Dunnefilmdepositie is een fundamenteel proces dat wordt gebruikt in de halfgeleiderindustrie, evenals in vele andere sectoren van de materiaalkunde en -technologie. Het omvat het aanbrengen van een dunne laag materiaal op een substraat. De afgezette films kunnen een breed scala aan diktes hebben, van slechts enkele atomaire lagen tot enkele micrometers dik. Deze films kunnen vele doeleinden dienen, zoals elektrische geleiders, isolatoren, optische coatings of beschermende barrières.
Dit zijn de belangrijkste methoden die voor dunnefilmdepositie worden gebruikt:
Fysische dampdepositie (PVD)
Sputteren: Hierbij wordt een ionenbundel met hoge energie gebruikt om atomen van een doelmateriaal af te slaan, waarna de atomen zich op het substraat afzetten.
Verdamping:** Het materiaal wordt in een vacuüm verhit totdat het verdampt, vervolgens condenseert de damp op het substraat.
Atomaire Laagdepositie (ALD)
ALD is een techniek waarbij een filmlaagje voor laagje op een substraat wordt aangebracht. Deze techniek is zeer gecontroleerd en kan zeer nauwkeurige en conforme films opleveren.
Moleculaire bundelepitaxie (MBE)
MBE is een epitaxiale groeitechniek waarbij bundels van atomen of moleculen op een verwarmd substraat worden gericht om een dunne, kristallijne film te vormen.
Voordelen van dunnefilmdepositie
Verbeterde functionaliteit: folies kunnen nieuwe eigenschappen aan het substraat geven, zoals krasbestendigheid of elektrische geleidbaarheid.
Minder materiaalgebruik: Hierdoor kunnen complexe apparaten worden gemaakt met minimaal materiaalgebruik, waardoor de kosten worden verlaagd.
Maatwerk: Folies kunnen op maat worden gemaakt met specifieke mechanische, elektrische, optische of chemische eigenschappen.
Toepassingen
Halfgeleiderapparaten: transistors, geïntegreerde schakelingen en micro-elektromechanische systemen (MEMS).
Optische coatings: antireflectie- en hoogreflectiecoatings op lenzen en zonnecellen.
Beschermende coatings: voorkomen corrosie en slijtage van gereedschappen en machines.
Biomedische toepassingen: Coatings op medische implantaten of medicijnafgiftesystemen.
De keuze van de depositietechniek hangt af van de specifieke vereisten van de toepassing, waaronder het type materiaal dat moet worden afgezet, de gewenste filmeigenschappen en de kostenbeperkingen.
–Dit artikel is gepubliceerd doorfabrikant van vacuümcoatingmachinesGuangdong Zhenhua
Plaatsingstijd: 15-08-2024