ပါးလွှာသော ဖလင်စက်များ၏ အရည်အသွေးကို ထိခိုက်စေသော လုပ်ငန်းစဉ်များနှင့် ယန္တရားများ (အပိုင်း ၁)

ဖလင်အလွှာပါးလွှာသော ဖလင်ကိရိယာများ ထုတ်လုပ်မှုကို လေဟာနယ်ခန်းတွင် လုပ်ဆောင်ပြီး ဖလင်အလွှာ၏ ကြီးထွားမှုသည် အဏုကြည့်စနစ်တစ်ခုဖြစ်သည်။ သို့သော်လည်း လက်ရှိတွင်၊ တိုက်ရိုက်ထိန်းချုပ်နိုင်သော မက်ခရိုစကုပ်လုပ်ငန်းစဉ်များသည် ဖလင်အလွှာ၏အရည်အသွေးနှင့် သွယ်ဝိုက်ဆက်စပ်မှုရှိသော မက်ခရိုစကိုပီအချက်အချို့ဖြစ်သည်။ သို့သော်၊ ရေရှည်တည်မြဲသော စမ်းသပ်သုတေသနပြုခြင်းဖြင့်၊ လူများသည် ရုပ်ရှင်အရည်အသွေးနှင့် ဤ macro Factors များကြား ပုံမှန်ဆက်နွှယ်မှုကို တွေ့ရှိခဲ့ပြီး၊ ယင်းသည် ရုပ်ရှင်ခရီးသွားကိရိယာများထုတ်လုပ်ခြင်းကို လမ်းညွှန်ရန် လုပ်ငန်းစဉ်သတ်မှတ်ချက်တစ်ခုဖြစ်လာကာ အရည်အသွေးမြင့် optical ပါးလွှာသောဖလင်ကိရိယာများထုတ်လုပ်ရာတွင် အရေးပါသောအခန်းကဏ္ဍမှပါဝင်နေသည်ကို တွေ့ရှိခဲ့သည်။

1. လေဟာနယ်အဖြစ်လည်းကောင်း အကျိုးသက်ရောက်မှု

ဖလင်၏ ဂုဏ်သတ္တိများအပေါ် လေဟာနယ်ဒီဂရီ၏ လွှမ်းမိုးမှုမှာ ကျန်ရှိသောဓာတ်ငွေ့များနှင့် ဖလင်အက်တမ်များနှင့် မော်လီကျူးများကြားတွင် ဓာတ်ငွေ့အဆင့် တိုက်မိခြင်းကြောင့် ဖြစ်ပေါ်လာသော စွမ်းအင်ဆုံးရှုံးမှုနှင့် ဓာတုတုံ့ပြန်မှုများကြောင့် ဖြစ်သည်။ လေဟာနယ် ဒီဂရီနည်းပါက၊ ရုပ်ရှင်ပစ္စည်း၏ အခိုးအငွေ့မော်လီကျူးများနှင့် ကျန်ဓာတ်ငွေ့မော်လီကျူးများကြား ပေါင်းစပ်ဖြစ်နိုင်ခြေ တိုးလာကာ အငွေ့မော်လီကျူးများ၏ kinetic energy လျော့ကျသွားကာ အခိုးအငွေ့ မော်လီကျူးများသည် အလွှာအတွင်းသို့ မရောက်ရှိနိုင်ခြင်း၊ သို့မဟုတ် ဓာတ်ငွေ့စုပ်ယူမှု အလွှာပေါ်ရှိ ဓာတ်ငွေ့စုပ်ယူမှုအလွှာကို မချိုးဖျက်နိုင်ဘဲ စုပ်ယူနိုင်သော စွမ်းအင်၊ substrate သည် အလွန်သေးငယ်သည်။ ရလဒ်အနေဖြင့်၊ optical ပါးလွှာသောဖလင်ကိရိယာများမှ စုဆောင်းထားသော ဖလင်သည် လျော့ရဲသွားသည်၊ စုဆောင်းမှုသိပ်သည်းဆနည်းသည်၊ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ခွန်အားညံ့ဖျင်းသည်၊ ဓာတုဖွဲ့စည်းမှုမှာ မသန့်ရှင်းဘဲ၊ ဖလင်အလွှာ၏ အလင်းယိုင်ညွှန်းကိန်းနှင့် မာကျောမှု ညံ့ဖျင်းပါသည်။

