Pabrikasi piranti film tipis optik ditindakake ing ruang vakum, lan tuwuhing lapisan film minangka proses mikroskopis. Nanging, saiki, proses makroskopik sing bisa dikontrol langsung yaiku sawetara faktor makroskopik sing duwe hubungan ora langsung karo kualitas lapisan film. Sanajan mangkono, liwat riset eksperimen jangka panjang sing terus-terusan, wong-wong wis nemokake hubungan sing teratur antarane kualitas film lan faktor makro kasebut, sing wis dadi spesifikasi proses kanggo nuntun manufaktur piranti lelungan film, lan nduweni peran penting ing pabrikasi piranti film tipis optik berkualitas tinggi.
1. Efek saka pelapisan vakum
Pengaruh derajat vakum marang sifat-sifat film iki disebabake dening mundhut energi lan reaksi kimia sing disebabake dening tabrakan fase gas antarane atom lan molekul gas sisa lan film. Yen derajat vakum kurang, kemungkinan fusi antarane molekul uap bahan film lan molekul gas sing isih ana mundhak, lan energi kinetik molekul uap bakal suda banget, saengga molekul uap ora bisa tekan substrat, utawa ora bisa nembus lapisan adsorpsi gas ing substrat, utawa meh ora bisa nembus lapisan adsorpsi gas nanging energi adsorpsi karo substrat cilik banget. Akibate, film sing diendapke dening piranti film tipis optik longgar, kapadhetan akumulasi kurang, kekuatan mekanik kurang, komposisi kimia ora murni, lan indeks bias lan kekerasan lapisan film kurang.
Umumé, kanthi tambahing vakum, struktur film kasebut saya apik, komposisi kimia dadi murni, nanging stres saya tambah. Saya dhuwur kemurnian film logam lan film semikonduktor, saya apik, gumantung saka derajat vakum, sing mbutuhake rongga langsung sing luwih dhuwur. Sifat utama film sing kena pengaruh derajat vakum yaiku indeks bias, hamburan, kekuatan mekanik lan ketidaklarutan.
2. Pengaruhe tingkat pengendapan
Laju pengendapan minangka parameter proses sing nggambarake kecepatan pengendapan film, sing dituduhake dening kekandelan film sing kawangun ing permukaan plating ing unit wektu, lan unit kasebut yaiku nm·s-1.
Laju deposisi nduweni pengaruh sing jelas marang indeks bias, kekencengan, kekuatan mekanik, adhesi, lan tegangan film. Yen laju deposisi kurang, sebagian besar molekul uap bali saka substrat, pembentukan inti kristal alon, lan kondensasi mung bisa ditindakake ing agregat gedhe, saengga nggawe struktur film longgar. Kanthi kenaikan laju deposisi, film sing alus lan padhet bakal kawangun, hamburan cahya bakal mudhun, lan kekencengan bakal tambah. Mulane, carane milih laju deposisi film kanthi bener minangka masalah penting ing proses penguapan, lan pilihan khusus kudu ditemtokake miturut bahan film.
Ana rong cara kanggo ningkatake laju pengendapan: (1) metode ningkatake suhu sumber penguapan (2) metode ningkatake area sumber penguapan.
Wektu kiriman: 29 Maret 2024