Pembuatan peranti filem nipis optik dijalankan dalam ruang vakum, dan pertumbuhan lapisan filem merupakan proses mikroskopik. Walau bagaimanapun, pada masa ini, proses makroskopik yang boleh dikawal secara langsung adalah beberapa faktor makroskopik yang mempunyai hubungan tidak langsung dengan kualiti lapisan filem. Walaupun begitu, melalui penyelidikan eksperimen berterusan jangka panjang, orang ramai telah menemui hubungan tetap antara kualiti filem dan faktor makro ini, yang telah menjadi spesifikasi proses untuk membimbing pembuatan peranti perjalanan filem, dan memainkan peranan penting dalam pembuatan peranti filem nipis optik berkualiti tinggi.
1. Kesan penyaduran vakum
Pengaruh darjah vakum terhadap sifat filem adalah disebabkan oleh kehilangan tenaga dan tindak balas kimia yang disebabkan oleh perlanggaran fasa gas antara atom dan molekul gas baki dan filem. Jika darjah vakum rendah, kebarangkalian pelakuran antara molekul wap bahan filem dan molekul gas yang tinggal meningkat, dan tenaga kinetik molekul wap berkurangan dengan ketara, menjadikan molekul wap tidak dapat mencapai substrat, atau tidak dapat menembusi lapisan penjerapan gas pada substrat, atau hampir tidak dapat menembusi lapisan penjerapan gas tetapi tenaga penjerapan dengan substrat adalah sangat kecil. Akibatnya, filem yang dimendapkan oleh peranti filem nipis optik adalah longgar, ketumpatan pengumpulan adalah rendah, kekuatan mekanikal adalah lemah, komposisi kimia tidak tulen, dan indeks biasan dan kekerasan lapisan filem adalah lemah.
Secara amnya, dengan peningkatan vakum, struktur filem bertambah baik, komposisi kimia menjadi tulen, tetapi tegasan meningkat. Semakin tinggi ketulenan filem logam dan filem semikonduktor, semakin baik, ia bergantung pada tahap vakum, yang memerlukan lompang langsung yang lebih tinggi. Sifat utama filem yang dipengaruhi oleh tahap vakum ialah indeks biasan, penyerakan, kekuatan mekanikal dan ketaklarutan.
2. Pengaruh kadar pemendapan
Kadar pemendapan ialah parameter proses yang menggambarkan kelajuan pemendapan filem, yang dinyatakan oleh ketebalan filem yang terbentuk pada permukaan penyaduran dalam unit masa, dan unitnya ialah nm·s-1.
Kadar pemendapan mempunyai pengaruh yang jelas terhadap indeks biasan, ketegasan, kekuatan mekanikal, lekatan dan tegasan filem. Jika kadar pemendapan rendah, kebanyakan molekul wap kembali dari substrat, pembentukan nukleus kristal adalah perlahan, dan pemeluwapan hanya boleh dilakukan pada agregat besar, sekali gus menjadikan struktur filem longgar. Dengan peningkatan kadar pemendapan, filem halus dan padat akan terbentuk, penyebaran cahaya akan berkurangan, dan ketegasan akan meningkat. Oleh itu, cara memilih kadar pemendapan filem dengan betul adalah isu penting dalam proses penyejatan, dan pemilihan khusus harus ditentukan mengikut bahan filem.
Terdapat dua kaedah untuk meningkatkan kadar pemendapan: (1) kaedah meningkatkan suhu sumber penyejatan (2) kaedah meningkatkan kawasan sumber penyejatan.
Masa siaran: 29 Mac 2024