ယေဘူယျအားဖြင့်၊ လေဟာနယ် တိုးလာသည်နှင့်အမျှ ရုပ်ရှင်၏ဖွဲ့စည်းပုံမှာ ပိုမိုကောင်းမွန်လာကာ ဓာတုဖွဲ့စည်းမှုမှာ သန့်စင်သွားသော်လည်း ဖိစီးမှု တိုးလာပါသည်။ သတ္တုဖလင်နှင့် ဆီမီးကွန်ဒတ်တာဖလင်၏ သန့်ရှင်းမှု မြင့်မားလေလေ၊ ၎င်းတို့သည် လေဟာနယ်၏ အတိုင်းအတာပေါ်မူတည်၍ ပိုမိုမြင့်မားသော တိုက်ရိုက်ပျက်ပြယ်ရန် လိုအပ်သည်။ လေဟာနယ်ဒီဂရီကြောင့် ထိခိုက်နိုင်သော ရုပ်ရှင်များ၏ အဓိကဂုဏ်သတ္တိများမှာ အလင်းယိုင်ညွှန်းကိန်း၊ ကွဲအက်ခြင်း၊ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ခွန်အားနှင့် မပျော်ဝင်နိုင်ခြင်းတို့ဖြစ်သည်။
2. အစစ်ခံနှုန်းလွှမ်းမိုးမှု

Deposition rate သည် ယူနစ်အချိန်အတွင်း ပလပ်စတစ်မျက်နှာပြင်ပေါ်ရှိ ဖလင်၏အထူဖြင့်ဖော်ပြသော ဖလင်၏ အပ်နှံနှုန်းကိုဖော်ပြသည့် လုပ်ငန်းစဉ်ဘောင်တစ်ခုဖြစ်ပြီး ယူနစ်မှာ nm·s-1 ဖြစ်သည်။

အပ်နှံမှုနှုန်းသည် ဖလင်၏ အလင်းယပ်ညွှန်းကိန်း၊ ခိုင်မာမှု၊ စက်ပိုင်းဆိုင်ရာ ခိုင်ခံ့မှု၊ ကပ်ငြိမှုနှင့် ဖိစီးမှုအပေါ် သိသာထင်ရှားသော လွှမ်းမိုးမှုရှိပါသည်။ စုဆောင်းမှုနှုန်းနည်းပါက အခိုးအငွေ့မော်လီကျူးအများစုသည် အလွှာမှပြန်လာသည်၊ ပုံဆောင်ခဲနျူကလိယဖွဲ့စည်းမှုသည် နှေးကွေးကာ ပေါင်းစည်းမှုကြီးမားသောအစုအဝေးတွင်သာ ငွေ့ရည်ဖွဲ့ခြင်းကို လုပ်ဆောင်နိုင်သောကြောင့် ဖလင်၏ဖွဲ့စည်းပုံကို လျော့ရဲစေသည်။ စုဆောင်းမှုနှုန်း တိုးလာသည်နှင့်အမျှ၊ အနုနှင့်သိပ်သည်းသော ဖလင်တစ်ခု ဖြစ်ပေါ်လာမည်ဖြစ်ပြီး၊ အလင်းကွဲအက်မှု လျော့နည်းလာပြီး ခိုင်မာမှုလည်း တိုးလာမည်ဖြစ်သည်။ ထို့ကြောင့် အငွေ့ပျံသည့် ဖြစ်စဉ်တွင် ဖလင် အစစ်ခံနှုန်းကို မှန်ကန်စွာ ရွေးချယ်နည်းသည် အရေးကြီးသော ကိစ္စဖြစ်ပြီး၊ ဖလင်ပစ္စည်း အလိုက် တိကျသော ရွေးချယ်မှုကို ဆုံးဖြတ်သင့်သည်။

သိုလှောင်မှုနှုန်းကို မြှင့်တင်ရန် နည်းလမ်း နှစ်ခုရှိသည်။ (၁) ရေငွေ့ပျံမှု အရင်းအမြစ် အပူချိန် တိုးမြင့်ရေး နည်းလမ်း (၂) ရေငွေ့ပျံမှု အရင်းအမြစ် ဧရိယာ တိုးမြင့်ရေး နည်းလမ်း။