Tynnfilmavsetningsteknologi

Tynnfilmavsetning er en grunnleggende prosess som brukes i halvlederindustrien, så vel som i mange andre områder innen materialvitenskap og -teknikk. Det innebærer å lage et tynt lag med materiale på et substrat. De avsatte filmene kan ha et bredt spekter av tykkelser, fra bare noen få atomlag til flere mikrometer tykke. Disse filmene kan tjene mange formål, for eksempel som elektriske ledere, isolatorer, optiske belegg eller beskyttende barrierer.

Her er de viktigste metodene som brukes for tynnfilmavsetning:
Fysisk dampavsetning (PVD)
Sputtering: En høyenergisk ionstråle brukes til å slå atomer av et målmateriale, som deretter avsettes på substratet.
Fordampning:** Materialet varmes opp i vakuum til det fordamper, og deretter kondenserer dampen på underlaget.
Atomlagsavsetning (ALD)
ALD er en teknikk der en film dyrkes på et substrat, ett atomlag om gangen. Den er svært kontrollert og kan lage svært presise og konforme filmer.
Molekylærstråleepitaksi (MBE)
MBE er en epitaksial vekstteknikk der stråler av atomer eller molekyler rettes mot et oppvarmet substrat for å danne en krystallinsk tynn film.
Fordeler med tynnfilmavsetning
Forbedret funksjonalitet: Filmer kan gi underlaget nye egenskaper, som ripebestandighet eller elektrisk ledningsevne.
Redusert materialforbruk: Det muliggjør produksjon av komplekse enheter med minimalt materialforbruk, noe som reduserer kostnadene.
Tilpasning: Filmer kan skreddersys for å ha spesifikke mekaniske, elektriske, optiske eller kjemiske egenskaper.
Bruksområder
Halvlederkomponenter: Transistorer, integrerte kretser og mikroelektromekaniske systemer (MEMS).
Optiske belegg: Antireflekterende og høyreflekterende belegg på linser og solceller.
Beskyttende belegg: For å forhindre korrosjon eller slitasje på verktøy og maskiner.
Biomedisinske anvendelser: Belegg på medisinske implantater eller legemiddelleveringssystemer.
Valg av avsetningsteknikk avhenger av de spesifikke kravene til applikasjonen, inkludert typen materiale som skal avsettes, de ønskede filmegenskapene og kostnadsbegrensningene.

– Denne artikkelen er publisert avprodusent av vakuumbeleggsmaskinerGuangdong Zhenhua