Осаждение тонких пленок является фундаментальным процессом, используемым в полупроводниковой промышленности, а также во многих других областях материаловедения и инженерии. Он включает в себя создание тонкого слоя материала на подложке. Осажденные пленки могут иметь широкий диапазон толщин, от нескольких атомных слоев до нескольких микрометров. Эти пленки могут служить многим целям, например, в качестве электрических проводников, изоляторов, оптических покрытий или защитных барьеров.
Ниже приведены основные методы, используемые для нанесения тонких пленок:
Физическое осаждение из паровой фазы (PVD)
Распыление: высокоэнергетический ионный пучок используется для выбивания атомов из материала мишени, которые затем осаждаются на подложке.
Испарение:** Материал нагревается в вакууме до тех пор, пока не испарится, а затем пар конденсируется на подложке.
Атомно-слоевое осаждение (ALD)
ALD — это метод, при котором пленка выращивается на подложке по одному атомному слою за раз. Он строго контролируется и может создавать очень точные и конформные пленки.
Молекулярно-лучевая эпитаксия (МЛЭ)
МЛЭ — это метод эпитаксиального роста, при котором пучки атомов или молекул направляются на нагретую подложку для формирования тонкой кристаллической пленки.
Преимущества тонкопленочного осаждения
Расширенные функциональные возможности: пленки могут придавать подложке новые свойства, такие как устойчивость к царапинам или электропроводность.
Сокращение расхода материалов: позволяет создавать сложные устройства с минимальным расходом материалов, что снижает затраты.
Индивидуализация: Пленки могут быть изготовлены с определенными механическими, электрическими, оптическими или химическими свойствами.
Приложения
Полупроводниковые приборы: транзисторы, интегральные схемы и микроэлектромеханические системы (МЭМС).
Оптические покрытия: антибликовые и высокоотражающие покрытия на линзах и солнечных элементах.
Защитные покрытия: для предотвращения коррозии или износа инструментов и оборудования.
Биомедицинское применение: покрытия на медицинских имплантатах или системах доставки лекарств.
Выбор метода осаждения зависит от конкретных требований области применения, включая тип наносимого материала, желаемые свойства пленки и ограничения по стоимости.
–Эта статья опубликованапроизводитель вакуумных напылительных машинГуандун Чжэньхуа
Время публикации: 15-авг-2024