ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଏବଂ ପୃଷ୍ଠ ଆବରଣ ସୃଷ୍ଟି କରିବା ପାଇଁ PVD (ଭୌତିକ ବାଷ୍ପ ଜମା) ଆବରଣ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ କୌଶଳ। ସାଧାରଣ ପଦ୍ଧତି ମଧ୍ୟରେ, ତାପଜ ବାଷ୍ପୀଭବନ ଏବଂ ସ୍ପଟରିଂ ଦୁଇଟି ଗୁରୁତ୍ୱପୂର୍ଣ୍ଣ PVD ପ୍ରକ୍ରିୟା। ଏଠାରେ ପ୍ରତ୍ୟେକର ବିଭାଜନ ଦିଆଯାଇଛି:
୧. ତାପଜ ବାଷ୍ପୀଭବନ
- ନୀତି:ସାମଗ୍ରୀକୁ ଏକ ଶୂନ୍ୟ ଚାମ୍ବରରେ ଗରମ କରାଯାଏ ଯେପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ଏହା ବାଷ୍ପୀଭୂତ ହୁଏ କିମ୍ବା ଉପଲିମେଟ୍ ହୁଏ। ବାଷ୍ପୀକୃତ ସାମଗ୍ରୀ ତା'ପରେ ଏକ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଘନୀଭୂତ ହୋଇ ଏକ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ତିଆରି କରେ।
- ପ୍ରକ୍ରିୟା:
- ଏକ ଉତ୍ସ ସାମଗ୍ରୀ (ଧାତୁ, ମାଟି ପାତ୍ର, ଇତ୍ୟାଦି) କୁ ଗରମ କରାଯାଏ, ସାଧାରଣତଃ ପ୍ରତିରୋଧୀ ଗରମ, ଇଲେକ୍ଟ୍ରନ୍ ବିମ୍, କିମ୍ବା ଲେଜର ବ୍ୟବହାର କରି।
- ସାମଗ୍ରୀଟି ତା'ର ବାଷ୍ପୀଭବନ ବିନ୍ଦୁରେ ପହଞ୍ଚିବା ପରେ, ପରମାଣୁ କିମ୍ବା ଅଣୁ ଉତ୍ସ ଛାଡି ଶୂନ୍ୟସ୍ଥାନ ଦେଇ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟକୁ ଯାତ୍ରା କରନ୍ତି।
- ବାଷ୍ପୀଭୂତ ପରମାଣୁଗୁଡ଼ିକ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ର ପୃଷ୍ଠରେ ଘନୀଭୂତ ହୋଇ ଏକ ପତଳା ସ୍ତର ସୃଷ୍ଟି କରନ୍ତି।
- ପ୍ରୟୋଗ:
- ସାଧାରଣତଃ ଧାତୁ, ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଏବଂ ଇନସୁଲେଟର ଜମା କରିବା ପାଇଁ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।
- ପ୍ରୟୋଗଗୁଡ଼ିକ ମଧ୍ୟରେ ଅପ୍ଟିକାଲ୍ ଆବରଣ, ସାଜସଜ୍ଜା ସମାପ୍ତି ଏବଂ ମାଇକ୍ରୋଇଲେକ୍ଟ୍ରୋନିକ୍ସ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ।
- ସୁବିଧା:
- ଉଚ୍ଚ ଜମା ହାର।
- କିଛି ସାମଗ୍ରୀ ପାଇଁ ସରଳ ଏବଂ କମ ଖର୍ଚ୍ଚ।
- ଅତ୍ୟନ୍ତ ଶୁଦ୍ଧ ଚଳଚ୍ଚିତ୍ର ନିର୍ମାଣ କରିପାରିବ।
- ଅସୁବିଧା:
- କମ ତରଳାଇବା ବିନ୍ଦୁ କିମ୍ବା ଉଚ୍ଚ ବାଷ୍ପ ଚାପ ଥିବା ସାମଗ୍ରୀ ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ସୀମିତ।
- ଜଟିଳ ପୃଷ୍ଠ ଉପରେ ଖରାପ ଷ୍ଟେପ୍ କଭରେଜ୍।
- ମିଶ୍ରଧାତୁ ପାଇଁ ଫିଲ୍ମ ରଚନା ଉପରେ କମ୍ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ।
୨. ଛିଟିକି ପଡ଼ିବା
