ٿلهو فلم جمع ڪرڻ هڪ بنيادي عمل آهي جيڪو سيمي ڪنڊڪٽر انڊسٽري ۾ استعمال ٿيندو آهي، انهي سان گڏ مواد سائنس ۽ انجنيئرنگ جي ڪيترن ئي ٻين شعبن ۾. ان ۾ سبسٽريٽ تي مواد جي هڪ پتلي پرت جي تخليق شامل آهي. جمع ٿيل فلمن ۾ ٿولهه جي هڪ وسيع رينج ٿي سگهي ٿي، صرف ڪجهه ايٽمي پرتن کان وٺي ڪيترن ئي مائڪرو ميٽرن جي ٿلهي تائين. اهي فلمون ڪيترن ئي مقصدن جي خدمت ڪري سگهن ٿيون، جهڙوڪ برقي ڪنڊڪٽر، انسوليٽر، آپٽيڪل ڪوٽنگ، يا حفاظتي رڪاوٽون.
پتلي فلم جمع ڪرڻ لاءِ استعمال ٿيندڙ مکيه طريقا هتي آهن:
جسماني بخارات جو جمع (PVD)
ڦُٽڻ: هڪ اعليٰ توانائي واري آئن بيم کي نشانو بڻايل مواد کان ايٽم کي هٽائڻ لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي، جيڪو پوءِ سبسٽريٽ تي جمع ٿئي ٿو.
بخارات:** مواد کي ويڪيوم ۾ گرم ڪيو ويندو آهي جيستائين اهو بخارات نه بڻجي وڃي، ۽ پوءِ بخارات سبسٽريٽ تي ڳري ويندا آهن.
ايٽمي پرت جي جمع (ALD)
ALD هڪ ٽيڪنڪ آهي جتي هڪ فلم هڪ وقت ۾ هڪ ايٽمي پرت جي سبسٽريٽ تي وڌي ويندي آهي. اهو انتهائي ڪنٽرول ٿيل آهي ۽ تمام صحيح ۽ ترتيب وار فلمون ٺاهي سگهي ٿو.
ماليڪيولر بيم ايپيٽيڪسي (MBE)
ايم بي اي هڪ ايپيٽيڪسيل واڌ جي ٽيڪنڪ آهي جتي ايٽم يا ماليڪيولز جي شعاعن کي گرم سبسٽريٽ تي هدايت ڪئي ويندي آهي ته جيئن هڪ ڪرسٽل پتلي فلم ٺاهي سگهجي.
پتلي فلم جمع ڪرڻ جا فائدا
بهتر ڪارڪردگي: فلمون سبسٽريٽ کي نوان خاصيتون مهيا ڪري سگهن ٿيون، جهڙوڪ اسڪريچ مزاحمت يا برقي چالکائي.
گھٽ مواد جو استعمال: اهو گھٽ ۾ گھٽ مواد جي استعمال سان پيچيده ڊوائيسز ٺاهڻ جي اجازت ڏئي ٿو، خرچ گھٽائي ٿو.
ڪسٽمائيزيشن: فلمن کي مخصوص ميڪيڪل، برقي، نظري، يا ڪيميائي ملڪيتن جي مطابق ترتيب ڏئي سگهجي ٿو.
درخواستون
سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز: ٽرانزسٽر، انٽيگريٽڊ سرڪٽ، ۽ مائڪرو اليڪٽروميڪينيڪل سسٽم (MEMS).
آپٽيڪل ڪوٽنگ: لينس ۽ سولر سيلز تي اينٽي ريفليڪٽو ۽ هاءِ ريفليڪٽو ڪوٽنگ.
حفاظتي ڪوٽنگ: اوزارن ۽ مشينري تي زنگ يا پائڻ کي روڪڻ لاءِ.
بايوميڊيڪل ايپليڪيشنون: طبي امپلانٽس يا دوا پهچائڻ واري نظام تي ڪوٽنگون.
جمع ڪرڻ جي ٽيڪنڪ جو انتخاب ايپليڪيشن جي مخصوص گهرجن تي منحصر آهي، جنهن ۾ جمع ڪرڻ واري مواد جو قسم، گهربل فلم جون خاصيتون، ۽ قيمت جون پابنديون شامل آهن.
- هي مضمون شايع ٿيل آهيويڪيوم ڪوٽنگ مشين ٺاهيندڙگوانگڊونگ زينوا
پوسٽ جو وقت: آگسٽ-15-2024