálovateľná funkčná konfigurácia
Vďaka modulárnej architektúre podporuje režimy hromadnej rýchlej výroby, čo umožňuje rýchle pridávanie, odstraňovanie a reorganizáciu funkčných komôr. Usporiadanie výrobnej linky je možné flexibilne prispôsobiť potrebám výroby.
2. Riešenie precíznej technológie povrchovej úpravy
Inovatívne využitie technológie naprašovania s rotujúcim terčom v malom uhle v kombinácii s optimalizovaným riešením magnetického poľa na dosiahnutie efektívneho vyplnenia štruktúr s priechodnými otvormi.
3. Prijatie rotujúcej cieľovej štruktúry
Táto štruktúra znižuje straty povlakového materiálu a zlepšuje využitie materiálu terča. Taktiež skracuje cyklus výmeny terča, čím zvyšuje efektivitu výroby.
4. Výhody riadenia procesov
Optimalizáciou parametrov magnetrónového naprašovania a technológiou obojstranného synchrónneho nanášania sa výrazne zlepšuje účinnosť povlakovania zložitých konštrukčných komponentov a zároveň sa znižuje miera straty materiálu.
Aplikácia:Je schopný pripraviť rôzne vrstvy kovových filmov z jedného prvku, ako napríklad Ti, Cu, Al, Sn, Cr, Ag, Ni atď. Je široko používaný v polovodičových elektronických súčiastkach, ako sú keramické substráty DPC, keramické kondenzátory, termistory, keramické držiaky LED diód atď.