گوانگ ڊونگ زينهوا ٽيڪنالاجي ڪمپني لميٽيڊ ۾ ڀليڪار.
سنگل_بينر

پي وي ڊي ڪوٽنگ: حرارتي بخارات ۽ ڦڦڙ

مضمون جو ذريعو: زينهوا ويڪيوم
پڙهو: 10
شايع ٿيل: 24-09-27

پي وي ڊي (فزيڪل وانپ ڊيپوزيشن) ڪوٽنگون پتلي فلمون ۽ مٿاڇري ڪوٽنگون ٺاهڻ لاءِ وڏي پيماني تي استعمال ٿيندڙ ٽيڪنڪون آهن. عام طريقن مان، حرارتي بخارات ۽ اسپٽرنگ ٻه اهم پي وي ڊي عمل آهن. هتي هر هڪ جو تجزيو آهي:

1. حرارتي بخارات

  • اصول:مواد کي ويڪيوم چيمبر ۾ گرم ڪيو ويندو آهي جيستائين اهو بخارات نه بڻجي وڃي يا ذيلي ليميٽ نه ٿئي. بخار ٿيل مواد پوءِ هڪ سبسٽريٽ تي ڳري ويندو آهي ته جيئن هڪ پتلي فلم ٺاهي سگهجي.
  • عمل:
  • هڪ ذريعو مواد (ڌاتو، سيرامڪ، وغيره) کي گرم ڪيو ويندو آهي، عام طور تي مزاحمتي حرارتي، اليڪٽران بيم، يا ليزر استعمال ڪندي.
  • هڪ دفعو مواد پنهنجي بخارات جي نقطي تي پهچي ٿو، ايٽم يا ماليڪيول ذريعو ڇڏي وڃن ٿا ۽ خلا ذريعي سبسٽريٽ ڏانهن سفر ڪن ٿا.
  • بخارات مان نڪتل ايٽم سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي ڳري ويندا آهن، هڪ پتلي پرت ٺاهيندا آهن.
  • درخواستون:
  • عام طور تي ڌاتو، سيمي ڪنڊڪٽر، ۽ انسوليٽر جمع ڪرڻ لاءِ استعمال ٿيندو آهي.
  • ايپليڪيشنن ۾ آپٽيڪل ڪوٽنگ، آرائشي ختم، ۽ مائڪرو اليڪٽرانڪس شامل آهن.
  • فائدا:
  • جمع ڪرائڻ جي اعليٰ شرح.
  • ڪجهه مواد لاءِ سادو ۽ قيمتي اثرائتو.
  • انتهائي خالص فلمون ٺاهي سگھي ٿو.
  • نقصان:
  • گهٽ پگھلڻ واري پوائنٽن يا وڌيڪ بخارات جي دٻاءُ وارن مواد تائين محدود.
  • پيچيده مٿاڇري تي خراب قدم ڪوريج.
  • مصر جي فلم جي جوڙجڪ تي گهٽ ڪنٽرول.

2. ڦُرڻ

  • اصول: پلازما مان آئن هڪ نشانو مواد ڏانهن تيز ٿين ٿا، جنهن جي ڪري ايٽم نشانو مان ٻاهر نڪرندا آهن (ڇڏندا)، جيڪي پوءِ سبسٽريٽ تي جمع ٿين ٿا.
  • عمل:
  • چيمبر ۾ هڪ نشانو مواد (ڌاتو، مصر، وغيره) رکيو ويندو آهي، ۽ هڪ گئس (عام طور تي آرگن) متعارف ڪرايو ويندو آهي.
  • پلازما ٺاهڻ لاءِ هڪ هاءِ وولٽيج لاڳو ڪيو ويندو آهي، جيڪو گئس کي آئنائيز ڪري ٿو.
  • پلازما مان مثبت طور تي چارج ٿيل آئن منفي طور تي چارج ٿيل ٽارگيٽ ڏانهن تيز ٿين ٿا، جسماني طور تي ايٽم کي مٿاڇري کان هٽائي ڇڏيندا آهن.
  • اهي ايٽم پوءِ سبسٽريٽ تي جمع ٿين ٿا، هڪ پتلي فلم ٺاهيندا آهن.
  • درخواستون:
  • سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار، ڪوٽنگ گلاس، ۽ لباس مزاحمتي ڪوٽنگ ٺاهڻ ۾ وڏي پيماني تي استعمال ٿيندو آهي.
  • مصر، سيرامڪ، يا پيچيده پتلي فلمون ٺاهڻ لاءِ مثالي.
  • فائدا:
  • ڌاتو، مصر، ۽ آڪسائيڊ سميت مواد جي وسيع رينج جمع ڪري سگھي ٿو.
  • بهترين فلم جي هڪجهڙائي ۽ قدم جي ڪوريج، پيچيده شڪلن تي به.
  • فلم جي ٿولهه ۽ بناوت تي صحيح ڪنٽرول.
  • نقصان:
  • حرارتي بخارات جي مقابلي ۾ جمع ٿيڻ جي شرح سست آهي.
  • سامان جي پيچيدگي ۽ وڌيڪ توانائي جي ضرورت جي ڪري وڌيڪ مهانگو.

اهم فرق:

  • جمع ڪرائڻ جو ذريعو:
  • حرارتي بخارات مواد کي بخارات بڻائڻ لاءِ گرمي استعمال ڪندا آهن، جڏهن ته ڦڦڙ ايٽم کي جسماني طور تي ختم ڪرڻ لاءِ آئن بمباري استعمال ڪندا آهن.
  • گهربل توانائي:
  • حرارتي بخارات کي عام طور تي ڦڦڙن جي ڀيٽ ۾ گهٽ توانائي جي ضرورت هوندي آهي ڇاڪاڻ ته اهو پلازما جي پيداوار جي بدران گرمي تي ڀاڙيندو آهي.
  • مواد:
  • اسپٽرنگ کي وسيع رينج جي مواد کي جمع ڪرڻ لاءِ استعمال ڪري سگهجي ٿو، جنهن ۾ اهي مواد شامل آهن جن جي پگھلڻ جا نقطا وڌيڪ آهن، جن کي بخارات ۾ تبديل ڪرڻ ڏکيو آهي.
  • فلم جي معيار:
  • اسپٽرنگ عام طور تي فلم جي ٿلهي، هڪجهڙائي، ۽ ساخت تي بهتر ڪنٽرول فراهم ڪري ٿي.

پوسٽ جو وقت: سيپٽمبر-27-2024