Technologia osadzania cienkich warstw

Osadzanie cienkich warstw jest podstawowym procesem stosowanym w przemyśle półprzewodników, a także w wielu innych dziedzinach nauki o materiałach i inżynierii. Polega na tworzeniu cienkiej warstwy materiału na podłożu. Osadzone warstwy mogą mieć szeroki zakres grubości, od zaledwie kilku warstw atomowych do kilku mikrometrów grubości. Warstwy te mogą służyć wielu celom, takim jak przewodniki elektryczne, izolatory, powłoki optyczne lub bariery ochronne.

Poniżej przedstawiono główne metody stosowane do osadzania cienkich warstw:
Osadzanie fizyczne z fazy gazowej (PVD)
Rozpylanie: Wysokoenergetyczna wiązka jonów jest wykorzystywana do wybijania atomów z materiału docelowego, które następnie osadzają się na podłożu.
Parowanie:** Materiał jest podgrzewany w próżni, aż do odparowania, a następnie para skrapla się na podłożu.
Osadzanie warstw atomowych (ALD)
ALD to technika, w której film jest hodowany na podłożu, jedna warstwa atomowa na raz. Jest wysoce kontrolowana i może tworzyć bardzo precyzyjne i konformalne filmy.
Epitaksja wiązką molekularną (MBE)
MBE to metoda wzrostu epitaksjalnego, w której wiązki atomów lub cząsteczek są kierowane na ogrzane podłoże w celu utworzenia cienkiej, krystalicznej warstwy.
Zalety osadzania cienkich warstw
Lepsza funkcjonalność: Folie mogą nadać podłożu nowe właściwości, na przykład odporność na zarysowania lub przewodność elektryczną.
Mniejsze zużycie materiałów: Umożliwia tworzenie złożonych urządzeń przy minimalnym wykorzystaniu materiałów, co pozwala na redukcję kosztów.
Personalizacja: Folie można dostosować tak, aby miały określone właściwości mechaniczne, elektryczne, optyczne lub chemiczne.
Aplikacje
Urządzenia półprzewodnikowe: tranzystory, układy scalone i mikroukłady elektromechaniczne (MEMS).
Powłoki optyczne: powłoki antyrefleksyjne i wysokorefleksyjne na soczewkach i ogniwach słonecznych.
Powłoki ochronne: Zapobiegają korozji i zużyciu narzędzi i maszyn.
Zastosowania biomedyczne: powłoki na implantach medycznych lub systemach dostarczania leków.
Wybór techniki osadzania zależy od konkretnych wymagań danego zastosowania, w tym rodzaju osadzanego materiału, pożądanych właściwości powłoki i ograniczeń finansowych.

– Artykuł ten został opublikowany przezproducent maszyn do powlekania próżniowegoGuangdong Zhenhua