సన్నని పొర పరికరాల నాణ్యతను ప్రభావితం చేసే ప్రక్రియ కారకాలు మరియు యంత్రాంగాలు (భాగం 1)

ఆప్టికల్ థిన్ ఫిల్మ్ పరికరాల తయారీ వాక్యూమ్ ఛాంబర్‌లో జరుగుతుంది, మరియు ఫిల్మ్ పొర యొక్క పెరుగుదల ఒక సూక్ష్మ ప్రక్రియ. అయితే, ప్రస్తుతం, నేరుగా నియంత్రించగల స్థూల ప్రక్రియలు అంటే ఫిల్మ్ పొర నాణ్యతతో పరోక్ష సంబంధం ఉన్న కొన్ని స్థూల కారకాలు మాత్రమే. అయినప్పటికీ, దీర్ఘకాలిక నిరంతర ప్రయోగాత్మక పరిశోధన ద్వారా, ఫిల్మ్ నాణ్యతకు మరియు ఈ స్థూల కారకాలకు మధ్య ఉన్న క్రమబద్ధమైన సంబంధాన్ని కనుగొన్నారు. ఇది ఫిల్మ్ ట్రావెల్ పరికరాల తయారీకి మార్గనిర్దేశం చేసే ఒక ప్రక్రియ నిర్దేశంగా మారింది మరియు అధిక-నాణ్యత గల ఆప్టికల్ థిన్ ఫిల్మ్ పరికరాల తయారీలో ముఖ్యమైన పాత్ర పోషిస్తుంది.

1. వాక్యూమ్ ప్లేటింగ్ ప్రభావం

ఫిల్మ్ యొక్క లక్షణాలపై వాక్యూమ్ స్థాయి ప్రభావం, మిగిలిపోయిన వాయువు మరియు ఫిల్మ్ అణువుల మధ్య వాయు దశలో జరిగే ఢీకొనడం వలన కలిగే శక్తి నష్టం మరియు రసాయన చర్య కారణంగా ఉంటుంది. వాక్యూమ్ స్థాయి తక్కువగా ఉంటే, ఫిల్మ్ పదార్థంలోని ఆవిరి అణువులు మరియు మిగిలిపోయిన వాయు అణువుల మధ్య సంలీనమయ్యే సంభావ్యత పెరుగుతుంది, మరియు ఆవిరి అణువుల గతిజ శక్తి బాగా తగ్గిపోతుంది. దీనివల్ల ఆవిరి అణువులు సబ్‌స్ట్రేట్‌ను చేరుకోలేవు, లేదా సబ్‌స్ట్రేట్‌పై ఉన్న వాయు శోషణ పొరను ఛేదించలేవు, లేదా అతి కష్టం మీద ఛేదించినా సబ్‌స్ట్రేట్‌తో వాటి శోషణ శక్తి చాలా తక్కువగా ఉంటుంది. ఫలితంగా, ఆప్టికల్ థిన్ ఫిల్మ్ పరికరాల ద్వారా నిక్షేపించబడిన ఫిల్మ్ వదులుగా ఉంటుంది, దాని సంచిత సాంద్రత తక్కువగా ఉంటుంది, యాంత్రిక బలం బలహీనంగా ఉంటుంది, రసాయన కూర్పు స్వచ్ఛంగా ఉండదు, మరియు ఫిల్మ్ పొర యొక్క వక్రీభవన సూచిక మరియు కాఠిన్యం తక్కువగా ఉంటాయి.

సాధారణంగా, వాక్యూమ్ పెరిగే కొద్దీ, ఫిల్మ్ యొక్క నిర్మాణం మెరుగుపడుతుంది, రసాయన కూర్పు స్వచ్ఛంగా మారుతుంది, కానీ ఒత్తిడి పెరుగుతుంది. మెటల్ ఫిల్మ్ మరియు సెమీకండక్టర్ ఫిల్మ్ యొక్క స్వచ్ఛత ఎంత ఎక్కువగా ఉంటే అంత మంచిది; ఇవి వాక్యూమ్ స్థాయిపై ఆధారపడి ఉంటాయి, దీనికి అధిక ప్రత్యక్ష శూన్యత అవసరం. వాక్యూమ్ స్థాయి వల్ల ప్రభావితమయ్యే ఫిల్మ్‌ల ప్రధాన లక్షణాలు వక్రీభవన సూచిక, వికీర్ణం, యాంత్రిక బలం మరియు కరగనితనం.
2. నిక్షేపణ రేటు ప్రభావం

డిపోజిషన్ రేటు అనేది ఫిల్మ్ యొక్క డిపోజిషన్ వేగాన్ని వివరించే ఒక ప్రాసెస్ పారామీటర్, దీనిని యూనిట్ సమయంలో ప్లేటింగ్ ఉపరితలంపై ఏర్పడిన ఫిల్మ్ యొక్క మందం ద్వారా వ్యక్తపరుస్తారు మరియు దీని యూనిట్ nm·s-1.

ఫిల్మ్ యొక్క వక్రీభవన సూచిక, దృఢత్వం, యాంత్రిక బలం, అంటుకునే గుణం మరియు ఒత్తిడిపై నిక్షేపణ రేటు స్పష్టమైన ప్రభావాన్ని చూపుతుంది. నిక్షేపణ రేటు తక్కువగా ఉంటే, చాలా వరకు ఆవిరి అణువులు సబ్‌స్ట్రేట్ నుండి తిరిగి వెళ్ళిపోతాయి, స్ఫటిక కేంద్రకాల నిర్మాణం నెమ్మదిస్తుంది, మరియు ఘనీభవనం కేవలం పెద్ద సమూహాలపై మాత్రమే జరుగుతుంది, తద్వారా ఫిల్మ్ నిర్మాణం వదులుగా మారుతుంది. నిక్షేపణ రేటు పెరిగే కొద్దీ, ఒక సూక్ష్మమైన మరియు దట్టమైన ఫిల్మ్ ఏర్పడుతుంది, కాంతి వికీర్ణం తగ్గుతుంది, మరియు దృఢత్వం పెరుగుతుంది. అందువల్ల, బాష్పీభవన ప్రక్రియలో ఫిల్మ్ నిక్షేపణ రేటును సరిగ్గా ఎలా ఎంచుకోవాలి అనేది ఒక ముఖ్యమైన విషయం, మరియు ఈ నిర్దిష్ట ఎంపికను ఫిల్మ్ పదార్థాన్ని బట్టి నిర్ణయించాలి.

నిక్షేపణ రేటును మెరుగుపరచడానికి రెండు పద్ధతులు ఉన్నాయి: (1) బాష్పీభవన మూలం ఉష్ణోగ్రతను పెంచే పద్ధతి (2) బాష్పీభవన మూలం వైశాల్యాన్ని పెంచే పద్ధతి.