- ନୀତି: ଏକ ପ୍ଲାଜମାରୁ ଆୟନଗୁଡ଼ିକ ଏକ ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ ଆଡ଼କୁ ତ୍ୱରାନ୍ୱିତ ହୁଏ, ଯାହା ଫଳରେ ଲକ୍ଷ୍ୟସ୍ଥଳରୁ ପରମାଣୁଗୁଡ଼ିକ ବାହାରକୁ ବାହାରିଯାଏ (ଛତ୍ରିତ ହୁଏ), ଯାହା ପରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଜମା ହୁଏ।
- ପ୍ରକ୍ରିୟା:
- ଚାମ୍ବରରେ ଏକ ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀ (ଧାତୁ, ମିଶ୍ରଧାତୁ, ଇତ୍ୟାଦି) ରଖାଯାଏ, ଏବଂ ଏକ ଗ୍ୟାସ (ସାଧାରଣତଃ ଆର୍ଗନ୍) ପ୍ରବର୍ତ୍ତନ କରାଯାଏ।
- ଏକ ଉଚ୍ଚ ଭୋଲଟେଜ ପ୍ରୟୋଗ କରି ଏକ ପ୍ଲାଜ୍ମା ତିଆରି କରାଯାଏ, ଯାହା ଗ୍ୟାସକୁ ଆୟନିତ କରେ।
- ପ୍ଲାଜମାରୁ ଧନାତ୍ମକ ଚାର୍ଜିତ ଆୟନଗୁଡ଼ିକ ନକାରାତ୍ମକ ଚାର୍ଜିତ ଲକ୍ଷ୍ୟ ଆଡ଼କୁ ତ୍ୱରାନ୍ୱିତ ହୋଇ ଭୌତିକ ଭାବରେ ପରମାଣୁଗୁଡ଼ିକୁ ପୃଷ୍ଠରୁ ବିସ୍ଥାପିତ କରନ୍ତି।
- ଏହି ପରମାଣୁଗୁଡ଼ିକ ତା’ପରେ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ଉପରେ ଜମା ହୋଇ ଏକ ପତଳା ପରଦା ତିଆରି କରନ୍ତି।
- ପ୍ରୟୋଗ:
- ଅର୍ଦ୍ଧପରିବାହୀ ଉତ୍ପାଦନ, କାଚ ଆବରଣ ଏବଂ ପରିଧାନ-ପ୍ରତିରୋଧୀ ଆବରଣ ସୃଷ୍ଟି କରିବାରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୁଏ।
- ମିଶ୍ରଧାତୁ, ମାଟି ପାତ୍ର, କିମ୍ବା ଜଟିଳ ପତଳା ଫିଲ୍ମ ତିଆରି କରିବା ପାଇଁ ଉପଯୁକ୍ତ।
- ସୁବିଧା:
- ଧାତୁ, ମିଶ୍ରଧାତୁ ଏବଂ ଅକ୍ସାଇଡ୍ ସମେତ ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ସାମଗ୍ରୀ ଜମା କରିପାରେ।
- ଜଟିଳ ଆକୃତିରେ ମଧ୍ୟ ଉତ୍କୃଷ୍ଟ ଫିଲ୍ମ ଏକରୂପତା ଏବଂ ଷ୍ଟେପ୍ କଭରେଜ୍।
- ଫିଲ୍ମ ଘନତା ଏବଂ ଗଠନ ଉପରେ ସଠିକ୍ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ।
- ଅସୁବିଧା:
- ତାପଜ ବାଷ୍ପୀଭବନ ତୁଳନାରେ ଧୀର ଜମା ହାର।
- ଉପକରଣର ଜଟିଳତା ଏବଂ ଅଧିକ ଶକ୍ତିର ଆବଶ୍ୟକତା ଯୋଗୁଁ ଅଧିକ ମହଙ୍ଗା।
ମୁଖ୍ୟ ପାର୍ଥକ୍ୟ:
- ଜମାର ଉତ୍ସ:
- ତାପଜ ବାଷ୍ପୀଭବନ ସାମଗ୍ରୀକୁ ବାଷ୍ପୀଭୂତ କରିବା ପାଇଁ ତାପ ବ୍ୟବହାର କରେ, ଯେତେବେଳେ ସ୍ପଟରିଂ ପରମାଣୁକୁ ଭୌତିକ ଭାବରେ ବିସ୍ଥାପିତ କରିବା ପାଇଁ ଆୟନ ବୋମା ପ୍ରୟୋଗ କରେ।
- ଆବଶ୍ୟକ ଶକ୍ତି:
- ତାପଜ ବାଷ୍ପୀଭବନ ପାଇଁ ସାଧାରଣତଃ ସ୍ପଟରିଂ ଅପେକ୍ଷା କମ୍ ଶକ୍ତି ଆବଶ୍ୟକ ହୁଏ କାରଣ ଏହା ପ୍ଲାଜମା ସୃଷ୍ଟି ଅପେକ୍ଷା ଗରମ ଉପରେ ନିର୍ଭର କରେ।
- ସାମଗ୍ରୀ:
- ସ୍ପଟରିଂ ବ୍ୟବହାର କରି ବିଭିନ୍ନ ପ୍ରକାରର ସାମଗ୍ରୀ ଜମା କରାଯାଇପାରିବ, ଯେଉଁଥିରେ ଉଚ୍ଚ ତରଳାଇବା ବିନ୍ଦୁ ଥିବା ସାମଗ୍ରୀ ମଧ୍ୟ ଅନ୍ତର୍ଭୁକ୍ତ, ଯାହା ବାଷ୍ପୀଭୂତ ହେବା କଷ୍ଟକର।
- ଫିଲ୍ମ ଗୁଣବତ୍ତା:
- ସ୍ପଟରିଂ ସାଧାରଣତଃ ଫିଲ୍ମ ଘନତା, ସମାନତା ଏବଂ ଗଠନ ଉପରେ ଉତ୍ତମ ନିୟନ୍ତ୍ରଣ ପ୍ରଦାନ କରେ।
ପୋଷ୍ଟ ସମୟ: ସେପ୍ଟେମ୍ବର-୨୭-୨୦୨୪