Pembuatan alat film ipis optik dilaksanakeun dina rohangan vakum, sareng kamekaran lapisan film mangrupikeun prosés mikroskopis. Nanging, ayeuna, prosés makroskopis anu tiasa dikontrol langsung mangrupikeun sababaraha faktor makroskopis anu gaduh hubungan teu langsung sareng kualitas lapisan film. Sanaos kitu, ngalangkungan panilitian ékspériméntal jangka panjang anu terus-terusan, jalma-jalma parantos mendakan hubungan anu teratur antara kualitas film sareng faktor makro ieu, anu parantos janten spésifikasi prosés pikeun nungtun manufaktur alat perjalanan film, sareng maénkeun peran penting dina manufaktur alat film ipis optik kualitas luhur.
1. Pangaruh pelapisan vakum
Pangaruh darajat vakum kana sipat-sipat pilem disababkeun ku leungitna énergi sareng réaksi kimia anu disababkeun ku tabrakan fase gas antara sésa gas sareng atom sareng molekul pilem. Upami darajat vakum rendah, kamungkinan fusi antara molekul uap bahan pilem sareng molekul gas anu sésana ningkat, sareng énergi kinétik molekul uap turun pisan, ngajantenkeun molekul uap henteu tiasa ngahontal substrat, atanapi henteu tiasa nembus lapisan adsorpsi gas dina substrat, atanapi ampir henteu tiasa nembus lapisan adsorpsi gas tapi énergi adsorpsi sareng substrat leutik pisan. Hasilna, pilem anu diendapkeun ku alat pilem ipis optik leupas, kapadetan akumulasi rendah, kakuatan mékanis goréng, komposisi kimia henteu murni, sareng indéks bias sareng karasana lapisan pilem goréng.
Sacara umum, kalayan ningkatna vakum, struktur pilem ningkat, komposisi kimia janten murni, tapi tegangan ningkat. Beuki luhur kamurnian pilem logam sareng pilem semikonduktor, beuki saé, aranjeunna gumantung kana tingkat vakum, anu meryogikeun rongga langsung anu langkung luhur. Sipat utama pilem anu kapangaruhan ku tingkat vakum nyaéta indéks bias, hamburan, kakuatan mékanis sareng teu leyur.
2. Pangaruh laju déposisi
Laju déposisi nyaéta paraméter prosés anu ngagambarkeun kecepatan déposisi pilem, anu dinyatakeun ku ketebalan pilem anu kabentuk dina permukaan plating dina unit waktos, sareng unitna nyaéta nm·s-1.
Laju déposisi miboga pangaruh anu jelas kana indéks bias, kateguhan, kakuatan mékanis, adhesi sareng tegangan pilem. Upami laju déposisi rendah, kalolobaan molekul uap balik deui tina substrat, formasi inti kristal laun, sareng kondensasi ngan ukur tiasa dilakukeun dina agregat ageung, sahingga ngajantenkeun struktur pilem leupas. Kalayan ningkatna laju déposisi, pilem anu lemes sareng padet bakal kabentuk, hamburan cahaya bakal turun, sareng kateguhan bakal ningkat. Ku kituna, kumaha milih laju déposisi pilem anu leres mangrupikeun masalah penting dina prosés penguapan, sareng pilihan khusus kedah ditangtukeun numutkeun bahan pilem.
Aya dua metode pikeun ningkatkeun laju pengendapan: (1) metode ningkatkeun suhu sumber penguapan (2) metode ningkatkeun daérah sumber penguapan.
Waktos posting: 29-Mar-2024